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楼主: moletronic
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[科普知识] 国产光刻机猜测

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  • TA的每日心情
    慵懒
    2022-8-27 22:14
  • 签到天数: 351 天

    [LV.8]合体

    21#
    发表于 4 天前 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 14:00
    ) X1 y& B( j. O也就是说,即使28nm现在还有光刻机瓶颈,其他也都就绪、只欠东风了。这是好事!
    " Z6 b5 s0 `* g+ j5 C
    / \" t! B. \3 [" g/ u/ b( X' q/ R个人感觉:相比于前一阵 ...

    & j3 |- A, _" p9 x4 v0 g
    + a2 u0 c* s7 q+ E2 J( m1 L% s
    这就要西方好好领教什么叫产能过剩了。
    % F' u- B/ A. ?# V
    应该会在5年内实现吧。
    6 g" y# {7 v" ^* b
      v9 |7 X- q: p) g微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    ) W, `  f" }* ]7 R24-9-16 23:55. l6 U& @7 O( O$ Z+ v2 w" W
    发布于 湖南6 m  a# l1 L$ b( S3 J
    来自 微博网页版- O9 Q8 _8 V6 C, M3 S
    啊,说过很多次了,#光刻机# 不是挖机3 J7 ]0 T' s7 t, q3 K
    不是运过来就能直接开工的。5 z% l8 Z# e/ c' n' @
    他需要调试,需要不断的用,一边用一边调整,等光学畸变稳定——你可以理解为拷机或者汽车发动热机暖机。; t6 z8 }( X7 z

    - u5 R$ ~9 S" L5 [6 O7 N" U这个时间很长,也是我常年说:
    ' i/ f! J" M1 e; n2 e2 F就算今天ASML传送一台EUV给咱,我们拿到第一批量产的芯片流片完(无论7nm,5nm还是多少)起码2年后——这最乐观的2年时间,还得是对EUV非常有经验的顶级工程师来操作优化。
    ! C+ }! ^' \' w# R: d
    ' @, L  r& f( |) B: K现在发布的这台机器是起码3年前就验收了(科工),现在工信部验收推广(产业链),成熟得不行了才拿出来的。你需要,给钱就有,不限量。
    # t1 g7 F5 @1 C. F
    8 l, O6 E$ M- ?0 ?简单理解就是——这机子是干式光刻机,做的是65-55nm的芯片,一次曝光。
    1 O2 Y, ]1 O  `干式光刻机没啥意义,为什么呢?因为改进之后的也可以出产低制程的,向下兼容并且良率更高(成本低方案成熟)% \, C- ^- R* F7 c" d) M* c& z6 ?- `
    多重曝光也不是这哥们来做……(我是不清楚干式光刻机有没人搞这个)1 V% H# t1 @1 |5 v8 X2 Z
    但这玩意的光路设计啥的,是成型了的。有了它,就加浸没式透镜,修改物镜,最终成品是目前没有验收但肯定存在某个地方的浸没式光刻机,但起码上线了2年了2 K4 O, X2 K5 g
    % T: X% x3 W* w
    没公布的那个肯定还在不断的调试,修改,更换国产配件。! j4 `( U; s( {$ U  Q7 _( ?
    普通人不用管光刻机啥情况——你就看最终产品就是。- _' t2 v- ~. ?! `
    #华为mate70# 也没多久了。2 a( q' p, Y, _6 J; `

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    这真是极好的: 5.0
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      发表于 3 天前
    给力: 5 涨姿势: 5 这真是极好的: 5
      发表于 4 天前
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    22#
     楼主| 发表于 4 天前 | 只看该作者
    老财迷 发表于 2024-9-16 16:06
    / g# S; [5 ^) U! q应该会在5年内实现吧。8 a, I6 G- x6 j, q" D6 ?  q3 H$ z
    ! W4 K( M$ O8 _" M+ C/ c
    微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)

    # L  {' N7 Q2 Y4 T7 p4 [+ P' W) w& T9 ?; _5 ]
    这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

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    以你说的为准 :)  发表于 4 天前

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    23#
    发表于 4 天前 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 18:159 J1 F$ C, |. F1 M4 V' y% G! u/ y
    这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

