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[科普知识] 国产光刻机猜测

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  • TA的每日心情
    慵懒
    2022-8-27 22:14
  • 签到天数: 351 天

    [LV.8]合体

    21#
    发表于 2024-9-17 08:06:46 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 14:00
    $ j; d' @# U# Z# ^! D  k: c, v也就是说,即使28nm现在还有光刻机瓶颈,其他也都就绪、只欠东风了。这是好事!# c- u- w  q. F7 h4 P5 H3 ^- Y! L8 S

    + X$ o2 P$ u* Y; q个人感觉:相比于前一阵 ...
    1 F" X" r/ o: N

    ; `9 {$ r! O; R# ]' e9 C
    这就要西方好好领教什么叫产能过剩了。

    7 h! A; i* C# {; s' R) O应该会在5年内实现吧。
    9 C- v( [/ g- Q# a. w9 M3 w. ~& J& L% h" N! i
    微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    : e: l, g. x! c24-9-16 23:552 c7 `$ A# s2 F4 B
    发布于 湖南& q2 x  t  D6 m4 a
    来自 微博网页版
    " s; h) `% ~: U5 I3 M* H啊,说过很多次了,#光刻机# 不是挖机
    % }& u; q3 d0 X3 a0 M不是运过来就能直接开工的。
    ) |6 r' w1 j7 Y0 B- M他需要调试,需要不断的用,一边用一边调整,等光学畸变稳定——你可以理解为拷机或者汽车发动热机暖机。
    ' _- v8 k' @  a7 y! r, ^1 h6 U/ [) q/ m0 |- T: D9 T
    这个时间很长,也是我常年说:7 Q, q& {1 [, L: }
    就算今天ASML传送一台EUV给咱,我们拿到第一批量产的芯片流片完(无论7nm,5nm还是多少)起码2年后——这最乐观的2年时间,还得是对EUV非常有经验的顶级工程师来操作优化。
    ) E2 @; y" \) Z9 Z7 e$ S5 G. Z+ ]& S0 }
    现在发布的这台机器是起码3年前就验收了(科工),现在工信部验收推广(产业链),成熟得不行了才拿出来的。你需要,给钱就有,不限量。
    % `8 Z5 q% p" w1 F# G( x$ v
    5 T" m6 i. q5 x) Q  f简单理解就是——这机子是干式光刻机,做的是65-55nm的芯片,一次曝光。! ]& i" e& G8 T- e. j0 B0 e5 ]
    干式光刻机没啥意义,为什么呢?因为改进之后的也可以出产低制程的,向下兼容并且良率更高(成本低方案成熟). X- _" C1 T- k& r- {: l8 H
    多重曝光也不是这哥们来做……(我是不清楚干式光刻机有没人搞这个)9 `8 @% k. A# r/ x
    但这玩意的光路设计啥的,是成型了的。有了它,就加浸没式透镜,修改物镜,最终成品是目前没有验收但肯定存在某个地方的浸没式光刻机,但起码上线了2年了
    7 W% r* R/ ~' z4 w4 W4 S
    % e0 x' ~% O( P  @4 W" M$ E没公布的那个肯定还在不断的调试,修改,更换国产配件。! t" j! Z, t' D) {6 h
    普通人不用管光刻机啥情况——你就看最终产品就是。
    6 ]5 Y. i8 K% [* R, F5 z9 l: Y" y#华为mate70# 也没多久了。
    0 |& ^8 l+ ]) x

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    这真是极好的: 5.0
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      发表于 2024-9-18 15:38
    给力: 5 涨姿势: 5 这真是极好的: 5
      发表于 2024-9-17 08:38
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    22#
     楼主| 发表于 2024-9-17 08:15:36 | 只看该作者
    老财迷 发表于 2024-9-16 16:06
    5 Y! Z3 d$ o. P. v, Q5 M& `; T应该会在5年内实现吧。
    * R) N  d% c% b: n) D# G. ^) C; Q! Q/ {/ K
    微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    2 h. s6 a# W1 {9 E  l$ o
    0 w: Y4 |) @  C1 F  q
    这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

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    以你说的为准 :)  发表于 2024-9-17 15:27

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    23#
    发表于 2024-9-17 08:39:20 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 18:153 E5 C& f4 j0 O) o( f" `
    这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。
    1 T4 ?1 A3 e) c$ {# U2 J
    但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    24#
     楼主| 发表于 2024-9-17 10:54:17 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 18:56 编辑 * W' g( t2 F- v- b4 ~& d
    晨枫 发表于 2024-9-16 16:39. j, G6 q$ J) A: b
    但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?

