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[科普知识] 国产光刻机猜测

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  • TA的每日心情
    慵懒
    2022-8-27 22:14
  • 签到天数: 351 天

    [LV.8]合体

    21#
    发表于 2024-9-17 08:06:46 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 14:00: c$ M0 h0 S2 {' x, U$ o; G: r
    也就是说,即使28nm现在还有光刻机瓶颈,其他也都就绪、只欠东风了。这是好事!
    & ]$ Y3 N) X' i
    ! ^# w+ K* r+ d9 e3 q) k) N个人感觉:相比于前一阵 ...

    $ H" j( V) g) ^+ Y6 z# Q
    : H9 B3 c4 o4 `
    这就要西方好好领教什么叫产能过剩了。
    4 o/ @; L- w/ k# _% j
    应该会在5年内实现吧。
    " E$ |5 V' E3 O# n1 L; J$ C0 i$ _. [" m# E
    微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)" ?3 f- d3 J. [! q+ e! f. e$ E
    24-9-16 23:55
    . P$ }( s$ \& l发布于 湖南
    * L: R: o* y3 q! a$ f: c: O- m, [来自 微博网页版
    . i! V1 n9 @' c( Y! ?啊,说过很多次了,#光刻机# 不是挖机
    % k  d( U& D! f2 T) j不是运过来就能直接开工的。: n& Y% g9 P1 {! E2 \. _4 `+ T
    他需要调试,需要不断的用,一边用一边调整,等光学畸变稳定——你可以理解为拷机或者汽车发动热机暖机。/ u. w7 G' r. E

      e  u0 y- P# f这个时间很长,也是我常年说:
    3 }1 M1 `" B2 n! r就算今天ASML传送一台EUV给咱,我们拿到第一批量产的芯片流片完(无论7nm,5nm还是多少)起码2年后——这最乐观的2年时间,还得是对EUV非常有经验的顶级工程师来操作优化。7 j0 n. ^5 L2 _  d

    5 }" d1 _/ X& g# i& p) ?% x现在发布的这台机器是起码3年前就验收了(科工),现在工信部验收推广(产业链),成熟得不行了才拿出来的。你需要,给钱就有,不限量。# p5 w% z# n, O: r5 a1 i+ U

    0 o9 L+ p7 J7 Z7 Y9 N3 ?* M- b0 U  T( R简单理解就是——这机子是干式光刻机,做的是65-55nm的芯片,一次曝光。
    . F" o0 g* Q8 f, E+ d9 ]/ g干式光刻机没啥意义,为什么呢?因为改进之后的也可以出产低制程的,向下兼容并且良率更高(成本低方案成熟)
    0 l- J7 N3 L# f6 j5 J$ W1 h多重曝光也不是这哥们来做……(我是不清楚干式光刻机有没人搞这个)
    6 n. h% `5 l4 O' r; L) H! x但这玩意的光路设计啥的,是成型了的。有了它,就加浸没式透镜,修改物镜,最终成品是目前没有验收但肯定存在某个地方的浸没式光刻机,但起码上线了2年了
    ' @. o$ l5 h5 }6 k0 l
    % M" ~1 m7 E5 L6 f6 h* n没公布的那个肯定还在不断的调试,修改,更换国产配件。/ T4 P$ W& F8 a6 D
    普通人不用管光刻机啥情况——你就看最终产品就是。0 Y; f8 V( }9 [- n4 ]& S
    #华为mate70# 也没多久了。
    ) Z2 m# h* P8 L2 P1 v+ G4 s/ r) s2 i

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    这真是极好的: 5.0
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      发表于 2024-9-18 15:38
    给力: 5 涨姿势: 5 这真是极好的: 5
      发表于 2024-9-17 08:38
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    22#
     楼主| 发表于 2024-9-17 08:15:36 | 只看该作者
    老财迷 发表于 2024-9-16 16:06" g* v, d2 [" [, ~6 G5 R2 D2 n
    应该会在5年内实现吧。1 @5 ~4 z: q" K

    # n' o: z7 t5 J4 v2 k" N; d微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    0 H" r" Z4 Z8 q& n
    ( q0 G; A5 t; M' N+ u* o
    这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

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    以你说的为准 :)  发表于 2024-9-17 15:27

