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楼主: moletronic
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[科普知识] 国产光刻机猜测

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  • TA的每日心情
    慵懒
    2022-8-27 22:14
  • 签到天数: 351 天

    [LV.8]合体

    21#
    发表于 2024-9-17 08:06:46 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 14:00
    ) ?! b5 l* m0 x* v) n5 ~: m也就是说,即使28nm现在还有光刻机瓶颈,其他也都就绪、只欠东风了。这是好事!0 u3 R: b5 p  N/ c0 ?

    3 z& m9 h/ w1 D' _$ y; y2 l1 g% o个人感觉:相比于前一阵 ...
    8 w- R) s; v) M6 I# W! k" N

    1 K$ h! l8 ]5 P8 k9 p. |$ ^) [
    这就要西方好好领教什么叫产能过剩了。
    - [' P3 w# l; o0 w  ]) u
    应该会在5年内实现吧。
    1 C* |  ?  m- H" P4 a/ g# G- Z! m$ D- ?' q% E9 ^, O
    微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    + ^5 d6 y( l" f$ {4 i; J24-9-16 23:550 o: d& }* M: x- o, D
    发布于 湖南3 W5 j  c0 y2 k7 q; C* z
    来自 微博网页版0 v0 x/ w3 g- v9 z$ H( Y
    啊,说过很多次了,#光刻机# 不是挖机
    4 p2 ^# H4 A; b不是运过来就能直接开工的。
    4 ~* }$ T/ O" o! Y! X* r# v0 s他需要调试,需要不断的用,一边用一边调整,等光学畸变稳定——你可以理解为拷机或者汽车发动热机暖机。
    8 i9 R5 k  u" L& I. g5 _2 y
    ! \# O4 P' S5 k这个时间很长,也是我常年说:
    : S; A8 c, r" z$ w就算今天ASML传送一台EUV给咱,我们拿到第一批量产的芯片流片完(无论7nm,5nm还是多少)起码2年后——这最乐观的2年时间,还得是对EUV非常有经验的顶级工程师来操作优化。
    - Q; ^. Q6 q9 |1 b& ?/ c6 b- t) `( r$ x' n% X  q2 E; o- q6 L
    现在发布的这台机器是起码3年前就验收了(科工),现在工信部验收推广(产业链),成熟得不行了才拿出来的。你需要,给钱就有,不限量。
    * f/ I! ^$ M0 f2 B/ W3 p4 k; {+ e! J9 L
    简单理解就是——这机子是干式光刻机,做的是65-55nm的芯片,一次曝光。1 q4 f4 ?- X; L; t1 I; U
    干式光刻机没啥意义,为什么呢?因为改进之后的也可以出产低制程的,向下兼容并且良率更高(成本低方案成熟)5 @' H4 i0 m" K& M$ M) M( O
    多重曝光也不是这哥们来做……(我是不清楚干式光刻机有没人搞这个)) i. ]2 G0 C# @0 O7 {/ j* w
    但这玩意的光路设计啥的,是成型了的。有了它,就加浸没式透镜,修改物镜,最终成品是目前没有验收但肯定存在某个地方的浸没式光刻机,但起码上线了2年了
    . F9 z- H; s3 ?
    ) ]% q3 q* }) x% u1 H) {( j4 T没公布的那个肯定还在不断的调试,修改,更换国产配件。
    % a) N& s1 o; q( n& f  o普通人不用管光刻机啥情况——你就看最终产品就是。
    7 [& w+ t* P, u1 r4 `1 Q#华为mate70# 也没多久了。+ @5 _) V% N' e2 h4 s. s

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    这真是极好的: 5.0
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      发表于 2024-9-18 15:38
    给力: 5 涨姿势: 5 这真是极好的: 5
      发表于 2024-9-17 08:38
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    22#
     楼主| 发表于 2024-9-17 08:15:36 | 只看该作者
    老财迷 发表于 2024-9-16 16:06: R' L7 p, {& o8 L+ j3 t
    应该会在5年内实现吧。
    7 M( E0 {+ c3 F2 [
    ; |1 S3 |+ r1 `8 f微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    " R& Y0 [( k* N
    1 Q& n" n% l( i+ R9 v( c- ^2 w
    这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

