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[科普知识] 国产光刻机猜测

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  • TA的每日心情
    慵懒
    2022-8-27 22:14
  • 签到天数: 351 天

    [LV.8]合体

    21#
    发表于 2024-9-17 08:06:46 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 14:00& @4 E3 S$ Z' G, Y2 M& Y
    也就是说,即使28nm现在还有光刻机瓶颈,其他也都就绪、只欠东风了。这是好事!
      }! N; a$ U$ w* T6 }% B; w) M/ t7 ~) I$ @, t  y  v+ [/ h& `
    个人感觉:相比于前一阵 ...

    ! l8 |* U/ e6 L. a6 I  }4 ?
    " J) _% ?( A/ {
    这就要西方好好领教什么叫产能过剩了。
    ' \8 {, u- _" c1 g& J
    应该会在5年内实现吧。4 W* F1 x5 \7 J& _: t7 O
    ; R' k: _" w8 w& J  a) a% y
    微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)0 O# b9 h9 t2 c  K- q# N
    24-9-16 23:559 P' q# d/ Z: X
    发布于 湖南
    + P" H4 V& E. c" o* A% |来自 微博网页版
    0 ?$ a9 @- A2 r- H啊,说过很多次了,#光刻机# 不是挖机
    6 l' g& v& W! R, i( f8 A- w8 c不是运过来就能直接开工的。5 ^* d) x1 [: g( ]
    他需要调试,需要不断的用,一边用一边调整,等光学畸变稳定——你可以理解为拷机或者汽车发动热机暖机。2 y, {9 r# k3 }* C( ?6 q5 }* n3 u
    ) d3 W4 Y8 \7 z; T6 D2 T+ Q( w
    这个时间很长,也是我常年说:4 A" n* g& e4 J
    就算今天ASML传送一台EUV给咱,我们拿到第一批量产的芯片流片完(无论7nm,5nm还是多少)起码2年后——这最乐观的2年时间,还得是对EUV非常有经验的顶级工程师来操作优化。
      D2 \4 n- {2 h) t0 ^# \) H9 \0 B0 c/ m' ?
    现在发布的这台机器是起码3年前就验收了(科工),现在工信部验收推广(产业链),成熟得不行了才拿出来的。你需要,给钱就有,不限量。$ P3 i. J! x: t! r9 M+ D: [
    / V5 z/ j7 h  X& X
    简单理解就是——这机子是干式光刻机,做的是65-55nm的芯片,一次曝光。* H; O2 |# S/ A
    干式光刻机没啥意义,为什么呢?因为改进之后的也可以出产低制程的,向下兼容并且良率更高(成本低方案成熟)
    ) q  K. i: M  z5 c' j5 r$ S多重曝光也不是这哥们来做……(我是不清楚干式光刻机有没人搞这个)* x2 O6 R$ ?; a
    但这玩意的光路设计啥的,是成型了的。有了它,就加浸没式透镜,修改物镜,最终成品是目前没有验收但肯定存在某个地方的浸没式光刻机,但起码上线了2年了7 s5 [4 H7 Z# @7 H6 M- {* @
    6 ?  B" a& m, o& f1 j
    没公布的那个肯定还在不断的调试,修改,更换国产配件。
    : O, k& k* y# y$ |# a: J普通人不用管光刻机啥情况——你就看最终产品就是。8 @& T- G; I: C% d
    #华为mate70# 也没多久了。
      b" c- u+ Y4 z7 D

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    这真是极好的: 5.0
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      发表于 2024-9-18 15:38
    给力: 5 涨姿势: 5 这真是极好的: 5
      发表于 2024-9-17 08:38
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    22#
     楼主| 发表于 2024-9-17 08:15:36 | 只看该作者
    老财迷 发表于 2024-9-16 16:06
    ; v2 q7 @) Z( m: w; k- S6 F应该会在5年内实现吧。8 J+ \, X+ M5 X2 t1 K6 |, {

    * P) @( e% s$ m$ Y& M: i微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    # x# y. [2 y% H% I$ Z) g; i  V! o
    3 l2 D1 _6 ~7 t
    这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

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    以你说的为准 :)  发表于 2024-9-17 15:27

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    23#
    发表于 2024-9-17 08:39:20 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 18:152 E2 z0 J; ^" z3 ^( E7 e
    这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

    ( G; I' j% C- H& X9 U! z% K但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    24#
     楼主| 发表于 2024-9-17 10:54:17 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 18:56 编辑
    : W3 \9 k8 W' F! q5 v
    晨枫 发表于 2024-9-16 16:39( q6 `4 t8 v3 v, o6 Z# o
    但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?