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    23#
    发表于 2024-9-17 08:39:20 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 18:15
    7 B1 D+ m8 x5 }2 S这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

    ! W* C' M/ @1 v但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    24#
     楼主| 发表于 2024-9-17 10:54:17 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 18:56 编辑
    0 N8 V5 M4 a. X" ~2 H2 O2 u* y
    晨枫 发表于 2024-9-16 16:39  T0 A. \, t/ m. [& D0 s# ]9 r
    但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
    , C- B: `3 T( b& U/ w3 `- E4 {
    & j- H8 r& N) ]* F
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定6 I( t. c: u+ f3 B, [+ A5 D
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述

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    25#
    发表于 2024-9-17 11:08:25 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 03:34
    0 d9 M7 q8 |" k# @9 N5 b# m不过EUV制作7nm可以轻易一次曝光,产率和良率应该提高很多?

    8 r( |8 R- N. E4 _, ], K理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积电用193nm光刻机率先量产7nm,三星则以更先进的EUV光刻机应战,由于对新型光刻机的熟悉不足,结果良率低下,很多人抛弃三星。最后三星赔本赚吆喝,开出比台积电低30%的代工费用,才勉强留下大客户。

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      发表于 2024-9-17 15:28

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    26#
    发表于 2024-9-17 11:13:01 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54
    / ~, g. @( y' C$ s( j1 ]按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定5 T) A- g% y5 H0 S/ r
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    0 \) ]4 D2 f7 \有道理。  |9 u3 V$ @- C- P9 C' Z; @7 q
    7 ~: }" y" w3 {& e2 l/ [
    不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资吊着。不退场,但也不全力以赴。
    / X; S) r4 e3 x9 [" R- X2 a8 C: b+ O4 ~0 _; s# p/ ]
    中国肯定是全力以赴的。而且倾国之力肯定大于尼康、佳能。5 ~( N; B0 J% }- _6 j: @

    6 S% K* V  Z0 p, k$ @# b这会有差别吗?
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    27#
    发表于 2024-9-17 11:13:37 | 只看该作者
    沉宝 发表于 2024-9-16 21:08' h/ d% K' s& E4 T: T: o: \
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积 ...

    3 H# q5 d) K- T这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。
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    28#
    发表于 2024-9-17 11:19:08 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54
    % Z% v7 D& H" }; l5 h按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定) O4 Y" Q( K- G1 m' ~8 _; Q
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    2 S% \6 Z5 |+ N3 x
    还没搞定?
    : g/ a. N5 ~* C2 P& g( @我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的系统。我在的小破公司搭了一个,然后过去一起做,看能不能用。那个时候估计还是早期,这些基础的问题都没个数。做了几个实验,证明可以捕捉到微气泡发生,成长和运动的轨迹,我就撤了。这都十五年过去了。
    6 }+ s' z( k& N; Q2 r) x, u7 V尼康那时候已经有点不灵的迹象,食堂里面睡满了安装队的人。正常的话那些人都是满世界跑给别人装机器的。
    6 x9 V! ~" p6 y+ L

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    坛里藏龙卧虎啊  发表于 2024-9-17 15:31

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    唐家山 + 4 伙呆了
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    29#
    发表于 2024-9-17 11:21:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54
      N/ K2 p* P7 K, c按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定& J0 ?( c" X' ]0 D7 H7 `  M
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    ) j8 w, z% Z+ A" L
    突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NAND也被卡了,因为光刻机的事,这说法准确吗?高端NAND需要多少nm节点的光刻机?
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    30#
    发表于 2024-9-17 11:23:33 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13
    7 m4 g0 }& Q1 h1 H- n8 z1 }( L1 h有道理。
    * R0 G2 `. q* R) A8 ]6 w0 h% b
    # p# c$ [6 ~- D不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资 ...

    ( F; @6 P& G1 R/ B2 {0 @可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞哪张嘴里。; l# p+ {6 {5 J% u( \$ s
    很多年前日本媒体评价日本财政用了很形象的词,叫硬直化。所有的钱都有定好的用处,几乎没有活动钱。需要财政支持的时候十分狼狈。该做的事情做不了,钱全都拿去维持日常运转了。

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      发表于 2024-9-17 15:32

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    31#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:28:54 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 19:33 编辑
    / Y# ~8 d$ N+ n" e4 K" F$ o) u; {
    雷声 发表于 2024-9-16 19:19
      |8 m  \: S; @8 s3 T还没搞定?
    2 ~8 d; a. N) _7 M, _我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的 ...