    & S( o( V) J5 ?/ {- L1 \# |; J- x1 b4 {3 W0 }& [
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定6 T( y0 b' }4 B- p
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述

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    25#
    发表于 2024-9-17 11:08:25 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 03:34
      P: L- t2 c  S0 `/ k5 W' k5 |  Z不过EUV制作7nm可以轻易一次曝光,产率和良率应该提高很多?
    3 r' N  I) ]( x
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积电用193nm光刻机率先量产7nm,三星则以更先进的EUV光刻机应战,由于对新型光刻机的熟悉不足,结果良率低下,很多人抛弃三星。最后三星赔本赚吆喝,开出比台积电低30%的代工费用,才勉强留下大客户。

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      发表于 2024-9-17 15:28

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    26#
    发表于 2024-9-17 11:13:01 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54
    $ X, K; k/ [; Z5 K按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定* _8 @/ L' {/ w# _' L
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    5 W8 B# t3 X& k; p" p: h1 S8 b有道理。" C. ^  X1 |# K+ u0 U
    ; y% ?9 S7 H$ }- b1 L, N- ]
    不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资吊着。不退场,但也不全力以赴。& p: T" {5 Y+ M, J/ e
    ' o# g* ]. r# U* t% t
    中国肯定是全力以赴的。而且倾国之力肯定大于尼康、佳能。
    $ X; {/ r. D+ [/ e+ F! v8 Q( W7 g6 Y$ m% ?: }  |+ x
    这会有差别吗?
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    27#
    发表于 2024-9-17 11:13:37 | 只看该作者
    沉宝 发表于 2024-9-16 21:08+ s5 V, B0 h+ V4 l, x! A$ }3 X; a) k
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积 ...
    ! e7 ~( T* |5 }; u$ _: q
    这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。
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    28#
    发表于 2024-9-17 11:19:08 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54
    9 w* a# r+ R9 T# P9 l; N. U按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定; i' D/ h( _& d9 R9 d7 K
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    % \6 h& i9 Q& o( z  u" \( x6 ~还没搞定?
    + N2 Q: [& x, s" q我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的系统。我在的小破公司搭了一个,然后过去一起做,看能不能用。那个时候估计还是早期,这些基础的问题都没个数。做了几个实验,证明可以捕捉到微气泡发生,成长和运动的轨迹,我就撤了。这都十五年过去了。
    3 z; p5 ], ]& ]9 ]9 h5 T尼康那时候已经有点不灵的迹象,食堂里面睡满了安装队的人。正常的话那些人都是满世界跑给别人装机器的。& g: w1 G* C' O5 `

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    坛里藏龙卧虎啊  发表于 2024-9-17 15:31

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    29#
    发表于 2024-9-17 11:21:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54' ^: y3 B% I& L1 u2 p
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    8 Q' U* V' b% f4 M' V3 ]所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    ! j# `! x! A) N7 a" g. P! i8 R
    突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NAND也被卡了,因为光刻机的事,这说法准确吗?高端NAND需要多少nm节点的光刻机?
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    30#
    发表于 2024-9-17 11:23:33 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:137 K; }: X& Z+ j2 U& [" H# c: e$ ~
    有道理。+ w0 B, [- [* @2 r8 V

    ) K4 ?8 w  {+ [6 k3 {不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资 ...

