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楼主: moletronic
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[科普知识] 国产光刻机猜测

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  • TA的每日心情
    慵懒
    2022-8-27 22:14
  • 签到天数: 351 天

    [LV.8]合体

    21#
    发表于 2024-9-17 08:06:46 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 14:000 N6 B, ?, a5 K- k3 P1 E
    也就是说,即使28nm现在还有光刻机瓶颈,其他也都就绪、只欠东风了。这是好事!
    1 ~! a4 F0 [( M% g0 Q/ C2 G
    " u! x* k2 }% V2 e$ W个人感觉:相比于前一阵 ...

      Y+ d* c  T. o* h7 R
    9 v! t8 w  ]6 N9 E& o. x
    这就要西方好好领教什么叫产能过剩了。
    5 q6 ?0 W1 t+ h1 _+ z+ S, P
    应该会在5年内实现吧。2 _- r& e% U  L! X
    4 T7 l! }5 y! o" W1 F' a9 O
    微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    9 G2 T: x4 e& [+ S9 S4 @24-9-16 23:55
    1 z" P- b3 Z! w发布于 湖南) I6 V: d8 X" L* L. T
    来自 微博网页版
    0 Q( v4 g& g# B, D: W  l: [) v啊,说过很多次了,#光刻机# 不是挖机$ ~3 N/ V5 k  i; c0 z
    不是运过来就能直接开工的。% x" a6 z9 k1 }) K7 l9 S0 K) w4 k
    他需要调试,需要不断的用,一边用一边调整,等光学畸变稳定——你可以理解为拷机或者汽车发动热机暖机。) v, p& r, [' F0 o

    " e  [3 K& o7 v1 d( b  D这个时间很长,也是我常年说:# E/ A! i8 W# P/ a- N, Z
    就算今天ASML传送一台EUV给咱,我们拿到第一批量产的芯片流片完(无论7nm,5nm还是多少)起码2年后——这最乐观的2年时间,还得是对EUV非常有经验的顶级工程师来操作优化。3 {3 y) f: U- f* M. R9 p6 k* h

    + s6 K8 V' ~7 q: q# m现在发布的这台机器是起码3年前就验收了(科工),现在工信部验收推广(产业链),成熟得不行了才拿出来的。你需要,给钱就有,不限量。! a; ]' E6 ^& f
    - y: A* l  T7 I  p% B4 M8 ~
    简单理解就是——这机子是干式光刻机,做的是65-55nm的芯片,一次曝光。
    9 h# d4 k0 Q3 Q% p: y0 \/ \: b干式光刻机没啥意义,为什么呢?因为改进之后的也可以出产低制程的,向下兼容并且良率更高(成本低方案成熟)
    2 d0 j' z/ l9 ?  m/ ~多重曝光也不是这哥们来做……(我是不清楚干式光刻机有没人搞这个)/ Y' V! ~& W: ]  T9 Y  \, ~4 S, l- {
    但这玩意的光路设计啥的,是成型了的。有了它,就加浸没式透镜,修改物镜,最终成品是目前没有验收但肯定存在某个地方的浸没式光刻机,但起码上线了2年了
    8 N0 t# w* }+ Q" B$ g# t* }  r
    4 J# P3 [  J2 O) o6 d没公布的那个肯定还在不断的调试,修改,更换国产配件。
    % r* B  D. O) E+ n普通人不用管光刻机啥情况——你就看最终产品就是。
    ) s4 F% E4 J4 u2 H! E# `: B! @#华为mate70# 也没多久了。3 @5 @( S0 c/ B1 B; S  j

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    这真是极好的: 5.0
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      发表于 2024-9-18 15:38
    给力: 5 涨姿势: 5 这真是极好的: 5
      发表于 2024-9-17 08:38
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    22#
     楼主| 发表于 2024-9-17 08:15:36 | 只看该作者
    老财迷 发表于 2024-9-16 16:06
    9 p& M  k* P- R- w. d应该会在5年内实现吧。
    9 j8 n4 L+ J& E
    . z5 P! W- ^- v' p7 _微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    / h; X4 I, m+ @& R. v

    & e4 R( ]4 i! M这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

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    以你说的为准 :)  发表于 2024-9-17 15:27

