设为首页收藏本站

爱吱声

 找回密码
 注册
搜索
楼主: moletronic
打印 上一主题 下一主题

[科普知识] 国产光刻机猜测

[复制链接]
  • TA的每日心情
    慵懒
    2022-8-27 22:14
  • 签到天数: 351 天

    [LV.8]合体

    21#
    发表于 2024-9-17 08:06:46 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 14:00
    ( i0 V+ d' ?8 _; c) U9 [也就是说,即使28nm现在还有光刻机瓶颈,其他也都就绪、只欠东风了。这是好事!  T3 e2 n8 }2 p# z* M
    6 m& H3 x, J4 o" G  v6 H3 `
    个人感觉:相比于前一阵 ...

    & e( h+ l+ |( j4 s" l" v
    0 o* G. J* f/ Y) R. @; @
    这就要西方好好领教什么叫产能过剩了。

    - g( _/ d! v' W& }. [- t# J8 ?应该会在5年内实现吧。+ n6 H$ R& x- N9 ^& e: @5 G& m
    * A/ P  x: {& Z0 J' T/ E: `
    微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)% h) [2 J8 Q0 N/ P) U
    24-9-16 23:55
    8 U0 G% w; @( E+ e4 D发布于 湖南- }; `8 L6 n& `/ @
    来自 微博网页版* l' i7 g$ p8 R1 f' Y9 J1 r
    啊,说过很多次了,#光刻机# 不是挖机
    2 D9 M4 ~% q9 D3 H8 n. _不是运过来就能直接开工的。
    + u& g' C. [/ L1 K他需要调试,需要不断的用,一边用一边调整,等光学畸变稳定——你可以理解为拷机或者汽车发动热机暖机。
    9 p8 U/ w9 n  S4 ^/ y. d# c
    8 p" L/ z, K, _2 m! N! T: y这个时间很长,也是我常年说:2 |" R. o5 V% K0 ?
    就算今天ASML传送一台EUV给咱,我们拿到第一批量产的芯片流片完(无论7nm,5nm还是多少)起码2年后——这最乐观的2年时间,还得是对EUV非常有经验的顶级工程师来操作优化。% l5 h. S' c) V- O% W" M9 p) o1 d# O

    # L2 P7 j4 p& i, m" _, j现在发布的这台机器是起码3年前就验收了(科工),现在工信部验收推广(产业链),成熟得不行了才拿出来的。你需要,给钱就有,不限量。' u% I4 U4 H# q$ ]8 `

    ( s% g1 M+ h  }0 e$ {+ ?简单理解就是——这机子是干式光刻机,做的是65-55nm的芯片,一次曝光。
    : T& a7 R+ ?/ t7 p干式光刻机没啥意义,为什么呢?因为改进之后的也可以出产低制程的,向下兼容并且良率更高(成本低方案成熟)
    : o7 R  ~( [! b; i2 M- i& A4 w多重曝光也不是这哥们来做……(我是不清楚干式光刻机有没人搞这个)
    % L! w6 m3 P+ z+ g但这玩意的光路设计啥的,是成型了的。有了它,就加浸没式透镜,修改物镜,最终成品是目前没有验收但肯定存在某个地方的浸没式光刻机,但起码上线了2年了
    $ ~# f8 Z$ `9 p, U- N' O/ F7 A1 o! }5 o* `$ ?) B' S! y' |4 l1 n
    没公布的那个肯定还在不断的调试,修改,更换国产配件。
    : ?' L3 q! [1 m2 G普通人不用管光刻机啥情况——你就看最终产品就是。
    1 o2 _7 a/ T; [& w0 P#华为mate70# 也没多久了。
    7 T2 i# n! ~! q& F9 E3 E

    点评

    给力: 5.0 涨姿势: 5.0
    这真是极好的: 5.0
    涨姿势: 5
      发表于 2024-9-18 15:38
    给力: 5 涨姿势: 5 这真是极好的: 5
      发表于 2024-9-17 08:38
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    22#
     楼主| 发表于 2024-9-17 08:15:36 | 只看该作者
    老财迷 发表于 2024-9-16 16:06
    7 Q. O7 l, ]. O& N$ k, }应该会在5年内实现吧。
    # c5 Q6 U7 K) g0 y. G, b( F0 d% n
    微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)

    $ R& H8 M! P/ K, Q% h; X* m5 b" v7 O$ |* I3 D
    这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

    点评

    油菜: 5.0 给力: 5.0
    油菜: 5 给力: 5
    以你说的为准 :)  发表于 2024-9-17 15:27

    评分

    参与人数 1爱元 +8 收起 理由
    老财迷 + 8

    查看全部评分

    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    23#
    发表于 2024-9-17 08:39:20 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 18:15
      K# Y8 X7 |0 a* i  A$ T这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