    % G+ Y- f6 P3 j7 \, Y& r
    ( U/ b! S7 l7 p7 A按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    . l" s& V1 m$ O( |2 _所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述

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    25#
    发表于 2024-9-17 11:08:25 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 03:34( _0 _7 t; b9 V; o
    不过EUV制作7nm可以轻易一次曝光,产率和良率应该提高很多?
    8 W9 U0 ^5 e. L5 i8 g  j( k$ k% s
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积电用193nm光刻机率先量产7nm,三星则以更先进的EUV光刻机应战,由于对新型光刻机的熟悉不足,结果良率低下,很多人抛弃三星。最后三星赔本赚吆喝,开出比台积电低30%的代工费用,才勉强留下大客户。

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      发表于 2024-9-17 15:28

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    26#
    发表于 2024-9-17 11:13:01 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54' a+ p9 A  {: J% d- j5 ~' J0 f
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    ( l4 T  O9 q; F: a. A& Q1 ?8 D所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    ; @8 q2 y. a2 d* }1 x有道理。* a9 f. S3 L, e6 l. H# Q+ h; c

    * v6 d* e/ |0 F5 t. O* F1 D不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资吊着。不退场,但也不全力以赴。7 J' j" i5 Z% {7 v& k8 }# U" S+ X
    6 I: O2 |* ^# D
    中国肯定是全力以赴的。而且倾国之力肯定大于尼康、佳能。
    ) l7 m0 `1 L' e3 B: w5 H7 r
    ' x& w9 r& i, o1 z# @- C! W; u这会有差别吗?
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    27#
    发表于 2024-9-17 11:13:37 | 只看该作者
    沉宝 发表于 2024-9-16 21:081 D2 S5 d% C4 b- I
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积 ...

    , t" j3 |' O4 g. M* E; a这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。
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    28#
    发表于 2024-9-17 11:19:08 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54( t  a& V7 m* Z& k( C
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定, B  _: d* z5 n2 Q; i/ R
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    ( q$ L5 F% ]+ w3 ]还没搞定?   Z! e$ D3 U& b+ q4 R
    我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的系统。我在的小破公司搭了一个,然后过去一起做,看能不能用。那个时候估计还是早期,这些基础的问题都没个数。做了几个实验,证明可以捕捉到微气泡发生,成长和运动的轨迹,我就撤了。这都十五年过去了。
    9 I% _) @- i0 U. ?0 R5 r* s! E尼康那时候已经有点不灵的迹象,食堂里面睡满了安装队的人。正常的话那些人都是满世界跑给别人装机器的。
    1 u. b, ~" j2 R5 b- w1 C. q

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    坛里藏龙卧虎啊  发表于 2024-9-17 15:31

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    29#
    发表于 2024-9-17 11:21:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54: h: v9 c7 ?, S* L0 ~% i
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定1 V+ I8 B0 n/ p4 F4 y
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    , Y. x% R- _: w突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NAND也被卡了,因为光刻机的事,这说法准确吗?高端NAND需要多少nm节点的光刻机?
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    30#
    发表于 2024-9-17 11:23:33 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13
    - O3 H( L- A! @. I  u有道理。
    5 @, a$ O. z2 a: {0 N3 I4 F$ }; Z8 D# u7 B$ z: |9 k
    不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资 ...

    , i9 d8 @8 U; K. S& }  a0 J9 A可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞哪张嘴里。) ~) U3 _. S6 D& d8 G% i
    很多年前日本媒体评价日本财政用了很形象的词,叫硬直化。所有的钱都有定好的用处,几乎没有活动钱。需要财政支持的时候十分狼狈。该做的事情做不了,钱全都拿去维持日常运转了。

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      发表于 2024-9-17 15:32

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    31#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:28:54 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 19:33 编辑 ' A  v  ?, }3 A# d# M2 e, ~$ f
    雷声 发表于 2024-9-16 19:19
    $ j' Y; C( x7 ?9 T还没搞定?
    $ y9 O3 N% y/ a( F我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的 ...

