设为首页收藏本站

爱吱声

 找回密码
 注册
搜索
楼主: moletronic
打印 上一主题 下一主题

[科普知识] 国产光刻机猜测

[复制链接]
  • TA的每日心情
    慵懒
    2022-8-27 22:14
  • 签到天数: 351 天

    [LV.8]合体

    21#
    发表于 2024-9-17 08:06:46 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 14:002 e3 V* v7 g0 E' P" W
    也就是说,即使28nm现在还有光刻机瓶颈,其他也都就绪、只欠东风了。这是好事!, \: d5 U, R  K# G, G, f6 A
    # m+ {  g: r; N2 |' I% P
    个人感觉:相比于前一阵 ...

    % N! h' W# H& f4 p( ^" I
    2 e+ P# i6 r/ N( z) b
    这就要西方好好领教什么叫产能过剩了。
    9 r( x5 E0 V: h
    应该会在5年内实现吧。) [2 `2 K# L. y$ o8 S* U6 b

    $ m6 p) ~/ U7 \0 F- e微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)9 Q3 h0 v. r8 W$ y3 x/ A
    24-9-16 23:55
    8 {& E7 {0 P, A- `5 o发布于 湖南
    / m2 T" [4 b3 E" K4 I. P8 [) e0 l, a来自 微博网页版
    3 t5 I$ k3 a* _& u啊,说过很多次了,#光刻机# 不是挖机& C2 Y6 J& }* B; R- B/ P0 E& t
    不是运过来就能直接开工的。
    ; l$ n, X3 S6 y" g$ J他需要调试,需要不断的用,一边用一边调整,等光学畸变稳定——你可以理解为拷机或者汽车发动热机暖机。
    + @" c" [( N1 c: V$ q- l
    / |: R" S2 S6 J( M# q这个时间很长,也是我常年说:
    ( M& B+ v+ j0 s3 }3 e# k* l就算今天ASML传送一台EUV给咱,我们拿到第一批量产的芯片流片完(无论7nm,5nm还是多少)起码2年后——这最乐观的2年时间,还得是对EUV非常有经验的顶级工程师来操作优化。
    - u4 D/ }* |$ {! u7 a1 D3 L5 H% z. Q# V) `/ l
    现在发布的这台机器是起码3年前就验收了(科工),现在工信部验收推广(产业链),成熟得不行了才拿出来的。你需要,给钱就有,不限量。
    ; L1 w- R) x3 v+ M. d: J- r
    / E) \# P9 S$ p/ m6 T, O简单理解就是——这机子是干式光刻机,做的是65-55nm的芯片,一次曝光。* d; R% k: c3 [) `- k
    干式光刻机没啥意义,为什么呢?因为改进之后的也可以出产低制程的,向下兼容并且良率更高(成本低方案成熟)
    6 \( m2 c0 |) k. H4 g; T1 P" s/ g多重曝光也不是这哥们来做……(我是不清楚干式光刻机有没人搞这个)) X2 U7 t5 d% J* j) Q; w& g
    但这玩意的光路设计啥的,是成型了的。有了它,就加浸没式透镜,修改物镜,最终成品是目前没有验收但肯定存在某个地方的浸没式光刻机,但起码上线了2年了) @8 \. Q8 }3 M
    ; C9 C: Y6 m, i4 L
    没公布的那个肯定还在不断的调试,修改,更换国产配件。1 h8 n. V+ Y7 J4 k+ ]  Q" Y
    普通人不用管光刻机啥情况——你就看最终产品就是。
    + p. `) v. t) B#华为mate70# 也没多久了。
    " y: G( f+ S% ~. \3 i

    点评

    给力: 5.0 涨姿势: 5.0
    这真是极好的: 5.0
    涨姿势: 5
      发表于 2024-9-18 15:38
    给力: 5 涨姿势: 5 这真是极好的: 5
      发表于 2024-9-17 08:38
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    22#
     楼主| 发表于 2024-9-17 08:15:36 | 只看该作者
    老财迷 发表于 2024-9-16 16:06
    $ Y& v+ J& o8 d+ s) a应该会在5年内实现吧。6 _- Z2 u$ [- w5 r' k

    $ D, I- P( ?9 ]9 m+ p微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    % M/ `4 o# L, A

    1 _3 _" r8 H$ W这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

    点评

    油菜: 5.0 给力: 5.0
    油菜: 5 给力: 5
    以你说的为准 :)  发表于 2024-9-17 15:27

    评分

    参与人数 1爱元 +8 收起 理由
    老财迷 + 8

    查看全部评分

    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    23#
    发表于 2024-9-17 08:39:20 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 18:15
    , S1 E/ ^1 J; L/ E3 m1 {$ u4 F& r这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。
    # r1 a; P2 @0 q8 @* w$ J
    但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    24#
     楼主| 发表于 2024-9-17 10:54:17 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 18:56 编辑
    . l( ]6 i! W9 C8 v5 {
    晨枫 发表于 2024-9-16 16:395 r* p" l' K$ [& q
    但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
    % d9 R- [" m$ M" K+ y6 T
    9 \8 l) l2 `/ \
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    & X  z7 m* A; b: ]2 a. g所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述