    ) M- w5 ~! Y6 W' v! h2 w+ ?; `但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    24#
     楼主| 发表于 2024-9-17 10:54:17 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 18:56 编辑
    # W7 t( e9 y" `. E- e. [( G, l
    晨枫 发表于 2024-9-16 16:39" P5 j; I5 e) [, I5 \! o$ T$ m2 A
    但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
    . p5 Z2 L1 Y# }1 K5 ~/ e, |

    , s" T4 X" j& i2 y按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定2 L; F7 I0 }' |8 s: O2 ?9 h. G
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述

    评分

    参与人数 2爱元 +18 学识 +2 收起 理由
    老票 + 10 + 2 给力
    老财迷 + 8 涨姿势

    查看全部评分

    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    25#
    发表于 2024-9-17 11:08:25 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 03:345 W+ U, X/ g* J2 z( I. [: W! p
    不过EUV制作7nm可以轻易一次曝光,产率和良率应该提高很多?
    & A0 A# X' m8 e0 x8 m. L( B" u
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积电用193nm光刻机率先量产7nm,三星则以更先进的EUV光刻机应战,由于对新型光刻机的熟悉不足,结果良率低下,很多人抛弃三星。最后三星赔本赚吆喝,开出比台积电低30%的代工费用,才勉强留下大客户。

    点评

    油菜: 5.0 涨姿势: 5.0
    油菜: 5 涨姿势: 5
      发表于 2024-9-17 15:28

    评分

    参与人数 1爱元 +8 收起 理由
    老财迷 + 8

    查看全部评分

    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    26#
    发表于 2024-9-17 11:13:01 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54$ ]3 v6 O4 m+ t, [/ _1 |
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    & v0 H! y- @7 {# l, d所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    4 z! p7 V9 q; L0 Y有道理。/ ]' X$ D1 R2 A3 F' x) d: x

    ! U: f# i0 e( |  C9 l6 J. J不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资吊着。不退场,但也不全力以赴。' m, V( ~8 c$ i# `: O4 O

    / `$ A5 d( c$ [. l( H中国肯定是全力以赴的。而且倾国之力肯定大于尼康、佳能。
    1 _5 d$ @! [, X. q- u% `/ c, I. @# ]/ [3 i) ^7 ~3 }& M: n
    这会有差别吗?
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    27#
    发表于 2024-9-17 11:13:37 | 只看该作者
    沉宝 发表于 2024-9-16 21:08  F7 R0 y9 n! n% K# F* {% H
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积 ...
    - J8 E$ @- V4 P, w9 m
    这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    28#
    发表于 2024-9-17 11:19:08 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54: ], w( |: @( E$ G
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定. `8 R+ @- Z: B2 T
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    & t( e5 I, i2 G1 x2 J还没搞定? 9 n4 E( V. K" n3 H/ Y3 U
    我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的系统。我在的小破公司搭了一个,然后过去一起做,看能不能用。那个时候估计还是早期,这些基础的问题都没个数。做了几个实验,证明可以捕捉到微气泡发生,成长和运动的轨迹,我就撤了。这都十五年过去了。) s6 x3 ^) F) K
    尼康那时候已经有点不灵的迹象,食堂里面睡满了安装队的人。正常的话那些人都是满世界跑给别人装机器的。
    6 e& ?7 S4 ~" U

    点评

    油菜: 5.0 给力: 0.0
    涨姿势: 5.0
    油菜: 5 给力: 0 涨姿势: 5
    坛里藏龙卧虎啊  发表于 2024-9-17 15:31

    评分

    参与人数 3爱元 +22 学识 +2 收起 理由
    老票 + 10 + 2 涨姿势
    唐家山 + 4 伙呆了
    老财迷 + 8

    查看全部评分

    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    29#
    发表于 2024-9-17 11:21:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54
      E4 N$ j* o* Q/ s1 S按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    5 U8 E- }4 ]5 j' f所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    " g# w3 _* h% g  n, A" I突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NAND也被卡了,因为光刻机的事,这说法准确吗?高端NAND需要多少nm节点的光刻机?
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    30#
    发表于 2024-9-17 11:23:33 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13* ?" x5 Q  ?( q" ^2 J: ^
    有道理。" s  f' W4 Q: v) S% _

    / {3 w( g: K/ o+ I% [9 X* {不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资 ...
      I  c0 T4 i/ `7 T
    可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞哪张嘴里。( Z( P6 c2 R* K; A7 J- f
    很多年前日本媒体评价日本财政用了很形象的词,叫硬直化。所有的钱都有定好的用处,几乎没有活动钱。需要财政支持的时候十分狼狈。该做的事情做不了,钱全都拿去维持日常运转了。

