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[科普知识] 国产光刻机猜测

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  • TA的每日心情
    慵懒
    2022-8-27 22:14
  • 签到天数: 351 天

    [LV.8]合体

    21#
    发表于 2024-9-17 08:06:46 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 14:00' o+ I2 O% w% x# e  W2 s% ^) u& y8 F4 O
    也就是说,即使28nm现在还有光刻机瓶颈,其他也都就绪、只欠东风了。这是好事!
    1 _" i. ], v- E0 n, {
    9 {6 y( f) p0 b3 m  `个人感觉:相比于前一阵 ...
    / |0 `1 t* [! s% e( }

    ! m; O) ?+ v; `7 Y
    这就要西方好好领教什么叫产能过剩了。

    8 u+ ~! y6 c% E( z3 C2 c, z; N应该会在5年内实现吧。
    5 T; K: e1 Y) s6 @* `4 [( r5 J) a, X/ N1 g- x# ~
    微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看): X. O" b& W0 Q+ `% |! O
    24-9-16 23:55
    ! J* G# K; K* Q+ ]# v发布于 湖南4 ^, G0 \. T; C; J$ T3 _
    来自 微博网页版
    & n$ p' I5 L" z( l  [7 d" M/ U啊,说过很多次了,#光刻机# 不是挖机
    , G8 {3 B. E3 P; D; ^5 u! S1 h3 G不是运过来就能直接开工的。
    8 J) J; x% \, {6 Y% b他需要调试,需要不断的用,一边用一边调整,等光学畸变稳定——你可以理解为拷机或者汽车发动热机暖机。
    7 O, C' ?) @! o2 ]
    3 U  S7 ^2 j% E) i) v$ C这个时间很长,也是我常年说:
    * a2 n; v+ t, `, y0 h, k- G就算今天ASML传送一台EUV给咱,我们拿到第一批量产的芯片流片完(无论7nm,5nm还是多少)起码2年后——这最乐观的2年时间,还得是对EUV非常有经验的顶级工程师来操作优化。
    0 Q4 J- }4 O9 {% @& D* ?
    5 F5 G3 c3 e$ i' n! L( U# A) i现在发布的这台机器是起码3年前就验收了(科工),现在工信部验收推广(产业链),成熟得不行了才拿出来的。你需要,给钱就有,不限量。" w, p9 T  D3 e( t6 `

    / L: G9 t$ E$ f7 ~1 W简单理解就是——这机子是干式光刻机,做的是65-55nm的芯片,一次曝光。, ^2 O$ v7 F2 D9 p* a
    干式光刻机没啥意义,为什么呢?因为改进之后的也可以出产低制程的,向下兼容并且良率更高(成本低方案成熟)5 A8 w3 \/ K  r& |
    多重曝光也不是这哥们来做……(我是不清楚干式光刻机有没人搞这个)
    4 b* O1 u. j. U5 _但这玩意的光路设计啥的,是成型了的。有了它,就加浸没式透镜,修改物镜,最终成品是目前没有验收但肯定存在某个地方的浸没式光刻机,但起码上线了2年了
    % n' s2 t8 L" B
    % ~/ ]4 r" B) |7 d+ K7 a* Y没公布的那个肯定还在不断的调试,修改,更换国产配件。
    * Z, b- ]0 x; V3 ?) ?普通人不用管光刻机啥情况——你就看最终产品就是。* g& R$ c5 @! M  P- k- {* i
    #华为mate70# 也没多久了。
    / J. q* j0 a8 x2 e3 H+ O7 ^

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    这真是极好的: 5.0
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      发表于 2024-9-18 15:38
    给力: 5 涨姿势: 5 这真是极好的: 5
      发表于 2024-9-17 08:38
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    22#
     楼主| 发表于 2024-9-17 08:15:36 | 只看该作者
    老财迷 发表于 2024-9-16 16:062 Q/ i1 U4 T* D9 |9 g5 C! N
    应该会在5年内实现吧。% a% @$ j) F5 R' g/ p* d& I; A
    . ^6 v% d2 c. R; \
    微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)

    : T; Y+ R1 B/ X8 X9 B2 f9 G/ [
    ( s, x/ |( h8 S# K) C8 [4 _) d这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

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    以你说的为准 :)  发表于 2024-9-17 15:27

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    23#
    发表于 2024-9-17 08:39:20 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 18:150 y0 S8 N0 @8 ~
    这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

    # X" J: `: t: K但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    24#
     楼主| 发表于 2024-9-17 10:54:17 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 18:56 编辑 3 U: }; w) ~* r% [2 f/ o$ D8 ]! r
    晨枫 发表于 2024-9-16 16:39/ p: Z- a! `& A* U2 h2 c2 h
    但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?