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    油菜: 5 给力: 5
    以你说的为准 :)  发表于 2024-9-17 15:27

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    23#
    发表于 2024-9-17 08:39:20 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 18:15$ K- |* o0 c! _6 e, E
    这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。
    2 w7 q+ o7 M2 q& |
    但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    24#
     楼主| 发表于 2024-9-17 10:54:17 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 18:56 编辑 ' A8 L: d7 b) W  v; j
    晨枫 发表于 2024-9-16 16:39
    " n# @- u) J4 a1 t1 i" E- E: C但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
    5 j& b$ j' C2 P* ]1 y
    8 H9 M# o4 J" O6 n+ q. s
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定( v- Y  D0 t: n0 M: {  G+ `, g
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述

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    25#
    发表于 2024-9-17 11:08:25 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 03:34
    * R2 w; P4 `% m! R+ D不过EUV制作7nm可以轻易一次曝光,产率和良率应该提高很多?
    8 h/ N# \0 C2 ]( S3 ~
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积电用193nm光刻机率先量产7nm,三星则以更先进的EUV光刻机应战,由于对新型光刻机的熟悉不足,结果良率低下,很多人抛弃三星。最后三星赔本赚吆喝,开出比台积电低30%的代工费用,才勉强留下大客户。

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      发表于 2024-9-17 15:28

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    26#
    发表于 2024-9-17 11:13:01 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54+ m* c8 e( V8 b0 a# A* X' [& ~
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    ! c6 E) P+ }' w; {+ l4 E所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    . w" H8 S7 M! d; l" F" {有道理。
    7 M' k9 R; k1 g
    * R# l0 s' r+ o4 M) |不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资吊着。不退场,但也不全力以赴。0 B$ K  V% N, J+ k2 N5 _2 X# w- }7 r

      l* k2 B+ H( S1 V8 a! I; A中国肯定是全力以赴的。而且倾国之力肯定大于尼康、佳能。
    , w9 H0 Q2 t0 f! N( H4 M' T0 ^: B7 L& Z- o7 a( X
    这会有差别吗?
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    27#
    发表于 2024-9-17 11:13:37 | 只看该作者
    沉宝 发表于 2024-9-16 21:08# _3 Q2 |5 Y. ]
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积 ...
    ) _6 H. I: c6 S+ C( Q
    这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。
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    28#
    发表于 2024-9-17 11:19:08 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54
    * @7 x7 F4 f5 p( g0 n& C6 T按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定7 H6 V0 ]9 d( b8 L
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    ) X8 k/ }) i0 w* w+ \9 j, `; q$ s
    还没搞定?   f- _- T2 Y8 K! Q  H: s
    我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的系统。我在的小破公司搭了一个,然后过去一起做,看能不能用。那个时候估计还是早期,这些基础的问题都没个数。做了几个实验,证明可以捕捉到微气泡发生,成长和运动的轨迹,我就撤了。这都十五年过去了。& V% m8 b' k" _( @$ Q" g
    尼康那时候已经有点不灵的迹象,食堂里面睡满了安装队的人。正常的话那些人都是满世界跑给别人装机器的。' Y1 A8 z* e* ]! O$ W7 F& d

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    坛里藏龙卧虎啊  发表于 2024-9-17 15:31

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    29#
    发表于 2024-9-17 11:21:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54
    $ `8 c% Q# o! H: [按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    5 F3 e5 O) O( R3 f% K所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    1 w  l& g2 Q% O, s突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NAND也被卡了,因为光刻机的事,这说法准确吗?高端NAND需要多少nm节点的光刻机?
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    30#
    发表于 2024-9-17 11:23:33 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13
    & S7 g: \  ~) ]% I. I: ?: s: `有道理。
    . M) O4 d- f9 h- N2 C' m, f
    $ t: \! i' _1 i不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资 ...
    $ n4 ^4 T2 J1 d: w
    可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞哪张嘴里。$ Q  k0 m) [: q9 z
    很多年前日本媒体评价日本财政用了很形象的词,叫硬直化。所有的钱都有定好的用处,几乎没有活动钱。需要财政支持的时候十分狼狈。该做的事情做不了,钱全都拿去维持日常运转了。

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      发表于 2024-9-17 15:32

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    开心
    2023-2-8 04:51
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    31#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:28:54 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 19:33 编辑 % I' N; M, a! m
    雷声 发表于 2024-9-16 19:19
    / A4 o2 U: P- k还没搞定?
    & N$ l# Y" |0 g/ d我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的 ...

