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楼主: moletronic
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[科普知识] 国产光刻机猜测

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  • TA的每日心情
    慵懒
    2022-8-27 22:14
  • 签到天数: 351 天

    [LV.8]合体

    21#
    发表于 2024-9-17 08:06:46 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 14:00. m/ K- [/ c) \4 I  a/ q/ K
    也就是说,即使28nm现在还有光刻机瓶颈,其他也都就绪、只欠东风了。这是好事!4 q% y4 b- o! s8 ?" O6 q- G

    $ V! }* p$ a) {+ h$ \& P8 k个人感觉:相比于前一阵 ...

    5 r2 U, e/ L9 s) |  @& E' }0 ?2 l* ]# I) r! w( F
    这就要西方好好领教什么叫产能过剩了。

    9 K) J0 m! f; o4 v: e2 a应该会在5年内实现吧。
    ; C( ?1 z& b$ O- f0 v, e1 m; _: x% M" m+ ?
    微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)" g& {# ~1 f) x9 V
    24-9-16 23:55
    ; E8 e3 ?5 n# Z1 W/ q) g8 u! y9 z发布于 湖南: p$ ]9 K! M6 E: p4 B5 ]2 R5 `
    来自 微博网页版
    2 N& S2 E3 G8 l* W9 P啊,说过很多次了,#光刻机# 不是挖机8 A2 R! u' k3 J1 M! x! o
    不是运过来就能直接开工的。
    - }4 i: r( F1 y/ X3 P/ c2 w他需要调试,需要不断的用,一边用一边调整,等光学畸变稳定——你可以理解为拷机或者汽车发动热机暖机。7 n3 F0 C7 Z; Q/ [6 v

    + F9 f% |' l. V% @& q. X这个时间很长,也是我常年说:
      ]- X! \  \8 s, _" M- o# o就算今天ASML传送一台EUV给咱,我们拿到第一批量产的芯片流片完(无论7nm,5nm还是多少)起码2年后——这最乐观的2年时间,还得是对EUV非常有经验的顶级工程师来操作优化。
    - t0 c, I9 J5 u- f/ p& o3 _9 J" B6 [+ _# y7 e2 Z- M
    现在发布的这台机器是起码3年前就验收了(科工),现在工信部验收推广(产业链),成熟得不行了才拿出来的。你需要,给钱就有,不限量。( `5 X# e* ~+ ~' t5 J6 G) B1 @

    ( g% p8 v% t- A7 b4 \6 d) \简单理解就是——这机子是干式光刻机,做的是65-55nm的芯片,一次曝光。
    , `/ E+ P2 M! R+ J' x$ c干式光刻机没啥意义,为什么呢?因为改进之后的也可以出产低制程的,向下兼容并且良率更高(成本低方案成熟)
    * `+ g3 C1 ?* O多重曝光也不是这哥们来做……(我是不清楚干式光刻机有没人搞这个)) m9 O+ X" |9 K/ C
    但这玩意的光路设计啥的,是成型了的。有了它,就加浸没式透镜,修改物镜,最终成品是目前没有验收但肯定存在某个地方的浸没式光刻机,但起码上线了2年了4 o. |- O$ v& P  u" t* p5 ]8 r
    - K! ?0 `4 {& q) U( u! b. K
    没公布的那个肯定还在不断的调试,修改,更换国产配件。
    0 V9 O  c; F( q5 l) f) n普通人不用管光刻机啥情况——你就看最终产品就是。
    7 {; [1 S! i* w. N; Z( X#华为mate70# 也没多久了。
    3 t" Y/ U( \) \6 v( y# @7 P5 E

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    这真是极好的: 5.0
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      发表于 2024-9-18 15:38
    给力: 5 涨姿势: 5 这真是极好的: 5
      发表于 2024-9-17 08:38
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    22#
     楼主| 发表于 2024-9-17 08:15:36 | 只看该作者
    老财迷 发表于 2024-9-16 16:06
    % M! T/ ]/ [: v- h% n应该会在5年内实现吧。. J% J; j4 p6 I  A. w# _
    0 B: z& o/ A, z( }  f
    微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    7 ?" A! @8 n7 U% }0 Z- ?5 C

    : I$ G' G+ i: Q7 s: f" W这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

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    以你说的为准 :)  发表于 2024-9-17 15:27

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    23#
    发表于 2024-9-17 08:39:20 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 18:150 q9 A( e' o- `3 p3 ~7 r; k/ m
    这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。
    * j+ x! E% c4 B3 Q
    但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    24#
     楼主| 发表于 2024-9-17 10:54:17 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 18:56 编辑
      b9 A8 z2 @8 z6 p8 N; J: ]0 R
    晨枫 发表于 2024-9-16 16:39
    5 q# o4 m. G+ ~" _但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?