    7 O" n  _, B' n
    & C, H. [+ ]% V6 n按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定# t6 r$ c9 `/ ?1 E& I# v7 v1 x/ p
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述

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    25#
    发表于 2024-9-17 11:08:25 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 03:34. G1 z+ [) f8 `
    不过EUV制作7nm可以轻易一次曝光,产率和良率应该提高很多?
    ! s, L1 C( k. ^# h
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积电用193nm光刻机率先量产7nm,三星则以更先进的EUV光刻机应战,由于对新型光刻机的熟悉不足,结果良率低下,很多人抛弃三星。最后三星赔本赚吆喝,开出比台积电低30%的代工费用,才勉强留下大客户。

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      发表于 2024-9-17 15:28

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    26#
    发表于 2024-9-17 11:13:01 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54
    + j) k/ y' D7 x按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    7 R$ `; w1 T' P  g+ P: N所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    ' x- }+ c3 o" W% }% f; H. O4 {; D有道理。
    % v8 X0 z9 x. W
    2 [% [4 ~" r4 L; T' y% P& T* [9 @不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资吊着。不退场,但也不全力以赴。
    # [# C" r- H; v$ g1 W9 [( O$ F8 A; Q8 Y( q3 d0 W2 q3 \6 F+ x
    中国肯定是全力以赴的。而且倾国之力肯定大于尼康、佳能。
    6 F6 P  W5 |$ y+ @6 ]" ^5 @6 f; n& C
    ! [( @2 L4 ~/ |  \  ?5 V3 B这会有差别吗?
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    27#
    发表于 2024-9-17 11:13:37 | 只看该作者
    沉宝 发表于 2024-9-16 21:08
    ' q# |6 K( `& Q# x: m: n理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积 ...

    ; L& U2 f+ M* D2 c5 ]这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。
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    28#
    发表于 2024-9-17 11:19:08 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54
    ' Z2 z% t$ A! W2 H0 T按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    ) ?! v5 s) Y3 D4 r1 l  }所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    - i1 i* M3 c* s1 S$ ^" J9 s9 V
    还没搞定? 4 z. {; D4 w4 u: N
    我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的系统。我在的小破公司搭了一个,然后过去一起做,看能不能用。那个时候估计还是早期,这些基础的问题都没个数。做了几个实验,证明可以捕捉到微气泡发生,成长和运动的轨迹,我就撤了。这都十五年过去了。- B2 l% ~7 M9 ^8 r7 R; j
    尼康那时候已经有点不灵的迹象,食堂里面睡满了安装队的人。正常的话那些人都是满世界跑给别人装机器的。3 P2 m5 }  o& v( n! C

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    坛里藏龙卧虎啊  发表于 2024-9-17 15:31

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    唐家山 + 4 伙呆了
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    29#
    发表于 2024-9-17 11:21:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54
    % c6 X% ]+ d# ^' C9 J+ B* A按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定- Q1 z7 [! \. T& [- |
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    4 h2 S  Z% M3 a/ ]+ J2 E# y
    突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NAND也被卡了,因为光刻机的事,这说法准确吗?高端NAND需要多少nm节点的光刻机?
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    30#
    发表于 2024-9-17 11:23:33 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13
    ; y* Q" M& G: U" x- r! t* R有道理。
    7 ^$ T- P$ I8 O6 W) g! L+ O
    ' S* W; ?# |) E- G4 C  ~不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资 ...
    . K' x8 p' @+ h0 y. ^/ t. R
    可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞哪张嘴里。  y7 e9 w5 m# o& P8 }6 K- Z
    很多年前日本媒体评价日本财政用了很形象的词,叫硬直化。所有的钱都有定好的用处,几乎没有活动钱。需要财政支持的时候十分狼狈。该做的事情做不了,钱全都拿去维持日常运转了。

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      发表于 2024-9-17 15:32

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    开心
    2023-2-8 04:51
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    31#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:28:54 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 19:33 编辑
    ! p+ u& z3 Z* \% f% C3 N) _
    雷声 发表于 2024-9-16 19:19$ Z# K7 P+ }0 I' c
    还没搞定?
    3 v4 @/ C/ V" X/ s. A- d. t% [  l; v3 r我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的 ...