    ' V0 m1 m, I/ Q1 g: I可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞哪张嘴里。  g% v6 r+ h1 t& a$ K! P6 w. U
    很多年前日本媒体评价日本财政用了很形象的词,叫硬直化。所有的钱都有定好的用处,几乎没有活动钱。需要财政支持的时候十分狼狈。该做的事情做不了,钱全都拿去维持日常运转了。

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      发表于 2024-9-17 15:32

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    31#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:28:54 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 19:33 编辑 : z6 ]3 p: {% A: w6 y" k
    雷声 发表于 2024-9-16 19:19
    3 u) A& }6 a# B还没搞定? & @# U0 a: {, W* E5 h+ ?! A
    我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的 ...
    ; t9 b. z: \/ |9 K- `

    # _: m" K6 }/ JNikon是稳定性不行,被牙膏退货后就没人再买。疫情前去开spie的会,Nikon还吹牛自己行了,但主流客户没人用。* ]- |5 Q# @6 s
    有网上谣言说华为买了些Nikon自己魔改做出了9100…俺比较怀疑真实性。
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    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    32#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:31:01 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:21
    ' c) u, X3 R! \) u/ z) Z突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NA ...

    9 c( Z* g; m# M; F4 W. t1 Y. b存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。
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    33#
    发表于 2024-9-17 11:34:00 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:31' @8 ]7 c$ j9 u% d! z2 k$ C# `
    存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。 ...

    & V! ]9 E6 r- j需要用到浸润DUV吗?
    ) u0 [4 O7 [  \1 T/ `& F" l
    4 ?) ]$ \  n, W2 |% j; Y我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗?
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    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    34#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:37:50 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:34; S# O% A! }: J0 c9 a
    需要用到浸润DUV吗?
    + O% m) v5 I0 p. m3 n! c7 f( {9 H( M" ?8 b: y: C4 f, x+ t7 ^
    我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗? ...
    . s+ N9 m! ~" Y. V* O$ H/ |( w
    浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。
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    35#
    发表于 2024-9-17 11:38:06 | 只看该作者
    雷声 发表于 2024-9-16 21:23- R. Q6 x" r2 T" ^  b: t4 d
    可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞 ...
    - h5 U7 }8 o4 B5 ?( Q  a4 B+ v6 ~
    是的,需要钱的地方太多,但光刻机和芯片可能是不计代价砸钱的方向,优先级比谁都高。这个瓶颈突破后,不只是军事、科技上的阳关道,经济上也是大片的处女地啊。. C9 q; L5 {; z3 |7 g# E7 g
    6 Z( e! `% }  a3 P4 h) G- C; [$ P. P
    硬直化很形象。确实,西方家大业大,花钱手笔也大,但每一笔钱都预定了用处,活动余地真心很小。你看看美国在预算削减时那个鸡飞狗跳,就知道真是谁都动不得。“平均剃头”是公认的最坏选择,但是唯一大家可接受的选择。
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    36#
    发表于 2024-9-17 11:40:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:37
    8 T" h& n7 c6 K" o7 w8 Y1 O浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。 ...

    0 j) m) x/ {& ~$ @都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了?
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    37#
    发表于 2024-9-17 11:43:29 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:540 t; n% j! Y. n( q8 @) S
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    5 f' Y$ ]( m, G9 o3 J" J" E所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    + H7 V  T9 Q" `具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均匀,从而折射率不均匀,影响成像。为了避免温差,必须让水快速流动混合,但又要避免产生漩涡或者析出气泡。水可以把所接触物品上的杂质洗下来,带到晶圆上,形成缺陷。当初ASML搞浸润式光刻机时,在浸液系统上与林本坚团队合作,方案修改了7-8回,耗时两年多才取得满意的结果。

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    38#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:59:49 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 20:02 编辑 : i8 g& X+ z5 p. o# u
    沉宝 发表于 2024-9-16 19:43. _- f' a1 i) L" S2 h% P
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均 ...

    2 R% {* o0 k& [- H% T3 b% U' l0 y" A; T% X' ~
    这当然不容易,不过两年挺快啦,看看牙膏的10nm……
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    39#
     楼主| 发表于 2024-9-17 12:01:58 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:40
    8 |+ d& w' ^& l& f都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了? ...

    7 P8 g* F& f7 }不知道啦,也许是隐晦放风的说法。
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    40#
    发表于 2024-9-17 17:38:39 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13! G9 a) v% K8 I) S& v: _
    这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。 ...
    1 o$ ~" r1 w- S8 k0 y- |. S! j, d1 e
    中国大,各地方人气质不一,各擅胜场。精细活儿江南地方超过东北山东。如此说来,韩国近东北山东,台湾精英是江浙后代。
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