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楼主: moletronic
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[科普知识] 国产光刻机猜测

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  • TA的每日心情
    慵懒
    2022-8-27 22:14
  • 签到天数: 351 天

    [LV.8]合体

    21#
    发表于 2024-9-17 08:06:46 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 14:006 j* w/ F2 C* N* b% Y4 U2 q
    也就是说,即使28nm现在还有光刻机瓶颈,其他也都就绪、只欠东风了。这是好事!
    - B9 {9 F- {! d! @
    9 c8 u  n5 e* H7 ~个人感觉:相比于前一阵 ...

    % v6 v$ M9 q+ o, h2 k
    / M; L: A% O8 `, i+ z4 C+ ^: p, p
    这就要西方好好领教什么叫产能过剩了。
    8 b! v0 I+ r- F/ K# e2 Y" }
    应该会在5年内实现吧。
    + Y! g; ~% a. C
    ) `, z4 _# O; m- J6 s微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    - I* x& b7 i" Z0 ?6 E( W24-9-16 23:55# N: W) ~  g- Y* B. p# p! g6 D
    发布于 湖南
    , k% B7 u3 w8 X0 K: H2 x4 _  d# m# J来自 微博网页版, F. S0 X1 Q8 x3 x
    啊,说过很多次了,#光刻机# 不是挖机& I( t3 `: `' |- K. j
    不是运过来就能直接开工的。$ p4 q% `: H1 @
    他需要调试,需要不断的用,一边用一边调整,等光学畸变稳定——你可以理解为拷机或者汽车发动热机暖机。: C* I  @) @9 F7 v1 `8 R, O
    ( H3 v- @5 [9 R
    这个时间很长,也是我常年说:
    " m+ B: B* h# R就算今天ASML传送一台EUV给咱,我们拿到第一批量产的芯片流片完(无论7nm,5nm还是多少)起码2年后——这最乐观的2年时间,还得是对EUV非常有经验的顶级工程师来操作优化。
    9 Q* i  D% V( ]; x8 k- y  ^
    9 N0 T4 c5 h9 g6 A- P( L! o现在发布的这台机器是起码3年前就验收了(科工),现在工信部验收推广(产业链),成熟得不行了才拿出来的。你需要,给钱就有,不限量。
    0 a9 Q/ z% l+ @4 b7 u" A* ?5 o* ^* I
    简单理解就是——这机子是干式光刻机,做的是65-55nm的芯片,一次曝光。
    & H6 N- |6 ]1 i  H干式光刻机没啥意义,为什么呢?因为改进之后的也可以出产低制程的,向下兼容并且良率更高(成本低方案成熟)
    6 g$ @0 @1 n' q  a多重曝光也不是这哥们来做……(我是不清楚干式光刻机有没人搞这个)
    9 T3 S" I" j+ n; V但这玩意的光路设计啥的,是成型了的。有了它,就加浸没式透镜,修改物镜,最终成品是目前没有验收但肯定存在某个地方的浸没式光刻机,但起码上线了2年了1 G& O- b$ {9 k; Y/ l$ E0 X

    2 Z5 G) b6 R+ R没公布的那个肯定还在不断的调试,修改,更换国产配件。
    - n; f, Y, E/ u0 z* }普通人不用管光刻机啥情况——你就看最终产品就是。5 H& Q' k$ Q9 Y4 T' S$ {+ ]
    #华为mate70# 也没多久了。& A' e4 W* t) `: w* [0 \: \

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    这真是极好的: 5.0
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      发表于 2024-9-18 15:38
    给力: 5 涨姿势: 5 这真是极好的: 5
      发表于 2024-9-17 08:38
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    22#
     楼主| 发表于 2024-9-17 08:15:36 | 只看该作者
    老财迷 发表于 2024-9-16 16:06. B7 n% C) J1 M" Y1 I, f
    应该会在5年内实现吧。
    + r3 K$ r# u; R" U* }, a; h; O9 B, u% J; o) c
    微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    * Y5 G- f2 r" Z0 r" {
    " E, a5 }! `. [( B; W
    这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

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    以你说的为准 :)  发表于 2024-9-17 15:27

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    23#
    发表于 2024-9-17 08:39:20 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 18:15# k' K. I( p3 R3 E2 _) E
    这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

    6 T; z. X" s) H& A, q( Y但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    24#
     楼主| 发表于 2024-9-17 10:54:17 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 18:56 编辑
    ) [# E3 L5 t8 r! b: G, F! N+ \
    晨枫 发表于 2024-9-16 16:397 e, f- e0 E) ]/ ~! O
    但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?