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    23#
    发表于 2024-9-17 08:39:20 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 18:15
    : B6 U" e' }; l' X) f9 w0 I这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。
    2 ^- l  M9 a$ K" @* Z9 ^7 c! O
    但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    24#
     楼主| 发表于 2024-9-17 10:54:17 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 18:56 编辑 3 ~" v4 Y; s! z4 P; a7 \' W0 B. Z* j
    晨枫 发表于 2024-9-16 16:39% i: a/ D7 s$ Q6 t
    但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
    , ?6 Y# j6 \, z! T( j: l

    : B" C# i" [' x/ O$ Y' J$ L按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    % K2 g" [" g5 \  i' f4 _所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述

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    25#
    发表于 2024-9-17 11:08:25 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 03:342 F5 e( ^' D9 t  T! @+ M
    不过EUV制作7nm可以轻易一次曝光,产率和良率应该提高很多?
    . v" Y; \& V% X/ y5 m/ ^8 d
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积电用193nm光刻机率先量产7nm,三星则以更先进的EUV光刻机应战,由于对新型光刻机的熟悉不足,结果良率低下,很多人抛弃三星。最后三星赔本赚吆喝,开出比台积电低30%的代工费用,才勉强留下大客户。

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      发表于 2024-9-17 15:28

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    26#
    发表于 2024-9-17 11:13:01 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54
    : u' ?& `8 V" h5 a. r2 D5 |$ k按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定8 _+ a# G, F- P0 l+ f7 e% q
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    : f& E5 [1 K6 M5 ~$ S
    有道理。
    1 v8 ^& c1 m2 Y- H4 ]6 n
    7 `: A4 }1 h. p! }( g1 E不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资吊着。不退场,但也不全力以赴。" q. i; T- o! |

    ! e0 p$ p' \6 n# g" o' n5 F, y中国肯定是全力以赴的。而且倾国之力肯定大于尼康、佳能。* M9 _( {* z" v/ c4 Y/ ~. v

    ( k0 j* N3 Y+ \" V这会有差别吗?
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    27#
    发表于 2024-9-17 11:13:37 | 只看该作者
    沉宝 发表于 2024-9-16 21:08/ n# h. W6 ?( N
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积 ...

    1 m5 V- w3 y- @/ N2 T! ?' b这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。
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    28#
    发表于 2024-9-17 11:19:08 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54
    2 G$ ]3 w' i, i& y) U+ @  `; A按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定1 u! Q( O5 c; |
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    ' P- v) S$ {+ @. c+ }还没搞定? ' w3 x7 F9 t2 z* O% E6 G
    我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的系统。我在的小破公司搭了一个,然后过去一起做,看能不能用。那个时候估计还是早期,这些基础的问题都没个数。做了几个实验,证明可以捕捉到微气泡发生,成长和运动的轨迹,我就撤了。这都十五年过去了。& ~, Y7 h% \, d$ H: v; a
    尼康那时候已经有点不灵的迹象,食堂里面睡满了安装队的人。正常的话那些人都是满世界跑给别人装机器的。; \. }: U; ~8 u3 G# S

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    坛里藏龙卧虎啊  发表于 2024-9-17 15:31

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    29#
    发表于 2024-9-17 11:21:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54
    4 Z/ I( w- i( L' ]: R5 }3 W2 {按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    # c- R& d+ n6 z! [) Q# R% j( B; W! R# m5 Q所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    - P% F8 F" P& G
    突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NAND也被卡了,因为光刻机的事,这说法准确吗?高端NAND需要多少nm节点的光刻机?
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    30#
    发表于 2024-9-17 11:23:33 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13
    2 V2 s3 Z. c2 Q# W有道理。
    / `- J1 _7 t4 Z% g( |8 S( R4 C) v+ e( D" ~' [- P
    不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资 ...
    & ~2 ?  ]) q& N1 N' E. s
    可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞哪张嘴里。
      i4 S: r* H! X' n很多年前日本媒体评价日本财政用了很形象的词,叫硬直化。所有的钱都有定好的用处,几乎没有活动钱。需要财政支持的时候十分狼狈。该做的事情做不了,钱全都拿去维持日常运转了。