    7 Q; f% B$ }, A
    + H' d. e1 Y/ h; e6 }Nikon是稳定性不行,被牙膏退货后就没人再买。疫情前去开spie的会,Nikon还吹牛自己行了,但主流客户没人用。6 b$ T2 F/ D+ k. G- @: y2 \
    有网上谣言说华为买了些Nikon自己魔改做出了9100…俺比较怀疑真实性。
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    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    32#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:31:01 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:217 W' ?- ~( a0 u7 _/ _7 }
    突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NA ...
      }. ]- O. V2 L- X
    存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。
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    33#
    发表于 2024-9-17 11:34:00 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:31; ~( Q% j7 R( F
    存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。 ...
    7 U4 K  n3 L. ?8 ~" T
    需要用到浸润DUV吗?
    5 e! K2 d5 d) `! o) O& c8 T1 A6 I0 m0 Y" X; v
    我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗?
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    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    34#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:37:50 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:34
    - b* D3 y3 k3 T/ F需要用到浸润DUV吗?  e, Y! Q) m3 M
    , r9 \" ^' E0 \; g! h% e/ Y
    我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗? ...

      O& h. o/ p4 }: X0 G( P浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。
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    35#
    发表于 2024-9-17 11:38:06 | 只看该作者
    雷声 发表于 2024-9-16 21:233 y* }+ {( [! b7 L8 [! {
    可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞 ...
    - [+ g  Z3 r; N2 n! l( _" ]
    是的,需要钱的地方太多,但光刻机和芯片可能是不计代价砸钱的方向,优先级比谁都高。这个瓶颈突破后,不只是军事、科技上的阳关道,经济上也是大片的处女地啊。  B. h. g" D" m* K" f" J' P9 [7 s
    ' M  r0 b1 }" z  n0 g5 Q  W8 E
    硬直化很形象。确实,西方家大业大,花钱手笔也大,但每一笔钱都预定了用处,活动余地真心很小。你看看美国在预算削减时那个鸡飞狗跳,就知道真是谁都动不得。“平均剃头”是公认的最坏选择,但是唯一大家可接受的选择。
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    36#
    发表于 2024-9-17 11:40:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:37; E- V" [" ^9 p
    浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。 ...
    4 b+ y% f" A* K( N8 d
    都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了?
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    37#
    发表于 2024-9-17 11:43:29 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54+ E  }1 B+ Q* y- B
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    3 {/ A( f" q6 v; s" A所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    - j( W  O$ i, n7 Z/ a具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均匀,从而折射率不均匀,影响成像。为了避免温差,必须让水快速流动混合,但又要避免产生漩涡或者析出气泡。水可以把所接触物品上的杂质洗下来,带到晶圆上,形成缺陷。当初ASML搞浸润式光刻机时,在浸液系统上与林本坚团队合作,方案修改了7-8回,耗时两年多才取得满意的结果。

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    38#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:59:49 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 20:02 编辑
    + T+ x  \$ U& I+ s, u
    沉宝 发表于 2024-9-16 19:43# b2 G+ r/ P* F, a! D
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均 ...
    . P) f* |+ t/ e9 I' @7 l

    + l6 m4 x7 v( t$ z这当然不容易,不过两年挺快啦,看看牙膏的10nm……
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    39#
     楼主| 发表于 2024-9-17 12:01:58 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:40: I  }$ D8 r# T8 ^& r! n
    都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了? ...

    / c4 `- }5 y. W7 h不知道啦,也许是隐晦放风的说法。
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    40#
    发表于 2024-9-17 17:38:39 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13
    + }  [; k& s* X9 a/ D& W! w这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。 ...
    / ^, z$ C. q  c4 j
    中国大,各地方人气质不一,各擅胜场。精细活儿江南地方超过东北山东。如此说来,韩国近东北山东,台湾精英是江浙后代。
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