    / g6 s& S+ A) ]0 n
    % _3 g' T' q% `$ `. h: \( w. F按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    ; K- v4 D+ Q' u% `; P# l' }所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述

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    25#
    发表于 2024-9-17 11:08:25 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 03:34# r& p& H6 N" E/ p0 f2 x
    不过EUV制作7nm可以轻易一次曝光,产率和良率应该提高很多?
    ; a& O2 G3 s; ^, s2 C; C0 {
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积电用193nm光刻机率先量产7nm,三星则以更先进的EUV光刻机应战,由于对新型光刻机的熟悉不足,结果良率低下,很多人抛弃三星。最后三星赔本赚吆喝,开出比台积电低30%的代工费用,才勉强留下大客户。

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      发表于 2024-9-17 15:28

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    26#
    发表于 2024-9-17 11:13:01 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54* A" M# Z  s; }# k/ K
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    1 t& r  M  n; E+ V/ ?7 ^$ E3 \7 i所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    & L8 }* a# D8 r7 t& D1 k* f有道理。
    8 I' r2 P/ ~6 Z, K) O6 c) O' z
    * O3 V4 x' N: m. z9 i2 K. K: D  {; C不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资吊着。不退场,但也不全力以赴。
    ( ^$ U6 ]8 ^( _* L9 w0 a, G, x8 U, `1 ~- `5 J* L8 }% {9 u
    中国肯定是全力以赴的。而且倾国之力肯定大于尼康、佳能。- W& X/ S. Y, E2 {

    3 f7 p5 r# M( e4 z+ q4 i1 k这会有差别吗?
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    27#
    发表于 2024-9-17 11:13:37 | 只看该作者
    沉宝 发表于 2024-9-16 21:08+ d  c4 g: C5 A- g7 o' D9 @" B
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积 ...

    7 Y# n- X5 E; ^) ^6 W  T) A  Z这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。
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    28#
    发表于 2024-9-17 11:19:08 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:544 L; I+ ~  s: i2 n$ i+ e
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    7 L9 a1 k9 a: s所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    : A5 N- U/ z2 I
    还没搞定?
    0 G" Q# N* Q2 h; A; {我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的系统。我在的小破公司搭了一个,然后过去一起做,看能不能用。那个时候估计还是早期,这些基础的问题都没个数。做了几个实验,证明可以捕捉到微气泡发生,成长和运动的轨迹,我就撤了。这都十五年过去了。+ N, R' q3 j% u2 Z5 D2 B4 w
    尼康那时候已经有点不灵的迹象,食堂里面睡满了安装队的人。正常的话那些人都是满世界跑给别人装机器的。
    ! \1 Y# u) X- z4 U; @

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    坛里藏龙卧虎啊  发表于 2024-9-17 15:31

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    唐家山 + 4 伙呆了
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    29#
    发表于 2024-9-17 11:21:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54
    9 ]! ?7 f; R, k+ h6 O按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定: I5 `6 w' z% l; G
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    % F% X- z, t0 ~% s' a3 s4 L突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NAND也被卡了,因为光刻机的事,这说法准确吗?高端NAND需要多少nm节点的光刻机?
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    30#
    发表于 2024-9-17 11:23:33 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13/ M5 H0 _0 z  W4 t: J- s# J
    有道理。  L- R* a8 q  H% _. O
    7 {; h9 K1 i! l7 i
    不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资 ...
      o/ T1 E" \) K5 t+ f( [
    可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞哪张嘴里。! o4 M% v8 o+ g, ~/ J
    很多年前日本媒体评价日本财政用了很形象的词,叫硬直化。所有的钱都有定好的用处,几乎没有活动钱。需要财政支持的时候十分狼狈。该做的事情做不了,钱全都拿去维持日常运转了。

