设为首页收藏本站

爱吱声

 找回密码
 注册
搜索
楼主: moletronic
打印 上一主题 下一主题

[科普知识] 国产光刻机猜测

[复制链接]
  • TA的每日心情
    慵懒
    2022-8-27 22:14
  • 签到天数: 351 天

    [LV.8]合体

    21#
    发表于 2024-9-17 08:06:46 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 14:00; |7 C& o; G2 k6 z
    也就是说,即使28nm现在还有光刻机瓶颈,其他也都就绪、只欠东风了。这是好事!
    ( Q  f) g5 _/ T3 f2 m4 }( @# e) @- F* A$ d
    个人感觉:相比于前一阵 ...
    : P) z1 r! d, ?5 ]6 a: H6 `4 y
    2 x( Q4 J1 t8 v  k$ b; h+ B
    这就要西方好好领教什么叫产能过剩了。

    " M: A# R0 H% r1 }应该会在5年内实现吧。
    ! u) @+ A" _, _! z, d3 ^4 W; p
    ( Z* I/ I1 {- {+ P+ ~微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    ; U/ v8 p* P5 B# e24-9-16 23:552 a2 x' J: ?4 p- _. n) _4 ~* Q+ o7 L
    发布于 湖南
    4 U# E, ^6 q7 m( m7 Z来自 微博网页版
    ! @2 v* [* E* l$ ~- q啊,说过很多次了,#光刻机# 不是挖机5 J- g/ j! n) c
    不是运过来就能直接开工的。
    $ D7 X$ ~8 i  T4 Q他需要调试,需要不断的用,一边用一边调整,等光学畸变稳定——你可以理解为拷机或者汽车发动热机暖机。8 `' c. F" }, e  D) M+ ?; |

    7 r" l; G) n4 Y5 V这个时间很长,也是我常年说:
    ( G: r! ~+ J" C  I( X% ^) u就算今天ASML传送一台EUV给咱,我们拿到第一批量产的芯片流片完(无论7nm,5nm还是多少)起码2年后——这最乐观的2年时间,还得是对EUV非常有经验的顶级工程师来操作优化。
    9 G% _1 |% f4 I3 Y2 ]& Y
      e& N  I% |6 S* m9 W现在发布的这台机器是起码3年前就验收了(科工),现在工信部验收推广(产业链),成熟得不行了才拿出来的。你需要,给钱就有,不限量。$ ]' k, [- t8 x$ h, w# f; M+ b$ E

    6 a# L/ k8 o, e1 y简单理解就是——这机子是干式光刻机,做的是65-55nm的芯片,一次曝光。
    : c) r" j) S; ?7 B干式光刻机没啥意义,为什么呢?因为改进之后的也可以出产低制程的,向下兼容并且良率更高(成本低方案成熟)
    1 n" P" J6 `) l' {2 U( X多重曝光也不是这哥们来做……(我是不清楚干式光刻机有没人搞这个). {8 m5 d( Z, s8 Z0 B% f: N
    但这玩意的光路设计啥的,是成型了的。有了它,就加浸没式透镜,修改物镜,最终成品是目前没有验收但肯定存在某个地方的浸没式光刻机,但起码上线了2年了
    . w. P3 T' x4 d& y& @4 h' y+ @+ b8 `# ]7 p7 E
    没公布的那个肯定还在不断的调试,修改,更换国产配件。
    " m; C/ o) `4 X8 _$ k普通人不用管光刻机啥情况——你就看最终产品就是。
    8 z# @3 @, ~! y* w5 q) H( q#华为mate70# 也没多久了。
    ) c5 z' I2 L" l& t6 K8 q2 m

    点评

    给力: 5.0 涨姿势: 5.0
    这真是极好的: 5.0
    涨姿势: 5
      发表于 2024-9-18 15:38
    给力: 5 涨姿势: 5 这真是极好的: 5
      发表于 2024-9-17 08:38
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    22#
     楼主| 发表于 2024-9-17 08:15:36 | 只看该作者
    老财迷 发表于 2024-9-16 16:06
    # o. L% U' n5 G+ J& ^4 i应该会在5年内实现吧。
    - M; D; t3 M' y( j0 E" J
    - `1 X4 g0 u" t' `2 Q) F微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)

    " v+ N+ f# N* }6 @% R
    & ~: G* M: n9 S$ w这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

    点评

    油菜: 5.0 给力: 5.0
    油菜: 5 给力: 5
    以你说的为准 :)  发表于 2024-9-17 15:27

    评分

    参与人数 1爱元 +8 收起 理由
    老财迷 + 8

    查看全部评分

    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    23#
    发表于 2024-9-17 08:39:20 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 18:15. A+ o$ K. J2 G! |6 X/ }* V4 \
    这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。
    ) H) c+ l1 Q$ p8 l+ J5 \" W$ d
    但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    24#
     楼主| 发表于 2024-9-17 10:54:17 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 18:56 编辑 ; z8 ?/ W: T$ r& R3 w6 c
    晨枫 发表于 2024-9-16 16:39
    2 [. O( Z! {4 J% t( G7 q但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?

