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楼主: moletronic
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[科普知识] 国产光刻机猜测

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  • TA的每日心情
    慵懒
    2022-8-27 22:14
  • 签到天数: 351 天

    [LV.8]合体

    21#
    发表于 2024-9-17 08:06:46 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 14:00
    ! ?- v* ~) \5 X1 v: {也就是说,即使28nm现在还有光刻机瓶颈,其他也都就绪、只欠东风了。这是好事!
    7 P9 C3 [' P- X) B3 B) |) m) R. z$ }: {7 p
    个人感觉:相比于前一阵 ...
    . P) H4 Y9 o/ I0 K+ @

    ; ^2 E1 U! k1 {! o# @
    这就要西方好好领教什么叫产能过剩了。

    ) ^; b8 ]3 D0 j; w* w6 M' B( m应该会在5年内实现吧。& b; r4 z8 r3 [$ m) i

    ! N1 |/ v( i' t; ~- V* q5 h  C微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    ! w) ?: T; ?+ O1 C6 Q8 {24-9-16 23:55
    " h  F4 v( R5 l2 H发布于 湖南% M1 q' ~% m+ u, _# {- k3 T, e
    来自 微博网页版
    0 L1 D2 g# P! k啊,说过很多次了,#光刻机# 不是挖机( b+ Q+ @# z/ F
    不是运过来就能直接开工的。: _! h0 i  Z3 ?5 v
    他需要调试,需要不断的用,一边用一边调整,等光学畸变稳定——你可以理解为拷机或者汽车发动热机暖机。
    2 N% V+ I# F$ D; e$ q4 i; R$ T5 O8 F5 f. I* |5 `
    这个时间很长,也是我常年说:
    5 x9 |  E5 a! W5 G就算今天ASML传送一台EUV给咱,我们拿到第一批量产的芯片流片完(无论7nm,5nm还是多少)起码2年后——这最乐观的2年时间,还得是对EUV非常有经验的顶级工程师来操作优化。
    / {8 X% d3 S  E
    ) E9 ~* f2 M$ U* ]2 |  g$ n, e现在发布的这台机器是起码3年前就验收了(科工),现在工信部验收推广(产业链),成熟得不行了才拿出来的。你需要,给钱就有,不限量。
    * z6 D/ i9 G$ |8 l$ S4 g- s
    9 E* q8 E5 M; ^* Y简单理解就是——这机子是干式光刻机,做的是65-55nm的芯片,一次曝光。( [& f# H, }- L( q
    干式光刻机没啥意义,为什么呢?因为改进之后的也可以出产低制程的,向下兼容并且良率更高(成本低方案成熟)/ l+ a2 t% D; M/ }- G
    多重曝光也不是这哥们来做……(我是不清楚干式光刻机有没人搞这个)' X8 i9 I: {- K  V# B
    但这玩意的光路设计啥的,是成型了的。有了它,就加浸没式透镜,修改物镜,最终成品是目前没有验收但肯定存在某个地方的浸没式光刻机,但起码上线了2年了
    1 N6 P5 }  c' u7 i* p+ {& x9 d0 p( Z. D+ X- J
    没公布的那个肯定还在不断的调试,修改,更换国产配件。' ^3 t# s3 W0 F/ A& c# V# T6 c. r
    普通人不用管光刻机啥情况——你就看最终产品就是。
    3 L  h& Q% |/ f. r3 K#华为mate70# 也没多久了。
    , Q3 V& \  a0 k: h

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    这真是极好的: 5.0
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      发表于 2024-9-18 15:38
    给力: 5 涨姿势: 5 这真是极好的: 5
      发表于 2024-9-17 08:38
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    22#
     楼主| 发表于 2024-9-17 08:15:36 | 只看该作者
    老财迷 发表于 2024-9-16 16:060 z+ f+ f9 R! a* ]" S/ B8 ]! y$ A: z. C
    应该会在5年内实现吧。+ ]; a' i+ h5 }* G2 B
    ( R# R* r( X7 }5 G$ o  o9 n
    微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    ' r3 S* c( w( H0 D- U+ H% K
    7 ~$ I3 y* \3 O7 d; j# B
    这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

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    以你说的为准 :)  发表于 2024-9-17 15:27