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      发表于 2024-9-17 15:32

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    开心
    2023-2-8 04:51
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    31#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:28:54 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 19:33 编辑 9 V! V7 ~( {# f2 h, @1 F
    雷声 发表于 2024-9-16 19:19
    % p2 M& O9 v, ?& `4 `/ A还没搞定?
    " ~9 B. n( S4 D0 U我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的 ...

      j1 ?2 I4 b7 m9 F0 c3 b! t( M: l+ n+ {8 [+ n0 B
    Nikon是稳定性不行,被牙膏退货后就没人再买。疫情前去开spie的会,Nikon还吹牛自己行了,但主流客户没人用。
    ! g) D0 {* p2 c$ x' ?有网上谣言说华为买了些Nikon自己魔改做出了9100…俺比较怀疑真实性。
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    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    32#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:31:01 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:21& c8 c$ a! c7 y4 _0 K3 m4 ^3 Y
    突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NA ...

    , [+ N, v5 d  l: a$ j% A存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。
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    33#
    发表于 2024-9-17 11:34:00 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:31
    ) T# O4 g$ s$ K" h9 q! q7 u4 J存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。 ...
    # N+ b, g( C" C. M! [0 c1 ^
    需要用到浸润DUV吗?* R7 `4 C9 F( V5 E$ C! ^7 W

    5 V, j# K" M8 G8 I7 T, F4 D我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗?
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    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    34#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:37:50 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:34
    + b; G5 l! ?% G6 D需要用到浸润DUV吗?
    7 m/ B# T" R! p3 ?7 X$ W# `4 L3 ^9 Q% f# {
    我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗? ...

    ( `4 S+ ?* g& [$ y+ ]4 S) @( d浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。
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    35#
    发表于 2024-9-17 11:38:06 | 只看该作者
    雷声 发表于 2024-9-16 21:23
    4 _7 u+ L8 f9 G% ]% z$ w/ e# y7 k' O可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞 ...
    * u7 c* e3 B: m0 V6 Z! i6 z& k
    是的,需要钱的地方太多,但光刻机和芯片可能是不计代价砸钱的方向,优先级比谁都高。这个瓶颈突破后,不只是军事、科技上的阳关道,经济上也是大片的处女地啊。% H# t# q( w& u& e  U

    0 a! ^3 r; j% P8 V' W4 |$ m- z硬直化很形象。确实,西方家大业大,花钱手笔也大,但每一笔钱都预定了用处,活动余地真心很小。你看看美国在预算削减时那个鸡飞狗跳,就知道真是谁都动不得。“平均剃头”是公认的最坏选择,但是唯一大家可接受的选择。
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    36#
    发表于 2024-9-17 11:40:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:37! M9 [* i3 D2 F
    浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。 ...

    5 N/ ?% V6 ]" N/ w0 Y7 t& g' y都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了?
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    37#
    发表于 2024-9-17 11:43:29 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54  E0 W7 R0 K3 C1 e7 J2 }
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定+ Q6 D2 y& e/ B$ z2 D' W
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    4 q/ |: ]+ c+ ^% O1 R5 u9 c具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均匀,从而折射率不均匀,影响成像。为了避免温差,必须让水快速流动混合,但又要避免产生漩涡或者析出气泡。水可以把所接触物品上的杂质洗下来,带到晶圆上,形成缺陷。当初ASML搞浸润式光刻机时,在浸液系统上与林本坚团队合作,方案修改了7-8回,耗时两年多才取得满意的结果。

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    38#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:59:49 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 20:02 编辑 8 M* W* i5 E# d
    沉宝 发表于 2024-9-16 19:43
    8 d; t# ~. l, n" G# i具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均 ...

    6 E6 M- T0 Y$ h- n3 X5 `: `! E# P. f3 ^% p
    这当然不容易,不过两年挺快啦,看看牙膏的10nm……
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    39#
     楼主| 发表于 2024-9-17 12:01:58 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:401 |8 s% y9 s5 P. k( a) S
    都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了? ...
    ' e  P! Z0 c, @! A" M
    不知道啦,也许是隐晦放风的说法。
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    40#
    发表于 2024-9-17 17:38:39 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:132 E9 U6 }/ w- |' V' S, M$ @1 e
    这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。 ...
    $ T7 \0 M/ f* i% E
    中国大,各地方人气质不一,各擅胜场。精细活儿江南地方超过东北山东。如此说来,韩国近东北山东,台湾精英是江浙后代。
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