    6 E0 c2 E4 F9 a: J3 r; y; ]2 I5 U4 M; S+ G4 r
    Nikon是稳定性不行,被牙膏退货后就没人再买。疫情前去开spie的会,Nikon还吹牛自己行了,但主流客户没人用。2 ~7 D" L- V) U6 @% P. g9 c- M6 i$ n! R
    有网上谣言说华为买了些Nikon自己魔改做出了9100…俺比较怀疑真实性。
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    32#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:31:01 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:21
    ; ]" Q: s$ v3 t突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NA ...

    ; x; c; ?3 \! M1 C& e; j存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。
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    33#
    发表于 2024-9-17 11:34:00 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:314 U$ f; l0 P# \0 i) A6 q
    存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。 ...

    2 j$ O7 ]. U1 ]4 Y5 N% I需要用到浸润DUV吗?/ j+ D; d/ m7 f  q# _
    , e) A9 U) P3 E3 i  J9 T* f. C7 A
    我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗?
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    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    34#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:37:50 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:34$ h5 |* j( a( w  I. v4 B5 J! j8 h
    需要用到浸润DUV吗?
    , H( U, }% p* @4 x2 d1 E
    ; q# f$ l* C% V) l5 k3 x0 A$ }我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗? ...
    0 _* H' L# l3 T& P! a8 B
    浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。
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    35#
    发表于 2024-9-17 11:38:06 | 只看该作者
    雷声 发表于 2024-9-16 21:23
    * y. J5 }3 z( e/ B* X! g+ K可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞 ...
    ( F9 m$ q; p4 |  s/ F( U9 M
    是的,需要钱的地方太多,但光刻机和芯片可能是不计代价砸钱的方向,优先级比谁都高。这个瓶颈突破后,不只是军事、科技上的阳关道,经济上也是大片的处女地啊。
    7 ^- y3 |  @; @- z0 O0 b
    , g6 l) A9 h" `7 Q! W$ p. v+ I硬直化很形象。确实,西方家大业大,花钱手笔也大,但每一笔钱都预定了用处,活动余地真心很小。你看看美国在预算削减时那个鸡飞狗跳,就知道真是谁都动不得。“平均剃头”是公认的最坏选择,但是唯一大家可接受的选择。
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    36#
    发表于 2024-9-17 11:40:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:378 }0 W6 o; s$ `4 J
    浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。 ...
    0 k2 c7 U4 L. a& O3 c
    都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了?
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    37#
    发表于 2024-9-17 11:43:29 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54
    ! {. G+ e$ w% l0 s按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定% u# C+ p  ?/ ~6 J6 R* h" w  K
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    & [$ j- M7 g1 ?具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均匀,从而折射率不均匀,影响成像。为了避免温差,必须让水快速流动混合,但又要避免产生漩涡或者析出气泡。水可以把所接触物品上的杂质洗下来,带到晶圆上,形成缺陷。当初ASML搞浸润式光刻机时,在浸液系统上与林本坚团队合作,方案修改了7-8回,耗时两年多才取得满意的结果。

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    38#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:59:49 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 20:02 编辑
    2 E% K( Z" q, n7 M# M: R% G; U
    沉宝 发表于 2024-9-16 19:43
    . z! I  x9 w0 L6 q& }具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均 ...

    % a/ B8 c0 X; z( E* M
    ! @: Y( o: }- E# s" s这当然不容易,不过两年挺快啦,看看牙膏的10nm……
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    39#
     楼主| 发表于 2024-9-17 12:01:58 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:40! ?3 T( ]# P5 c' E1 e/ c9 Y; D) Y
    都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了? ...

    0 N3 h! Y1 X0 X; W7 K- f不知道啦,也许是隐晦放风的说法。
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    40#
    发表于 2024-9-17 17:38:39 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13) Y$ l3 u) K0 w5 Y/ o+ m8 k* e
    这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。 ...
    3 [. b0 Q8 d9 o& K' T
    中国大,各地方人气质不一,各擅胜场。精细活儿江南地方超过东北山东。如此说来,韩国近东北山东,台湾精英是江浙后代。
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