    评分

    参与人数 2爱元 +18 学识 +2 收起 理由
    老票 + 10 + 2 给力
    老财迷 + 8 涨姿势

    查看全部评分

    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    25#
    发表于 2024-9-17 11:08:25 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 03:34; x7 ~: p' C5 V# Z' ~) h
    不过EUV制作7nm可以轻易一次曝光,产率和良率应该提高很多?
    % r+ x( g9 j# V! x+ Q
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积电用193nm光刻机率先量产7nm,三星则以更先进的EUV光刻机应战,由于对新型光刻机的熟悉不足,结果良率低下,很多人抛弃三星。最后三星赔本赚吆喝,开出比台积电低30%的代工费用,才勉强留下大客户。

    点评

    油菜: 5.0 涨姿势: 5.0
    油菜: 5 涨姿势: 5
      发表于 2024-9-17 15:28

    评分

    参与人数 1爱元 +8 收起 理由
    老财迷 + 8

    查看全部评分

    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    26#
    发表于 2024-9-17 11:13:01 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54
    * X' j  G9 H# v* }% T按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定6 h' J3 h* T; Q5 P0 s) \6 n" C
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    & t# ~0 U/ A" Y7 v' ?: Y1 T有道理。
    1 r& s1 X5 H& Q) z7 W- s; |/ w; V, Z# k$ |
    不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资吊着。不退场,但也不全力以赴。7 l, w) g5 `* p9 F5 K# }! X
    # F% k2 f  ^# Q. @% G3 T
    中国肯定是全力以赴的。而且倾国之力肯定大于尼康、佳能。
    ' U' ^" Y& @9 p$ r( c, D7 b- u2 w# D1 p, z, q
    这会有差别吗?
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    27#
    发表于 2024-9-17 11:13:37 | 只看该作者
    沉宝 发表于 2024-9-16 21:08/ z3 e! f3 v) u/ V: \
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积 ...
    6 P; ~: K: l8 p  _  ?
    这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    28#
    发表于 2024-9-17 11:19:08 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54
    $ [2 U( ^+ g/ `按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    * D) v! k5 n/ B( j9 Q所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    9 Y/ U+ ?6 R% u$ X3 e还没搞定?
    3 J% t) Y" L9 F  |; q我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的系统。我在的小破公司搭了一个,然后过去一起做,看能不能用。那个时候估计还是早期,这些基础的问题都没个数。做了几个实验,证明可以捕捉到微气泡发生,成长和运动的轨迹,我就撤了。这都十五年过去了。
    " w  C# F( R; k0 F0 U: F尼康那时候已经有点不灵的迹象,食堂里面睡满了安装队的人。正常的话那些人都是满世界跑给别人装机器的。
    ! L% l' p# X5 a& l

    点评

    油菜: 5.0 给力: 0.0
    涨姿势: 5.0
    油菜: 5 给力: 0 涨姿势: 5
    坛里藏龙卧虎啊  发表于 2024-9-17 15:31

    评分

    参与人数 3爱元 +22 学识 +2 收起 理由
    老票 + 10 + 2 涨姿势
    唐家山 + 4 伙呆了
    老财迷 + 8

    查看全部评分

    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    29#
    发表于 2024-9-17 11:21:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54/ S$ h3 n; b) F) ]! T" A  _: c
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定, V; w. u) n5 x4 q, p5 ^
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    3 t+ U. c( M6 ]5 D5 J  B突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NAND也被卡了,因为光刻机的事,这说法准确吗?高端NAND需要多少nm节点的光刻机?
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    30#
    发表于 2024-9-17 11:23:33 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13
    2 X* u  C8 m& L' f有道理。3 D) h+ X4 T2 E" n* x( M' g
    ' O9 c, u0 u: o3 v2 e) R
    不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资 ...
    - n0 B* D6 n* m$ M2 A! B8 E
    可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞哪张嘴里。5 I% z/ ~. s8 m/ k; u
    很多年前日本媒体评价日本财政用了很形象的词,叫硬直化。所有的钱都有定好的用处,几乎没有活动钱。需要财政支持的时候十分狼狈。该做的事情做不了,钱全都拿去维持日常运转了。

    点评

    油菜: 5.0 涨姿势: 5.0
    油菜: 5 涨姿势: 5
      发表于 2024-9-17 15:32

    评分

    参与人数 1爱元 +4 收起 理由
    老财迷 + 4

    查看全部评分

    回复 支持 反对

    使用道具 举报

  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    31#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:28:54 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 19:33 编辑
    3 s6 E3 O  `$ H9 `7 U" M- ~
    雷声 发表于 2024-9-16 19:195 T1 f- b/ M  v/ s$ |' Q1 y
    还没搞定? ( T6 ^; [7 h- Y$ W8 g$ P
    我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的 ...
    ' e7 N( [) T, \( }$ ?