    ' z$ o0 \2 u) t9 Z1 p; A- O; {( ^/ [" ]1 _7 I3 T  H9 J) q' s
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定4 c- p, \/ |0 K% E
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述

    评分

    参与人数 2爱元 +18 学识 +2 收起 理由
    老票 + 10 + 2 给力
    老财迷 + 8 涨姿势

    查看全部评分

    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    25#
    发表于 2024-9-17 11:08:25 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 03:34& T& [. m; N% s9 n
    不过EUV制作7nm可以轻易一次曝光,产率和良率应该提高很多?
    & g# d. `* }: B8 f6 {
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积电用193nm光刻机率先量产7nm,三星则以更先进的EUV光刻机应战,由于对新型光刻机的熟悉不足,结果良率低下,很多人抛弃三星。最后三星赔本赚吆喝,开出比台积电低30%的代工费用,才勉强留下大客户。

    点评

    油菜: 5.0 涨姿势: 5.0
    油菜: 5 涨姿势: 5
      发表于 2024-9-17 15:28

    评分

    参与人数 1爱元 +8 收起 理由
    老财迷 + 8

    查看全部评分

    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    26#
    发表于 2024-9-17 11:13:01 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54" B' Q$ d8 J- Q  A, u
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    2 X5 @) H, o3 a* L: L4 p: z( l( i/ k所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    + j9 x5 a" y% ~2 P& k6 P# J有道理。
    * _+ w* {% O5 n- _# x7 n; ?$ z/ O: i9 v/ R# J- ~4 S/ x
    不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资吊着。不退场,但也不全力以赴。/ M- _3 N1 I! k4 Z$ J7 a* `
    ' V% `( l9 ^" @/ L5 C
    中国肯定是全力以赴的。而且倾国之力肯定大于尼康、佳能。3 r7 ~4 O% I1 y' u. J1 B

      a% d" B5 ~7 g  A这会有差别吗?
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    27#
    发表于 2024-9-17 11:13:37 | 只看该作者
    沉宝 发表于 2024-9-16 21:08
    % p' u/ E; ]* o' _; r6 c/ S理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积 ...
    9 h; v" n4 H0 ~( ?
    这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    28#
    发表于 2024-9-17 11:19:08 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54
    % ]0 Z: \  B/ V% N/ I2 G5 R! d按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定# T1 o- B6 N; L- d- a
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    : a) `- P, \6 ?; j0 L
    还没搞定?
    + H  s7 A: Z! D7 x4 K我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的系统。我在的小破公司搭了一个,然后过去一起做,看能不能用。那个时候估计还是早期,这些基础的问题都没个数。做了几个实验,证明可以捕捉到微气泡发生,成长和运动的轨迹,我就撤了。这都十五年过去了。
    # s- w: x# f7 b# X( z& B8 N尼康那时候已经有点不灵的迹象,食堂里面睡满了安装队的人。正常的话那些人都是满世界跑给别人装机器的。
    & U& i2 o2 X, k" Z9 B

    点评

    油菜: 5.0 给力: 0.0
    涨姿势: 5.0
    油菜: 5 给力: 0 涨姿势: 5
    坛里藏龙卧虎啊  发表于 2024-9-17 15:31

    评分

    参与人数 3爱元 +22 学识 +2 收起 理由
    老票 + 10 + 2 涨姿势
    唐家山 + 4 伙呆了
    老财迷 + 8

    查看全部评分

    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    29#
    发表于 2024-9-17 11:21:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54# q: J( {4 e( e2 k7 y
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    3 h. o& G8 B8 B; T7 ~所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    4 i9 m: O+ l& _4 v  _) V/ C
    突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NAND也被卡了,因为光刻机的事,这说法准确吗?高端NAND需要多少nm节点的光刻机?
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    30#
    发表于 2024-9-17 11:23:33 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13: h, q+ C' t; M9 ?% O3 B
    有道理。3 n& m' s8 N- Q. u& m% R

    - Z3 D* m4 G% r+ R& J( b0 m7 B不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资 ...

    , i2 M' e- Z* D2 p可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞哪张嘴里。
    + ~7 c- e% L( z  l- \) @很多年前日本媒体评价日本财政用了很形象的词,叫硬直化。所有的钱都有定好的用处,几乎没有活动钱。需要财政支持的时候十分狼狈。该做的事情做不了,钱全都拿去维持日常运转了。

    点评

    油菜: 5.0 涨姿势: 5.0
    油菜: 5 涨姿势: 5
      发表于 2024-9-17 15:32

    评分

    参与人数 1爱元 +4 收起 理由
    老财迷 + 4

    查看全部评分

    回复 支持 反对

    使用道具 举报

  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    31#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:28:54 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 19:33 编辑
    0 E+ d' ~/ o' a' C; Q
    雷声 发表于 2024-9-16 19:19
    " y/ |9 F6 R8 {- a& q还没搞定?
    ; c! Y# o& y) t# K0 K- [0 [我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的 ...

