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[科普知识] 国产光刻机猜测

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  • TA的每日心情
    慵懒
    2022-8-27 22:14
  • 签到天数: 351 天

    [LV.8]合体

    21#
    发表于 2024-9-17 08:06:46 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 14:00
    ( N1 C6 S2 K  M+ _也就是说,即使28nm现在还有光刻机瓶颈,其他也都就绪、只欠东风了。这是好事!
    2 ~, r' L# v  f; W8 G3 y' F% G4 W3 R9 j
    个人感觉:相比于前一阵 ...
    9 b+ ]/ A6 h  ?6 u/ S: V
    7 S$ t% e3 s1 L
    这就要西方好好领教什么叫产能过剩了。

    / [. Z+ k8 I0 |; i. e1 T, r* @应该会在5年内实现吧。
    ! G/ f) P# m- c' X! S& d( l* `/ x
    微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    3 ^( @& _" A2 a6 A1 k6 v+ n24-9-16 23:55* f7 R- Y/ A5 S- J3 T$ u& T% j
    发布于 湖南/ T5 x, y8 t( l2 m
    来自 微博网页版! T! X6 ?' x" i: i3 Z
    啊,说过很多次了,#光刻机# 不是挖机
    ; ]% o' l; A- `1 ~- r不是运过来就能直接开工的。
    - C/ E" l; n: j他需要调试,需要不断的用,一边用一边调整,等光学畸变稳定——你可以理解为拷机或者汽车发动热机暖机。% q! I( _+ B- k$ E7 D5 i# Z

    1 ^- m0 O; F' @" P这个时间很长,也是我常年说:
    2 v: c5 S; X! q5 G. T就算今天ASML传送一台EUV给咱,我们拿到第一批量产的芯片流片完(无论7nm,5nm还是多少)起码2年后——这最乐观的2年时间,还得是对EUV非常有经验的顶级工程师来操作优化。
    4 z$ y9 T. {* a
    * o7 k5 O' X* k& L  o* y* f现在发布的这台机器是起码3年前就验收了(科工),现在工信部验收推广(产业链),成熟得不行了才拿出来的。你需要,给钱就有,不限量。8 i+ m9 z& o3 t0 |( B: R
    0 Z0 i. g$ p# q7 D: N+ K
    简单理解就是——这机子是干式光刻机,做的是65-55nm的芯片,一次曝光。; p1 p# V: m  p+ Q
    干式光刻机没啥意义,为什么呢?因为改进之后的也可以出产低制程的,向下兼容并且良率更高(成本低方案成熟)
    ( ~4 _1 v" d; J. _, @/ _$ j+ N0 z多重曝光也不是这哥们来做……(我是不清楚干式光刻机有没人搞这个)
    : k: g5 a/ C2 R* B但这玩意的光路设计啥的,是成型了的。有了它,就加浸没式透镜,修改物镜,最终成品是目前没有验收但肯定存在某个地方的浸没式光刻机,但起码上线了2年了8 p( T7 y# O$ t, H2 p" ]
    1 o( i4 s$ \2 \
    没公布的那个肯定还在不断的调试,修改,更换国产配件。) o$ i* }) V( @4 a
    普通人不用管光刻机啥情况——你就看最终产品就是。
    6 E5 K- V: j8 g% Q#华为mate70# 也没多久了。
    " q) E# i7 D: q. ^1 c3 ~

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    这真是极好的: 5.0
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      发表于 2024-9-18 15:38
    给力: 5 涨姿势: 5 这真是极好的: 5
      发表于 2024-9-17 08:38
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    22#
     楼主| 发表于 2024-9-17 08:15:36 | 只看该作者
    老财迷 发表于 2024-9-16 16:06  c3 ]7 Y% `4 v6 v
    应该会在5年内实现吧。
    6 I! U, j8 ~/ t3 T& ^0 c  H
    # T6 j, v: y$ p微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    * Q1 D5 R  J# X6 r
      }5 Y8 [" ?' [
    这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

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    以你说的为准 :)  发表于 2024-9-17 15:27

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    23#
    发表于 2024-9-17 08:39:20 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 18:15
    3 e, x2 [$ c; G- U7 T这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