    3 z' c( C! t, b+ a: ^: V2 LNikon是稳定性不行,被牙膏退货后就没人再买。疫情前去开spie的会,Nikon还吹牛自己行了,但主流客户没人用。7 D/ m/ v# d+ J7 u$ q& A$ |; K
    有网上谣言说华为买了些Nikon自己魔改做出了9100…俺比较怀疑真实性。
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    32#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:31:01 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:218 q# M# M# l- i2 y1 x! l4 m
    突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NA ...

    7 X( t4 I: Q( y( X& ^! T  A, s存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    33#
    发表于 2024-9-17 11:34:00 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:31( _5 c" Z9 U7 e
    存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。 ...
    0 d0 N: S+ y" Y; ^: n
    需要用到浸润DUV吗?
    # g" c( e7 b: {
    ( B4 V* Y% h& ^* ^! D' H7 ]我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗?
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    34#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:37:50 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:34+ d1 A8 G3 D% L- G$ v1 f/ p# i! C
    需要用到浸润DUV吗?
    3 y( N8 J4 J- U5 }& M2 L" S' h4 N2 M: o
    我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗? ...
    % i0 l4 K9 x, c( j; \) H
    浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    35#
    发表于 2024-9-17 11:38:06 | 只看该作者
    雷声 发表于 2024-9-16 21:23
    ( w% m( |& P0 n: k可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞 ...

    - Y3 P, |! Q  y! {2 F是的,需要钱的地方太多,但光刻机和芯片可能是不计代价砸钱的方向,优先级比谁都高。这个瓶颈突破后,不只是军事、科技上的阳关道,经济上也是大片的处女地啊。
      b6 D# B7 b, m6 d* r2 d+ U) `) [0 L* |
    硬直化很形象。确实,西方家大业大,花钱手笔也大,但每一笔钱都预定了用处,活动余地真心很小。你看看美国在预算削减时那个鸡飞狗跳,就知道真是谁都动不得。“平均剃头”是公认的最坏选择,但是唯一大家可接受的选择。
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    36#
    发表于 2024-9-17 11:40:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:37. M5 D' x$ n- D$ k7 q" K0 M
    浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。 ...
    ) Y* ^: Y9 m  w2 ~
    都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了?
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    37#
    发表于 2024-9-17 11:43:29 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54
    $ I. U6 K" w5 ]: Y0 D按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定- t6 F) [  B, a5 g% V0 I
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    , u3 `" f; I" H% T) t9 Z具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均匀,从而折射率不均匀,影响成像。为了避免温差,必须让水快速流动混合,但又要避免产生漩涡或者析出气泡。水可以把所接触物品上的杂质洗下来,带到晶圆上,形成缺陷。当初ASML搞浸润式光刻机时,在浸液系统上与林本坚团队合作,方案修改了7-8回,耗时两年多才取得满意的结果。

    评分

    参与人数 1爱元 +10 学识 +2 收起 理由
    老票 + 10 + 2 涨姿势

    查看全部评分

    回复 支持 反对

    使用道具 举报

  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    38#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:59:49 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 20:02 编辑
    # X3 C4 G7 X5 y5 b% y3 @
    沉宝 发表于 2024-9-16 19:43
    3 v8 o/ K4 H- O% H. w具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均 ...
    . s1 u' D+ Z+ g5 U% p

    " C1 M" u$ G! o3 S+ y- r! R3 ^这当然不容易,不过两年挺快啦,看看牙膏的10nm……
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    39#
     楼主| 发表于 2024-9-17 12:01:58 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:40
    2 }# u& b. H7 M1 @# C, E  b+ |都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了? ...
    ; F( G" z& v, G$ G! _1 i. \
    不知道啦,也许是隐晦放风的说法。
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    40#
    发表于 2024-9-17 17:38:39 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13+ x/ t' d  j' A! h: w  t
    这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。 ...
    6 ~6 Y: v9 l+ L. x, e- ?0 E
    中国大,各地方人气质不一,各擅胜场。精细活儿江南地方超过东北山东。如此说来,韩国近东北山东,台湾精英是江浙后代。
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    手机版|小黑屋|Archiver|网站错误报告|爱吱声   

    GMT+8, 2025-8-12 11:14 , Processed in 0.056659 second(s), 18 queries , Gzip On.

    Powered by Discuz! X3.2

    © 2001-2013 Comsenz Inc.

    快速回复 返回顶部 返回列表