    / V! d2 `% H0 K7 j: |但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    24#
     楼主| 发表于 4 天前 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 18:56 编辑 : n, L  g' Z# @& _: g+ J
    晨枫 发表于 2024-9-16 16:39, W  y9 u! h7 }- b: t
    但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
    1 j) |6 ?( y3 W1 P( r1 a
    / `+ H. P) Y7 }% d7 Q! i
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    / P% {- T- c- m/ [: w% x9 W4 H所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述

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    25#
    发表于 4 天前 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 03:34
    , P& ]; C& l$ _- T( O  p% k不过EUV制作7nm可以轻易一次曝光,产率和良率应该提高很多?

    ! x: u# P3 K6 M* _$ {理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积电用193nm光刻机率先量产7nm,三星则以更先进的EUV光刻机应战,由于对新型光刻机的熟悉不足,结果良率低下,很多人抛弃三星。最后三星赔本赚吆喝,开出比台积电低30%的代工费用,才勉强留下大客户。

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      发表于 4 天前

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    26#
    发表于 4 天前 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54
    7 F. g: D3 O' W+ q* S% U按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定, W- p+ ~8 q5 q: ^" n) X
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    : t  \. J* C, ]& _
    有道理。0 a9 z0 A( j* E5 H: M

      L% v" U8 ]8 H不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资吊着。不退场,但也不全力以赴。
    0 o' R! F9 E& ^9 v5 I" L5 @* }/ E1 i3 ?1 T: ?# u
    中国肯定是全力以赴的。而且倾国之力肯定大于尼康、佳能。$ `/ r  ^' ~- x9 ]* D
    3 ^9 |( a  B% C9 P8 K( @
    这会有差别吗?
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    27#
    发表于 4 天前 | 只看该作者
    沉宝 发表于 2024-9-16 21:08! [$ ?4 @% {  g5 {$ _' N
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积 ...
    . ?1 A" H; `9 E, b& e# Y
    这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。
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    28#
    发表于 4 天前 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54
    - M& M9 `0 W2 ^% L5 G7 P按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定  u4 k' ^# |' a5 P) C  ], I4 `! }
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    9 J& D9 ?9 h: h& z/ q
    还没搞定?
    3 N- ]/ n- s0 Y6 v0 c% w( z我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的系统。我在的小破公司搭了一个,然后过去一起做,看能不能用。那个时候估计还是早期,这些基础的问题都没个数。做了几个实验,证明可以捕捉到微气泡发生,成长和运动的轨迹,我就撤了。这都十五年过去了。0 L& f* \2 W, P
    尼康那时候已经有点不灵的迹象,食堂里面睡满了安装队的人。正常的话那些人都是满世界跑给别人装机器的。
    * x2 o, ?6 }+ a* F/ J  f: \

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    坛里藏龙卧虎啊  发表于 4 天前

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    29#
    发表于 4 天前 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54
    ( j: [8 {  z; E8 B' k& k7 p  ~按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定: ^* v4 r, v8 _% B- t* S+ q( M
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    0 X7 G( S4 d: Q# U0 ~& f9 y4 a
    突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NAND也被卡了,因为光刻机的事,这说法准确吗?高端NAND需要多少nm节点的光刻机?
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    30#
    发表于 4 天前 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13, u7 z2 B% f/ f9 g) T
    有道理。7 e" Y, G0 w& a5 v5 }
    - a4 |- Z: f& j9 x* j1 W
    不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资 ...
    + X7 s" v. A- W, D; ^* z# k
    可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞哪张嘴里。
    5 Z, _2 ?0 r; k. n$ {很多年前日本媒体评价日本财政用了很形象的词,叫硬直化。所有的钱都有定好的用处,几乎没有活动钱。需要财政支持的时候十分狼狈。该做的事情做不了,钱全都拿去维持日常运转了。

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      发表于 4 天前

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    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    31#
     楼主| 发表于 4 天前 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 19:33 编辑
    " D/ b; J0 t8 ^/ b  y' Q
    雷声 发表于 2024-9-16 19:19
    $ K# J  {7 p/ v# a5 J还没搞定? * ?1 G7 ?, p9 i' ~0 U7 w$ T6 ]
    我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的 ...