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      发表于 2024-9-17 15:32

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    31#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:28:54 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 19:33 编辑
    $ t% g, W6 H& K7 e* |8 j
    雷声 发表于 2024-9-16 19:19! m" ^. K( j! W0 g; ^& [
    还没搞定?
    1 D: h" \8 c' n$ V$ x% }& `# _9 j我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的 ...
    / V9 a8 F2 ]+ C2 n& z
    . ^  E! G2 a* p* }% a) W
    Nikon是稳定性不行,被牙膏退货后就没人再买。疫情前去开spie的会,Nikon还吹牛自己行了,但主流客户没人用。/ X7 Y( H5 x1 k5 \
    有网上谣言说华为买了些Nikon自己魔改做出了9100…俺比较怀疑真实性。
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    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    32#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:31:01 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:216 w& f4 S6 l0 u
    突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NA ...
    5 G* H" W% Z- R
    存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。
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    33#
    发表于 2024-9-17 11:34:00 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:31
    % o  y& d) H8 X5 x存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。 ...
    ) i" y" J7 q  {# P" K
    需要用到浸润DUV吗?
    ' a7 ?8 p5 v: X$ E, {3 i# {5 j8 N) {( s0 s
    我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗?
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    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    34#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:37:50 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:34& D( I7 V# ~: o/ k' n
    需要用到浸润DUV吗?& r+ ?6 W' i. S1 G& w$ L
    + H' l1 z7 l( h6 Q3 Z
    我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗? ...

    2 j# ~. h5 {5 w6 Y9 H! W# k浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。
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    35#
    发表于 2024-9-17 11:38:06 | 只看该作者
    雷声 发表于 2024-9-16 21:23
    " |; D9 d( J) g3 ^: j6 q可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞 ...

    1 f+ j! [* H  r7 `# f& K是的,需要钱的地方太多,但光刻机和芯片可能是不计代价砸钱的方向,优先级比谁都高。这个瓶颈突破后,不只是军事、科技上的阳关道,经济上也是大片的处女地啊。
    , o& `1 D* Q: B( T, t& g; w2 d8 u/ l; D8 l" ]! _( ~
    硬直化很形象。确实,西方家大业大,花钱手笔也大,但每一笔钱都预定了用处,活动余地真心很小。你看看美国在预算削减时那个鸡飞狗跳,就知道真是谁都动不得。“平均剃头”是公认的最坏选择,但是唯一大家可接受的选择。
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    36#
    发表于 2024-9-17 11:40:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:37
    ( v: q( }- l! l' k0 j浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。 ...

    1 Q! [) q. K1 U# z" E都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了?
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    37#
    发表于 2024-9-17 11:43:29 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54
    9 D: t% P# q9 F' n) `6 ]$ f按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    1 j0 Y- o- b8 R! y- A$ H# `, b所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    ! `6 g2 b1 y* L  W/ ~% G; o6 s! O具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均匀,从而折射率不均匀,影响成像。为了避免温差,必须让水快速流动混合,但又要避免产生漩涡或者析出气泡。水可以把所接触物品上的杂质洗下来,带到晶圆上,形成缺陷。当初ASML搞浸润式光刻机时,在浸液系统上与林本坚团队合作,方案修改了7-8回,耗时两年多才取得满意的结果。

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    38#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:59:49 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 20:02 编辑
    3 }" v: L7 Z, {3 T1 T* C6 [
    沉宝 发表于 2024-9-16 19:432 I% ]+ G# A9 g
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均 ...

    % v+ p, f5 y2 G8 I
    & F" m( ]2 @0 |: `6 K: T这当然不容易,不过两年挺快啦,看看牙膏的10nm……
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    39#
     楼主| 发表于 2024-9-17 12:01:58 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:40" V7 q. L, n; h5 Y  s2 i
    都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了? ...
    * a2 V' {5 C  p. V" W- I
    不知道啦,也许是隐晦放风的说法。
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    40#
    发表于 2024-9-17 17:38:39 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13; y9 x/ G- |0 E; F, T
    这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。 ...

    5 A; d$ E8 m% n5 P2 o. A2 H( W中国大,各地方人气质不一,各擅胜场。精细活儿江南地方超过东北山东。如此说来,韩国近东北山东,台湾精英是江浙后代。
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