    % U; K6 x: d  }5 d! R9 D  N2 K
    3 f+ y1 |" H! \1 W9 S' `/ C6 G. |按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    . ^2 y4 @/ w9 ~) P4 S; S) c所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述

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    25#
    发表于 2024-9-17 11:08:25 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 03:34
    : ?5 }! X2 L) v7 p2 B不过EUV制作7nm可以轻易一次曝光,产率和良率应该提高很多?
    / Y1 {/ |1 s; M" B9 F$ _( |5 b8 u3 P
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积电用193nm光刻机率先量产7nm,三星则以更先进的EUV光刻机应战,由于对新型光刻机的熟悉不足,结果良率低下,很多人抛弃三星。最后三星赔本赚吆喝,开出比台积电低30%的代工费用,才勉强留下大客户。

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      发表于 2024-9-17 15:28

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    26#
    发表于 2024-9-17 11:13:01 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54: T8 n, I. }2 P, w1 U  p
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定. h7 V% L6 N3 {' T% f
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    & y8 f) B. u/ m$ m1 x
    有道理。* V  [' [0 s$ M$ n1 a2 _
    2 w6 {0 U( u' k/ M0 {! D8 z
    不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资吊着。不退场,但也不全力以赴。6 e+ r: _3 O- w( x
    2 s7 ?& `% \1 z2 m! C. M0 \
    中国肯定是全力以赴的。而且倾国之力肯定大于尼康、佳能。5 w3 s% b6 I: u3 F$ g1 l

    1 @6 J8 x& c: k$ ^这会有差别吗?
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    27#
    发表于 2024-9-17 11:13:37 | 只看该作者
    沉宝 发表于 2024-9-16 21:08
    . _: m- b' ^( \! P5 X- R  z" b  F理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积 ...

    4 Q- x5 }# F* o' ?9 c# Z这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。
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    28#
    发表于 2024-9-17 11:19:08 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54  `3 ?& g! x! W  a. F- p4 J
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    + F; ?4 A0 N; H2 p1 f所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    & t+ h! |( [& K. i- u
    还没搞定? " s8 ^! X; g. b* ]& J" H( x
    我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的系统。我在的小破公司搭了一个,然后过去一起做,看能不能用。那个时候估计还是早期,这些基础的问题都没个数。做了几个实验,证明可以捕捉到微气泡发生,成长和运动的轨迹,我就撤了。这都十五年过去了。
    % P; C3 e# j/ }/ }* @2 Q3 ]尼康那时候已经有点不灵的迹象,食堂里面睡满了安装队的人。正常的话那些人都是满世界跑给别人装机器的。
    $ q5 Z% k+ u, v0 Y: R8 t$ J4 k

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    坛里藏龙卧虎啊  发表于 2024-9-17 15:31

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    唐家山 + 4 伙呆了
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    29#
    发表于 2024-9-17 11:21:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54
    ' j6 X' X$ m" ^0 p8 w7 P3 s( T按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    9 _* Z' X" P, P" }+ Y- D! u/ V/ I所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    / g7 N# j2 v8 ~) G& @/ x. G突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NAND也被卡了,因为光刻机的事,这说法准确吗?高端NAND需要多少nm节点的光刻机?
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    30#
    发表于 2024-9-17 11:23:33 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13' K" r" j; E) }2 T# _% }
    有道理。
    2 M( }+ Z2 f; h( [0 v" v  M2 A
    ! j" ^$ w+ P/ C* I0 m不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资 ...