    # H: |6 M: O- ?, ~* }: i- r但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    24#
     楼主| 发表于 2024-9-17 10:54:17 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 18:56 编辑 4 V4 ^, X: ?# K; n* Y3 _' r
    晨枫 发表于 2024-9-16 16:39
    " @, ~, z6 W( H0 q- L7 g4 {  e2 G' @9 \但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
    2 m1 ~) A" N2 x& G2 ?# d

    $ r2 R4 }2 f" K按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    0 k4 A* M$ t0 c9 l7 l' c所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述

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    25#
    发表于 2024-9-17 11:08:25 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 03:34
    3 ^5 J6 b7 d! t* [3 e) C$ v不过EUV制作7nm可以轻易一次曝光,产率和良率应该提高很多?

    4 U7 D+ G, m9 }, e6 B理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积电用193nm光刻机率先量产7nm,三星则以更先进的EUV光刻机应战,由于对新型光刻机的熟悉不足,结果良率低下,很多人抛弃三星。最后三星赔本赚吆喝,开出比台积电低30%的代工费用,才勉强留下大客户。

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      发表于 2024-9-17 15:28

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    26#
    发表于 2024-9-17 11:13:01 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54
    * v  t9 h  v  H3 W7 N& w! f按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    9 q8 C, y& i5 V7 `所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    + {# d+ M8 K3 p# A有道理。
    2 }' Y9 U3 t  l. }* P- b
    5 E4 x9 L' x( Y/ E& Z# N7 `! ^- A不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资吊着。不退场,但也不全力以赴。
    / r* x. s$ O' t* z! S3 x* W0 i* H* u8 ]  ^! J/ Z
    中国肯定是全力以赴的。而且倾国之力肯定大于尼康、佳能。# _) |  @" @, w6 d% `
    & g( V  M: L) t3 B' v+ U8 \
    这会有差别吗?
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    27#
    发表于 2024-9-17 11:13:37 | 只看该作者
    沉宝 发表于 2024-9-16 21:08; }1 u* z; |; F0 R
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积 ...
    / a1 E0 \2 o$ P" ?
    这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。
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    28#
    发表于 2024-9-17 11:19:08 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54
    3 F$ @, c. Z3 t5 B8 T( U, h按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定( ]. Y% n+ S1 \  ^" g* _
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    . G& p# P1 \" _; A
    还没搞定? : k0 \: A& O: V2 l5 h7 e
    我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的系统。我在的小破公司搭了一个,然后过去一起做,看能不能用。那个时候估计还是早期,这些基础的问题都没个数。做了几个实验,证明可以捕捉到微气泡发生,成长和运动的轨迹,我就撤了。这都十五年过去了。7 j# e0 ~( ]; m! D" P
    尼康那时候已经有点不灵的迹象,食堂里面睡满了安装队的人。正常的话那些人都是满世界跑给别人装机器的。2 v4 Z: y! Y  [7 C: w

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    坛里藏龙卧虎啊  发表于 2024-9-17 15:31

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    唐家山 + 4 伙呆了
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    29#
    发表于 2024-9-17 11:21:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54
    : J/ g3 f2 \% m$ w, ^按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    $ u# C9 ~5 q" y: O) t- o  R* Y所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    : ?) z5 x/ F7 `: R( U突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NAND也被卡了,因为光刻机的事,这说法准确吗?高端NAND需要多少nm节点的光刻机?
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    30#
    发表于 2024-9-17 11:23:33 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13
    ( D: _. c4 h: |+ V, h* x2 d有道理。
    + V, U9 o" S& \" D
    6 P8 j* b9 E& u9 q+ D3 U9 t9 y不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资 ...
    % O+ o2 T+ ?2 E" r% L
    可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞哪张嘴里。- P& V: R* C, _7 ~% Y5 F7 `) e
    很多年前日本媒体评价日本财政用了很形象的词,叫硬直化。所有的钱都有定好的用处,几乎没有活动钱。需要财政支持的时候十分狼狈。该做的事情做不了,钱全都拿去维持日常运转了。