    ( T. o+ }* _' s! F/ G7 Q7 a& ^, o1 T* ]" x: K# p. x
    Nikon是稳定性不行,被牙膏退货后就没人再买。疫情前去开spie的会,Nikon还吹牛自己行了,但主流客户没人用。
    ) P. G# E4 I% v. M# q% e/ a有网上谣言说华为买了些Nikon自己魔改做出了9100…俺比较怀疑真实性。
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    2023-2-8 04:51
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    32#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:31:01 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:21
    ! t7 V" h: `9 H突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NA ...
    ! S# ]  a) B6 ]2 K7 O
    存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。
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    33#
    发表于 2024-9-17 11:34:00 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:31
    8 Q8 T/ Q3 _5 I& c: o% S$ `存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。 ...
    , z; ?* K+ h% b' W
    需要用到浸润DUV吗?. X8 t$ v/ I( j5 F$ E
    4 A) M  h! P3 o: y9 H% i3 j  Z( E
    我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    34#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:37:50 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:34
    4 c1 j5 s9 ]5 y! x" S- U8 s. k需要用到浸润DUV吗?! B- X  Z: H& \
    ' d0 A( r5 M% w# k+ S4 a
    我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗? ...

    ) ~; ~- L. {9 M) w浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。
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    35#
    发表于 2024-9-17 11:38:06 | 只看该作者
    雷声 发表于 2024-9-16 21:23
    0 P' o7 t* Z% q& n; Y可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞 ...

    2 r. g7 I* G8 S  M- B: M+ H是的,需要钱的地方太多,但光刻机和芯片可能是不计代价砸钱的方向,优先级比谁都高。这个瓶颈突破后,不只是军事、科技上的阳关道,经济上也是大片的处女地啊。
    $ T( d9 ?$ @3 r4 }& E5 e3 h7 X% P1 M6 ^; l5 U8 }: s! u- _% R- s
    硬直化很形象。确实,西方家大业大,花钱手笔也大,但每一笔钱都预定了用处,活动余地真心很小。你看看美国在预算削减时那个鸡飞狗跳,就知道真是谁都动不得。“平均剃头”是公认的最坏选择,但是唯一大家可接受的选择。
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    36#
    发表于 2024-9-17 11:40:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:37& R, W& n3 J6 @* Y- |& I
    浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。 ...

    0 m1 Z$ C0 ]: n/ y" K% r% R! c都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了?
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    37#
    发表于 2024-9-17 11:43:29 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54
    0 @+ Q! K* s, f9 T) ~按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定: h* u3 o2 F+ g3 Q
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    8 |" z2 m& F0 P
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均匀,从而折射率不均匀,影响成像。为了避免温差,必须让水快速流动混合,但又要避免产生漩涡或者析出气泡。水可以把所接触物品上的杂质洗下来,带到晶圆上,形成缺陷。当初ASML搞浸润式光刻机时,在浸液系统上与林本坚团队合作,方案修改了7-8回,耗时两年多才取得满意的结果。

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    38#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:59:49 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 20:02 编辑 8 j8 q) n: {# l
    沉宝 发表于 2024-9-16 19:43
    , b) A8 Y8 j. p0 {( x/ C具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均 ...

    4 j1 U( k- S* I$ F' A. }. e
    ; b, o* u! F, l' F% j这当然不容易,不过两年挺快啦,看看牙膏的10nm……
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    开心
    2023-2-8 04:51
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    39#
     楼主| 发表于 2024-9-17 12:01:58 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:409 F6 ?, W4 a( ]" c) ?9 i/ z7 H
    都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了? ...

    7 M: _0 r3 \# ^不知道啦,也许是隐晦放风的说法。
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    40#
    发表于 2024-9-17 17:38:39 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13+ U/ r7 `: z; j5 y, w
    这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。 ...

    4 T) a1 ^; k( u; n. H6 U9 a中国大,各地方人气质不一,各擅胜场。精细活儿江南地方超过东北山东。如此说来,韩国近东北山东,台湾精英是江浙后代。
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