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    23#
    发表于 2024-9-17 08:39:20 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 18:152 @+ q- E  B6 a' y  n8 R
    这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。
    ' V% F7 _( w$ O  k8 H
    但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    24#
     楼主| 发表于 2024-9-17 10:54:17 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 18:56 编辑   Z6 c1 ]( C2 i, L- y
    晨枫 发表于 2024-9-16 16:39
    $ v7 T/ D; {$ h. p但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
    ( l: O& C  D: q1 O  }( h$ H

    $ [6 Q9 h0 X1 I7 s! ^按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定  k0 E: p# [9 w, N. ?6 E+ s7 [
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述

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    25#
    发表于 2024-9-17 11:08:25 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 03:34
    5 X+ ~1 p1 w- _' f' \1 @" Q& q7 b不过EUV制作7nm可以轻易一次曝光,产率和良率应该提高很多?
    " z8 Y) @8 m% ]: W
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积电用193nm光刻机率先量产7nm,三星则以更先进的EUV光刻机应战,由于对新型光刻机的熟悉不足,结果良率低下,很多人抛弃三星。最后三星赔本赚吆喝,开出比台积电低30%的代工费用,才勉强留下大客户。

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      发表于 2024-9-17 15:28

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    26#
    发表于 2024-9-17 11:13:01 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54
    $ R/ M4 T- o) r6 Y. H& z% j# c按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定6 A7 P0 x+ k8 H7 w3 l
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    # [' k# H& M# _5 y$ y9 U
    有道理。
    9 r9 x) B: c8 Z
    . q/ S2 K" q" j- X# C: V0 q不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资吊着。不退场,但也不全力以赴。
    $ z. k) M. N  ~8 F4 ?- a9 U( z% R! ]$ w! M  D
    中国肯定是全力以赴的。而且倾国之力肯定大于尼康、佳能。- x" i# u$ O/ T: u* {! @
    / p& `5 `; Z! L$ ~9 J
    这会有差别吗?
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    27#
    发表于 2024-9-17 11:13:37 | 只看该作者
    沉宝 发表于 2024-9-16 21:08  S* `. F. v. I/ A0 P
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积 ...

    , O; _/ V# ~: W/ T5 X9 o0 |这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。
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    28#
    发表于 2024-9-17 11:19:08 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54: o4 M# M" C+ z4 U7 y
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定; Y% B/ \2 O( L- r9 Y9 H- [2 ~" `* v
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    0 f) p* {. z* H% U5 b
    还没搞定?
    - \. R# O% J) P, l. [( W我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的系统。我在的小破公司搭了一个,然后过去一起做,看能不能用。那个时候估计还是早期,这些基础的问题都没个数。做了几个实验,证明可以捕捉到微气泡发生,成长和运动的轨迹,我就撤了。这都十五年过去了。
    ' G, E2 I2 `8 ]3 H& t尼康那时候已经有点不灵的迹象,食堂里面睡满了安装队的人。正常的话那些人都是满世界跑给别人装机器的。
    : P7 R6 e1 u7 y+ S1 B) v% a

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    坛里藏龙卧虎啊  发表于 2024-9-17 15:31

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    唐家山 + 4 伙呆了
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    29#
    发表于 2024-9-17 11:21:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:540 q2 l$ V7 y- l0 b& j* J7 v
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    1 A' g5 i/ a* ~" s9 ]  V4 v所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    2 g* _5 u5 m* M- g4 g突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NAND也被卡了,因为光刻机的事,这说法准确吗?高端NAND需要多少nm节点的光刻机?
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    30#
    发表于 2024-9-17 11:23:33 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13; ]( F# k9 Z! d$ W  s
    有道理。
    6 \$ n' n% ~( U# M
    6 P0 Y# }" V, D  e, ?3 M7 ?不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资 ...
    . K" B$ H8 N; o; A% U
    可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞哪张嘴里。
    6 @' c, k4 ^$ M. o- g) P+ S% g很多年前日本媒体评价日本财政用了很形象的词,叫硬直化。所有的钱都有定好的用处,几乎没有活动钱。需要财政支持的时候十分狼狈。该做的事情做不了,钱全都拿去维持日常运转了。