    5 Z( V( S$ O0 {4 M& S
    7 f5 o- n8 h, DNikon是稳定性不行,被牙膏退货后就没人再买。疫情前去开spie的会,Nikon还吹牛自己行了,但主流客户没人用。
    ; K# I( I- Z: Z' ]& y有网上谣言说华为买了些Nikon自己魔改做出了9100…俺比较怀疑真实性。
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    32#
     楼主| 发表于 4 天前 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:21
    ; `1 E- E1 s# B; q8 q突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NA ...

    " A! d$ a! j- c; }存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。
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    33#
    发表于 4 天前 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:317 v3 ~8 }6 k8 U7 O. a
    存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。 ...
    7 I9 a+ v0 l1 |- s
    需要用到浸润DUV吗?, ?& E# V3 ]. u
    1 I' v: e, u  m$ p- z
    我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    34#
     楼主| 发表于 4 天前 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:34" N' s/ E% A& E8 Y' Z% E. ]- ~
    需要用到浸润DUV吗?& w, o/ k' N; ?

    $ |5 ~6 C5 n7 Y& f* S4 e  r我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗? ...

    2 j" _& w" a$ ]; N4 ~浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。
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    35#
    发表于 4 天前 | 只看该作者
    雷声 发表于 2024-9-16 21:23/ r1 W' u. W, k+ Q' M2 |
    可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞 ...
    $ w2 d) p6 ?6 k* w5 x
    是的,需要钱的地方太多,但光刻机和芯片可能是不计代价砸钱的方向,优先级比谁都高。这个瓶颈突破后,不只是军事、科技上的阳关道,经济上也是大片的处女地啊。
    - ]; ?% @0 P. |5 {! N% T  Q5 g0 u3 J9 T- A# l7 [) c
    硬直化很形象。确实,西方家大业大,花钱手笔也大,但每一笔钱都预定了用处,活动余地真心很小。你看看美国在预算削减时那个鸡飞狗跳,就知道真是谁都动不得。“平均剃头”是公认的最坏选择,但是唯一大家可接受的选择。
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    36#
    发表于 4 天前 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:37
    $ b0 _; ]1 O3 {0 G+ I' s浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。 ...
    # h5 c/ \3 ?  h* d
    都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了?
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    37#
    发表于 4 天前 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54  X# Q7 H  c$ d. i- |0 l
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
      {% L" X. }' Q# ?3 Y" r所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    * u! g! e' @# W- K3 P& y! Q! N具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均匀,从而折射率不均匀,影响成像。为了避免温差,必须让水快速流动混合,但又要避免产生漩涡或者析出气泡。水可以把所接触物品上的杂质洗下来,带到晶圆上,形成缺陷。当初ASML搞浸润式光刻机时,在浸液系统上与林本坚团队合作,方案修改了7-8回,耗时两年多才取得满意的结果。

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    38#
     楼主| 发表于 4 天前 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 20:02 编辑
    * X. L1 H: @$ \$ y" t, b* \  A
    沉宝 发表于 2024-9-16 19:437 `( }, N9 ^+ x5 P
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均 ...

    9 A% @( `  i( M" R& O! _
    6 H5 D6 a( ]0 f1 F7 }- s+ g3 g这当然不容易,不过两年挺快啦,看看牙膏的10nm……
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    39#
     楼主| 发表于 4 天前 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:40
    7 V6 q. R- f( k都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了? ...

    0 O" p* L+ E& Q  n5 X  _# \不知道啦,也许是隐晦放风的说法。
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    40#
    发表于 4 天前 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13& c4 p$ R, ]8 N0 M! I" C5 m
    这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。 ...
    1 p# D# W6 P# L4 s, O
    中国大,各地方人气质不一,各擅胜场。精细活儿江南地方超过东北山东。如此说来,韩国近东北山东,台湾精英是江浙后代。
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