    点评

    油菜: 5.0 涨姿势: 5.0
    油菜: 5 涨姿势: 5
      发表于 2024-9-17 15:32

    评分

    参与人数 1爱元 +4 收起 理由
    老财迷 + 4

    查看全部评分

    回复 支持 反对

    使用道具 举报

  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    31#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:28:54 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 19:33 编辑
    / w  l; \* r$ S- z
    雷声 发表于 2024-9-16 19:19' f8 k- \* Q/ A+ `0 ]5 a
    还没搞定? $ F3 V+ k- a& P$ M# o
    我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的 ...
    . }' l' s  T7 m6 b, `4 m
    5 Y( `, C' q, k1 x9 i3 c. h* q
    Nikon是稳定性不行,被牙膏退货后就没人再买。疫情前去开spie的会,Nikon还吹牛自己行了,但主流客户没人用。
    8 w! x8 ^  C7 V4 b+ y$ f0 `有网上谣言说华为买了些Nikon自己魔改做出了9100…俺比较怀疑真实性。
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    32#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:31:01 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:21
    ( ]& D# X# Z5 m* D8 O突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NA ...
    * l9 |  p9 a: ]' |) g" m5 R1 V
    存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    33#
    发表于 2024-9-17 11:34:00 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:314 I. s& q4 R( P3 ]; x% J
    存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。 ...
    - k$ h9 z1 c3 m' R0 m6 N
    需要用到浸润DUV吗?
    ) U3 Y1 |5 v0 I9 f( u3 r# t4 L. Q
    1 j( B+ R6 E( K我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗?
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    34#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:37:50 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:34
    ; N+ r* P; R$ L- B需要用到浸润DUV吗?
    # v- U7 e$ F, `/ W) _0 [! y4 T( ?0 F; `6 U8 C6 \
    我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗? ...

    0 u$ T' S5 W8 R  H, o浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    35#
    发表于 2024-9-17 11:38:06 | 只看该作者
    雷声 发表于 2024-9-16 21:23! k+ V$ b1 w" i
    可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞 ...

      E+ z3 U3 h* T# S& j8 n9 p是的,需要钱的地方太多,但光刻机和芯片可能是不计代价砸钱的方向,优先级比谁都高。这个瓶颈突破后,不只是军事、科技上的阳关道,经济上也是大片的处女地啊。
    4 `4 C% F9 w" k+ y0 v- c$ f9 _) R) s: A
    硬直化很形象。确实,西方家大业大,花钱手笔也大,但每一笔钱都预定了用处,活动余地真心很小。你看看美国在预算削减时那个鸡飞狗跳,就知道真是谁都动不得。“平均剃头”是公认的最坏选择,但是唯一大家可接受的选择。
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    36#
    发表于 2024-9-17 11:40:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:37
    , i6 h0 g; R: K  }8 A, Z( B浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。 ...

    8 B7 Y: P6 ]9 B3 b* A都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了?
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    37#
    发表于 2024-9-17 11:43:29 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54
    + l3 v- B& b! e5 F$ T, B5 X/ E7 F3 d按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    " G* F* v4 O0 Y  ?4 Q所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    ( n4 R( i; u' G1 K. R" L具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均匀,从而折射率不均匀,影响成像。为了避免温差,必须让水快速流动混合,但又要避免产生漩涡或者析出气泡。水可以把所接触物品上的杂质洗下来,带到晶圆上,形成缺陷。当初ASML搞浸润式光刻机时,在浸液系统上与林本坚团队合作,方案修改了7-8回,耗时两年多才取得满意的结果。

    评分

    参与人数 1爱元 +10 学识 +2 收起 理由
    老票 + 10 + 2 涨姿势

    查看全部评分

    回复 支持 反对

    使用道具 举报

  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    38#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:59:49 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 20:02 编辑 0 p: v+ Y, }! r: \9 d, m- @, T
    沉宝 发表于 2024-9-16 19:43
    ( S8 \3 h) S7 N. @5 l7 X4 p具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均 ...

    7 W, G) O. L- H. t) S+ ~: D- @! w9 C* [7 H) G
    这当然不容易,不过两年挺快啦,看看牙膏的10nm……
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    39#
     楼主| 发表于 2024-9-17 12:01:58 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:40
    $ `* o# x' Q/ U# {7 F; Z都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了? ...

    0 R- w; K0 X  K8 s不知道啦,也许是隐晦放风的说法。
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    40#
    发表于 2024-9-17 17:38:39 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13) d/ c! E% p0 }. ]. }& L" T* K4 w
    这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。 ...

    ! Q5 }* v1 ]! H& R/ ]7 b中国大,各地方人气质不一,各擅胜场。精细活儿江南地方超过东北山东。如此说来,韩国近东北山东,台湾精英是江浙后代。
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    手机版|小黑屋|Archiver|网站错误报告|爱吱声   

    GMT+8, 2026-7-22 19:41 , Processed in 0.083510 second(s), 26 queries , Gzip On.

    Powered by Discuz! X3.2

    © 2001-2013 Comsenz Inc.

    快速回复 返回顶部 返回列表