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      发表于 2024-9-17 15:32

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    开心
    2023-2-8 04:51
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    31#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:28:54 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 19:33 编辑
    % R8 X, P4 t* r- H
    雷声 发表于 2024-9-16 19:19
    + }5 O' z$ k  x还没搞定?
    . N/ h3 M- t: f' r6 U6 @( o我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的 ...
    ; _$ {$ {6 ^% w2 z: _' u
    : Y& T( c; [! x9 E; F
    Nikon是稳定性不行,被牙膏退货后就没人再买。疫情前去开spie的会,Nikon还吹牛自己行了,但主流客户没人用。. E9 m1 B: e* D" `) i! S
    有网上谣言说华为买了些Nikon自己魔改做出了9100…俺比较怀疑真实性。
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    开心
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    32#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:31:01 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:212 X& W, m; a5 a$ w: d/ y) Q0 }
    突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NA ...
    8 y6 u! x, j, c, S
    存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。
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    33#
    发表于 2024-9-17 11:34:00 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:31
    3 O& |% e  H4 s9 r- Z存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。 ...
    , c6 n2 t3 r# B* _+ ]+ P
    需要用到浸润DUV吗?
    ! j% q) F* }" G) n4 B' f; D
    6 g$ q- W* T0 N# p/ w& {/ W我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    34#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:37:50 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:34  {' X: Y# C+ c* B5 L) a% W
    需要用到浸润DUV吗?1 |$ \6 {. m* r! I8 f2 M! g

    " O" G' y2 a% y  D2 H; R, R我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗? ...

    6 Z  T" T9 K2 d1 r7 e' t% T" t浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。
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    35#
    发表于 2024-9-17 11:38:06 | 只看该作者
    雷声 发表于 2024-9-16 21:23& u6 E  k: Z- E
    可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞 ...

    8 g. |  }( L- I- \3 Z7 V是的,需要钱的地方太多,但光刻机和芯片可能是不计代价砸钱的方向,优先级比谁都高。这个瓶颈突破后,不只是军事、科技上的阳关道,经济上也是大片的处女地啊。
    & l4 m+ `$ C, Q' ~; o: B8 \) Z
    & s- l7 v7 f5 k! u: T硬直化很形象。确实,西方家大业大,花钱手笔也大,但每一笔钱都预定了用处,活动余地真心很小。你看看美国在预算削减时那个鸡飞狗跳,就知道真是谁都动不得。“平均剃头”是公认的最坏选择,但是唯一大家可接受的选择。
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    36#
    发表于 2024-9-17 11:40:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:37$ D! m1 c' D, b! g
    浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。 ...

    $ m% q' I% I  [$ w7 ?都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了?
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    37#
    发表于 2024-9-17 11:43:29 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54
    5 ]0 k, v5 O8 g: {按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    % T- W- l. \0 n8 t所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    , b; u( I: `8 i9 G# N; ~具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均匀,从而折射率不均匀,影响成像。为了避免温差,必须让水快速流动混合,但又要避免产生漩涡或者析出气泡。水可以把所接触物品上的杂质洗下来,带到晶圆上,形成缺陷。当初ASML搞浸润式光刻机时,在浸液系统上与林本坚团队合作,方案修改了7-8回,耗时两年多才取得满意的结果。

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    38#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:59:49 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 20:02 编辑
    2 a6 {# [/ `6 e  X, J) {, F* s
    沉宝 发表于 2024-9-16 19:434 N4 o4 c3 }  k) z% u* E# [% I
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均 ...
    & a7 M& f5 r* L$ q* ?1 w

    ( p( m4 {) I4 i9 E这当然不容易,不过两年挺快啦,看看牙膏的10nm……
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    39#
     楼主| 发表于 2024-9-17 12:01:58 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:40
    2 @, I" ]+ e/ S0 s- i) F都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了? ...

    ) M0 e- ?  E! ?( `4 h$ Y不知道啦,也许是隐晦放风的说法。
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    40#
    发表于 2024-9-17 17:38:39 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:136 G( U% ^9 B! }
    这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。 ...
    - ^% g2 {- F7 ~0 e; e
    中国大,各地方人气质不一,各擅胜场。精细活儿江南地方超过东北山东。如此说来,韩国近东北山东,台湾精英是江浙后代。
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