    $ ~8 c6 l: F" R9 K. P3 c$ k3 F4 h: D; i
    Nikon是稳定性不行,被牙膏退货后就没人再买。疫情前去开spie的会,Nikon还吹牛自己行了,但主流客户没人用。
    2 S1 o4 `/ g$ @$ i( m! a有网上谣言说华为买了些Nikon自己魔改做出了9100…俺比较怀疑真实性。
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    2023-2-8 04:51
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    32#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:31:01 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:21
    9 I) |! d& G) h7 P7 ^- n/ k突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NA ...
    7 I/ z2 S. K; l* D% w& K( {
    存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。
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    33#
    发表于 2024-9-17 11:34:00 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:31) Q  N4 j( v' o2 `; S' n1 t
    存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。 ...
    7 _8 \% E/ l9 Y- a% N  i
    需要用到浸润DUV吗?, D3 y" m' C  i0 @( }
    # W* t3 u+ R+ {: k3 ?$ E2 }
    我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗?
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    开心
    2023-2-8 04:51
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    34#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:37:50 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:34
    0 v7 \9 W( W+ [0 t需要用到浸润DUV吗?
    " v# V* u& I1 k& h
    2 p2 U% }4 o5 E我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗? ...
    $ j' J$ K8 ^$ G8 N; }
    浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。
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    35#
    发表于 2024-9-17 11:38:06 | 只看该作者
    雷声 发表于 2024-9-16 21:23
    5 j: G) Q) q4 [. V; ?可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞 ...
    ; G2 ^/ Q, c2 e
    是的,需要钱的地方太多,但光刻机和芯片可能是不计代价砸钱的方向,优先级比谁都高。这个瓶颈突破后,不只是军事、科技上的阳关道,经济上也是大片的处女地啊。
    1 M- j7 Z9 X6 r  g5 C0 M; Z7 ~
    ) a8 }: o0 u$ ^  `, d  C! f硬直化很形象。确实,西方家大业大,花钱手笔也大,但每一笔钱都预定了用处,活动余地真心很小。你看看美国在预算削减时那个鸡飞狗跳,就知道真是谁都动不得。“平均剃头”是公认的最坏选择,但是唯一大家可接受的选择。
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    36#
    发表于 2024-9-17 11:40:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:37# m& y& S% @8 l+ W
    浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。 ...

    4 f# Y% S/ [# O, Q都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了?
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    37#
    发表于 2024-9-17 11:43:29 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54. a. u) G/ C& Q' C; y' V, \+ C5 U
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    $ W7 e6 z2 m* b& m所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    : _! ^% Z- q$ u! ^# x" z具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均匀,从而折射率不均匀,影响成像。为了避免温差,必须让水快速流动混合,但又要避免产生漩涡或者析出气泡。水可以把所接触物品上的杂质洗下来,带到晶圆上,形成缺陷。当初ASML搞浸润式光刻机时,在浸液系统上与林本坚团队合作,方案修改了7-8回,耗时两年多才取得满意的结果。

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    38#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:59:49 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 20:02 编辑
    , D9 H6 j: J7 X! }
    沉宝 发表于 2024-9-16 19:435 w5 Y0 n  f( u$ R
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均 ...

    # C* O+ k* P8 z1 h) i% |
    % I9 E5 J2 s) l/ V2 O% b4 P这当然不容易,不过两年挺快啦,看看牙膏的10nm……
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

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    39#
     楼主| 发表于 2024-9-17 12:01:58 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:40
    $ F4 Z4 w+ N! t" D都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了? ...

    . j- j: G/ O% V! c9 i* R不知道啦,也许是隐晦放风的说法。
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    40#
    发表于 2024-9-17 17:38:39 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13  }+ t& `. y1 T1 b: O
    这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。 ...
    ! y4 ~, S8 `* g, J2 U" L$ J& d
    中国大,各地方人气质不一,各擅胜场。精细活儿江南地方超过东北山东。如此说来,韩国近东北山东,台湾精英是江浙后代。
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