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      发表于 2024-9-17 15:32

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    31#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:28:54 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 19:33 编辑 0 h- @2 c8 o- C1 w$ r0 T
    雷声 发表于 2024-9-16 19:196 |3 z3 P; a: J* q
    还没搞定? ) p9 N8 q) ]8 G2 H9 N- ?: ^  D
    我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的 ...
    ) N9 V1 g/ z% f/ f  ?4 N$ f

    # A! k5 j: g& g$ yNikon是稳定性不行,被牙膏退货后就没人再买。疫情前去开spie的会,Nikon还吹牛自己行了,但主流客户没人用。
    2 n5 L! l: H9 ?+ U! E/ G" q有网上谣言说华为买了些Nikon自己魔改做出了9100…俺比较怀疑真实性。
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    32#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:31:01 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:21
    ( L( \; _" W8 d5 w8 X突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NA ...
    & `3 F5 O4 \% o' e  d  J# r! }" C+ D
    存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。
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    33#
    发表于 2024-9-17 11:34:00 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:314 G! ]( x! L$ ~& D3 K
    存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。 ...
    2 @0 l& O; W) U+ _
    需要用到浸润DUV吗?
    ) u% \0 y& Y( ]. C) G5 D
    ; x* ~- u; D* q8 I/ k( ^我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗?
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    开心
    2023-2-8 04:51
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    34#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:37:50 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:34) C3 g- t# c, }7 T2 |. \
    需要用到浸润DUV吗?
    ( R. l; q: ^3 R% N  E# o
    * i; ^: d  j" [' |我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗? ...
    # P" s" O. D$ J; J' Z, x7 T/ K
    浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。
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    35#
    发表于 2024-9-17 11:38:06 | 只看该作者
    雷声 发表于 2024-9-16 21:23. _. L3 z9 b: I9 |
    可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞 ...

    ; @' a$ f2 @0 T9 r1 u8 Z6 b是的,需要钱的地方太多,但光刻机和芯片可能是不计代价砸钱的方向,优先级比谁都高。这个瓶颈突破后,不只是军事、科技上的阳关道,经济上也是大片的处女地啊。' T: f' Q& H" B3 w
      y5 u5 s5 H; H) K% F; w1 {. R; z
    硬直化很形象。确实,西方家大业大,花钱手笔也大,但每一笔钱都预定了用处,活动余地真心很小。你看看美国在预算削减时那个鸡飞狗跳,就知道真是谁都动不得。“平均剃头”是公认的最坏选择,但是唯一大家可接受的选择。
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    36#
    发表于 2024-9-17 11:40:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:37% u( z( ~% Z7 ?, c% e; v' R
    浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。 ...
    # W) Y' Z/ Y3 F' b; w
    都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了?
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    37#
    发表于 2024-9-17 11:43:29 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54. q4 X+ T9 W) g
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定" j, ^% h+ C/ w
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    9 s$ O6 s$ I# O! j
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均匀,从而折射率不均匀,影响成像。为了避免温差,必须让水快速流动混合,但又要避免产生漩涡或者析出气泡。水可以把所接触物品上的杂质洗下来,带到晶圆上,形成缺陷。当初ASML搞浸润式光刻机时,在浸液系统上与林本坚团队合作,方案修改了7-8回,耗时两年多才取得满意的结果。

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    38#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:59:49 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 20:02 编辑 : A8 O# j* V( S
    沉宝 发表于 2024-9-16 19:43
    & y6 x4 Z7 q9 I2 i3 t+ J- Q具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均 ...

    # ^1 [1 G( B( h6 H6 k" t: D: Q) r- B+ z( _( o3 O- b
    这当然不容易,不过两年挺快啦,看看牙膏的10nm……
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    39#
     楼主| 发表于 2024-9-17 12:01:58 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:40
    % T6 B9 k& P' d, c. H9 q. z* z. ?9 V都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了? ...

    * g( ?' t- A9 f2 Q, F. E! i! W; Y不知道啦,也许是隐晦放风的说法。
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    40#
    发表于 2024-9-17 17:38:39 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13
    ' }+ @- Y# I9 V3 u6 D& w这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。 ...
    * y7 q+ o7 C) Y7 y% o/ U
    中国大,各地方人气质不一,各擅胜场。精细活儿江南地方超过东北山东。如此说来,韩国近东北山东,台湾精英是江浙后代。
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