    2 x3 x& v! O$ G" r
    ) y! R9 W9 F2 `- _; L; TNikon是稳定性不行,被牙膏退货后就没人再买。疫情前去开spie的会,Nikon还吹牛自己行了,但主流客户没人用。; q* y6 B$ m5 ~$ G+ D! h* X# d
    有网上谣言说华为买了些Nikon自己魔改做出了9100…俺比较怀疑真实性。
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    32#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:31:01 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:21" ?# k* w$ k" O. w: i- |2 I
    突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NA ...
    ' a1 C9 ?4 c' W- q0 A- Q1 y- c
    存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    33#
    发表于 2024-9-17 11:34:00 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:31
    ( B* G/ u% u+ |( `8 G存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。 ...
    + [+ D# A: m! u* I( _; b) W
    需要用到浸润DUV吗?
    : `( N9 K( `% z4 L6 n) H- m
    1 Y2 f2 x3 d5 w我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗?
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    34#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:37:50 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:34
    , T5 E. f" i0 |/ K需要用到浸润DUV吗?; M1 N" ~( k, w, V" z9 d  |) O

    # I* u, p# r& R- h# k# ]我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗? ...

    ( g% D' l* H2 ?* S, H" e浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    35#
    发表于 2024-9-17 11:38:06 | 只看该作者
    雷声 发表于 2024-9-16 21:23  m$ B6 \- M& u+ @
    可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞 ...
    + X" j$ r8 |7 E! J& ^+ u
    是的,需要钱的地方太多,但光刻机和芯片可能是不计代价砸钱的方向,优先级比谁都高。这个瓶颈突破后,不只是军事、科技上的阳关道,经济上也是大片的处女地啊。
    3 N) A" c# T4 p+ M! J/ n) v3 U( ^1 w
    硬直化很形象。确实,西方家大业大,花钱手笔也大,但每一笔钱都预定了用处,活动余地真心很小。你看看美国在预算削减时那个鸡飞狗跳,就知道真是谁都动不得。“平均剃头”是公认的最坏选择,但是唯一大家可接受的选择。
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    36#
    发表于 2024-9-17 11:40:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:37
    ) F0 b/ ~! C0 A8 z0 a" G1 e浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。 ...

      r) c% m6 q  m9 L* M5 E都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了?
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    37#
    发表于 2024-9-17 11:43:29 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54
    ; ?. V2 M4 Q& r6 u% G' f9 p, h按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    ' X8 A2 C$ {2 L0 U+ v  S; g: z所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    7 v. Z3 _1 p# b  E, G: U1 r
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均匀,从而折射率不均匀,影响成像。为了避免温差,必须让水快速流动混合,但又要避免产生漩涡或者析出气泡。水可以把所接触物品上的杂质洗下来,带到晶圆上,形成缺陷。当初ASML搞浸润式光刻机时,在浸液系统上与林本坚团队合作,方案修改了7-8回,耗时两年多才取得满意的结果。

    评分

    参与人数 1爱元 +10 学识 +2 收起 理由
    老票 + 10 + 2 涨姿势

    查看全部评分

    回复 支持 反对

    使用道具 举报

  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    38#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:59:49 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 20:02 编辑 . X" y* c, w- `
    沉宝 发表于 2024-9-16 19:43
    + q% e' K! r  w6 W7 W具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均 ...

    7 m% K. @1 T" ?* p; P; ]; f: S! b5 s+ g" o1 a
    这当然不容易,不过两年挺快啦,看看牙膏的10nm……
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    39#
     楼主| 发表于 2024-9-17 12:01:58 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:40
    ( G- r8 _- b6 [都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了? ...
    $ K7 m& Z+ i! \3 X/ H$ I
    不知道啦,也许是隐晦放风的说法。
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    40#
    发表于 2024-9-17 17:38:39 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13* P9 m1 O1 x" I+ r
    这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。 ...
    ' m6 L. ^: b3 e3 a3 \5 s+ f
    中国大,各地方人气质不一,各擅胜场。精细活儿江南地方超过东北山东。如此说来,韩国近东北山东,台湾精英是江浙后代。
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    手机版|小黑屋|Archiver|网站错误报告|爱吱声   

    GMT+8, 2026-4-7 12:00 , Processed in 0.093968 second(s), 26 queries , Gzip On.

    Powered by Discuz! X3.2

    © 2001-2013 Comsenz Inc.

    快速回复 返回顶部 返回列表