    # Z& o' Y3 D2 T5 t# ^3 n可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞哪张嘴里。# _6 F9 j2 _$ @! k
    很多年前日本媒体评价日本财政用了很形象的词,叫硬直化。所有的钱都有定好的用处,几乎没有活动钱。需要财政支持的时候十分狼狈。该做的事情做不了,钱全都拿去维持日常运转了。

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      发表于 2024-9-17 15:32

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    开心
    2023-2-8 04:51
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    31#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:28:54 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 19:33 编辑
    2 D5 n% o4 l6 d
    雷声 发表于 2024-9-16 19:197 _' \6 L6 [( g  L1 n
    还没搞定?
    7 |) D" y$ y- d8 {我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的 ...

      n+ b! f+ A( A' v# o7 t6 D: P7 w  B9 }1 A( Q  y
    Nikon是稳定性不行,被牙膏退货后就没人再买。疫情前去开spie的会,Nikon还吹牛自己行了,但主流客户没人用。
    0 ]* v% q9 E( j9 r* v& f9 [9 T1 [" I有网上谣言说华为买了些Nikon自己魔改做出了9100…俺比较怀疑真实性。
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    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    32#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:31:01 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:214 W, I) y# A" ~9 ~4 K
    突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NA ...
    / B3 q; s& L, Y% ^5 x/ n& ?
    存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。
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    33#
    发表于 2024-9-17 11:34:00 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:31
    * C& L! \+ e' Y5 w, F7 f存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。 ...
    6 N" ]  o5 G7 D9 L
    需要用到浸润DUV吗?( }: y+ m) Q0 j
    - j1 X6 W. I3 m4 ?+ b+ ?! C& }; f' V
    我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    34#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:37:50 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:34
    # F+ G$ p; E) g. H) J* U需要用到浸润DUV吗?
    5 L+ U  T, o1 ]" o: l
    3 Z: o8 r% l. c7 x  T8 `; @我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗? ...

    6 H1 F3 w6 V2 X/ F* D' b浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。
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    35#
    发表于 2024-9-17 11:38:06 | 只看该作者
    雷声 发表于 2024-9-16 21:23* t1 `  @/ ]9 d  c6 d8 d  Z
    可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞 ...
    . z, k) C3 E6 a
    是的,需要钱的地方太多,但光刻机和芯片可能是不计代价砸钱的方向,优先级比谁都高。这个瓶颈突破后,不只是军事、科技上的阳关道,经济上也是大片的处女地啊。
    0 r2 `1 g& {6 c  y
    ' ^8 q! k) s2 o; f, w+ c硬直化很形象。确实,西方家大业大,花钱手笔也大,但每一笔钱都预定了用处,活动余地真心很小。你看看美国在预算削减时那个鸡飞狗跳,就知道真是谁都动不得。“平均剃头”是公认的最坏选择,但是唯一大家可接受的选择。
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    36#
    发表于 2024-9-17 11:40:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:37
    4 o0 U% {' K1 k' I* ~* _浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。 ...

    0 S1 y7 D/ @3 w9 f- g都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了?
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    37#
    发表于 2024-9-17 11:43:29 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54. Q2 Q  W$ a5 ~0 M& T
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定3 [  d) [, ~5 Y/ e8 z
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    ( k# S0 |  Y+ r/ g0 ^. o0 J" e3 N
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均匀,从而折射率不均匀,影响成像。为了避免温差,必须让水快速流动混合,但又要避免产生漩涡或者析出气泡。水可以把所接触物品上的杂质洗下来,带到晶圆上,形成缺陷。当初ASML搞浸润式光刻机时,在浸液系统上与林本坚团队合作,方案修改了7-8回,耗时两年多才取得满意的结果。

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    38#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:59:49 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 20:02 编辑
    - L# Q/ |3 A& D3 ~: T
    沉宝 发表于 2024-9-16 19:43
    7 p. |- q1 a3 d. M  @- v具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均 ...

    / f$ T1 f* b; y9 Z! L3 a- Z! N! [, }& }4 i/ f1 o4 G$ }$ s9 N
    这当然不容易,不过两年挺快啦,看看牙膏的10nm……
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    39#
     楼主| 发表于 2024-9-17 12:01:58 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:40& i+ k1 F5 F0 V( p  L# p
    都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了? ...

    4 ~+ _7 |# d  `+ V1 n不知道啦,也许是隐晦放风的说法。
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    40#
    发表于 2024-9-17 17:38:39 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13' I  f9 [( Z7 h2 r) \: _
    这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。 ...

    $ T* \2 z7 ?/ a0 j0 |中国大,各地方人气质不一,各擅胜场。精细活儿江南地方超过东北山东。如此说来,韩国近东北山东,台湾精英是江浙后代。
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