设为首页收藏本站

爱吱声

 找回密码
 注册
搜索
楼主: moletronic
打印 上一主题 下一主题

[科普知识] 国产光刻机猜测

[复制链接]
  • TA的每日心情
    慵懒
    2022-8-27 22:14
  • 签到天数: 351 天

    [LV.8]合体

    21#
    发表于 2024-9-17 08:06:46 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 14:009 {+ a5 h" u' [. s
    也就是说,即使28nm现在还有光刻机瓶颈,其他也都就绪、只欠东风了。这是好事!9 x1 e5 w9 d5 _$ [$ w
    ' d- Q' x0 Y& }7 y& Y, |! ~2 B2 Z# c
    个人感觉:相比于前一阵 ...

    " g0 M6 L4 o3 H- j* g) o4 S2 ~4 m7 M; z# k) H3 g) H
    这就要西方好好领教什么叫产能过剩了。
    / v- h# S; ?) B6 N; W& b& d4 o& ~
    应该会在5年内实现吧。
    - L) {2 u" D8 @' h5 J4 k: E  r
    ) y2 c2 O! ?+ R: B) M微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看), o! p6 V% d  b' l
    24-9-16 23:55
    6 a; V: l: {% E% {# j- Q" l发布于 湖南
    0 J7 V3 {9 E! \6 {" w来自 微博网页版3 U% @. @/ _3 }4 Y8 Y
    啊,说过很多次了,#光刻机# 不是挖机8 ~7 @! g* m/ `5 L
    不是运过来就能直接开工的。
    8 c- {$ J% }1 u- i他需要调试,需要不断的用,一边用一边调整,等光学畸变稳定——你可以理解为拷机或者汽车发动热机暖机。
    / S! [7 c- Q  L6 u* e8 ^% L- W3 s; T% ^+ x
    这个时间很长,也是我常年说:) V1 E1 j7 {# P
    就算今天ASML传送一台EUV给咱,我们拿到第一批量产的芯片流片完(无论7nm,5nm还是多少)起码2年后——这最乐观的2年时间,还得是对EUV非常有经验的顶级工程师来操作优化。6 C5 X  C/ f$ \* @

    % c3 N; u9 w& W$ B; i现在发布的这台机器是起码3年前就验收了(科工),现在工信部验收推广(产业链),成熟得不行了才拿出来的。你需要,给钱就有,不限量。$ ?" x# @) I  u7 g: o7 g% ^

    4 h5 J! b+ Z( m- h6 r" ?" P+ F9 ~" a简单理解就是——这机子是干式光刻机,做的是65-55nm的芯片,一次曝光。
    3 Q) k9 ]- X- a0 ^$ P' M干式光刻机没啥意义,为什么呢?因为改进之后的也可以出产低制程的,向下兼容并且良率更高(成本低方案成熟)6 I' z, ^: Y7 p" `# N
    多重曝光也不是这哥们来做……(我是不清楚干式光刻机有没人搞这个)( ?0 R) E' h+ e/ a
    但这玩意的光路设计啥的,是成型了的。有了它,就加浸没式透镜,修改物镜,最终成品是目前没有验收但肯定存在某个地方的浸没式光刻机,但起码上线了2年了6 X9 g7 W" I3 b' l5 W$ n5 p0 v

    / b3 e3 {9 k6 t8 T$ h没公布的那个肯定还在不断的调试,修改,更换国产配件。
    * g& L1 I& m  ^/ \/ `9 d, x/ `( [普通人不用管光刻机啥情况——你就看最终产品就是。) U  V& K( K3 P- B3 W/ x+ e
    #华为mate70# 也没多久了。
      m2 |: r+ A- |! z# v( l. p! w. \

    点评

    给力: 5.0 涨姿势: 5.0
    这真是极好的: 5.0
    涨姿势: 5
      发表于 2024-9-18 15:38
    给力: 5 涨姿势: 5 这真是极好的: 5
      发表于 2024-9-17 08:38
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    22#
     楼主| 发表于 2024-9-17 08:15:36 | 只看该作者
    老财迷 发表于 2024-9-16 16:06
    & r: w7 V/ ?2 _1 n" X: X  C应该会在5年内实现吧。
    4 d3 _5 `" z9 a
    ' L; U) x( u) R: L9 Q微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    1 K% ]/ h2 C1 c5 e# g& G
    * M5 x, g& I: D' |' e% C& v
    这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

    点评

    油菜: 5.0 给力: 5.0
    油菜: 5 给力: 5
    以你说的为准 :)  发表于 2024-9-17 15:27

    评分

    参与人数 1爱元 +8 收起 理由
    老财迷 + 8

    查看全部评分

    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    23#
    发表于 2024-9-17 08:39:20 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 18:15
      z+ X# v7 Z3 K0 {8 R8 \: {" o这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

    . f! |% v, T+ s. ~; Z+ J: X但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    24#
     楼主| 发表于 2024-9-17 10:54:17 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 18:56 编辑
      n5 G; x3 h0 I# y& c
    晨枫 发表于 2024-9-16 16:39
    # ^$ s" ^2 V, T- H% b. ?但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
    ' @" [7 J8 [1 Y3 e. s3 ~: ~
    . d% v2 C. C  D! c  }: m0 C
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定  _2 a* O( R  p
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述

    评分

    参与人数 2爱元 +18 学识 +2 收起 理由
    老票 + 10 + 2 给力
    老财迷 + 8 涨姿势

    查看全部评分

    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    25#
    发表于 2024-9-17 11:08:25 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 03:34
    * m, L' b' f! I6 K4 I; k不过EUV制作7nm可以轻易一次曝光,产率和良率应该提高很多?
    . l* S" G. R( m$ h" P) c8 z1 v7 ^7 l
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积电用193nm光刻机率先量产7nm,三星则以更先进的EUV光刻机应战,由于对新型光刻机的熟悉不足,结果良率低下,很多人抛弃三星。最后三星赔本赚吆喝,开出比台积电低30%的代工费用,才勉强留下大客户。

    点评

    油菜: 5.0 涨姿势: 5.0
    油菜: 5 涨姿势: 5
      发表于 2024-9-17 15:28

    评分

    参与人数 1爱元 +8 收起 理由
    老财迷 + 8

    查看全部评分

    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    26#
    发表于 2024-9-17 11:13:01 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54: G& L% P' l4 w. T
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    + q& G, [& x& }/ A  ~( W4 W. F; {所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    6 {7 b. w+ A- E0 [/ {0 E
    有道理。
    ( J3 y  J2 o* j: N: ?- N+ u, m) k/ n4 U! I& S. x4 S' C" i$ u; C
    不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资吊着。不退场,但也不全力以赴。
    ; O1 U* S5 d& _9 p- [$ p
    , g5 b! R7 f8 L* I# Z中国肯定是全力以赴的。而且倾国之力肯定大于尼康、佳能。% N: d! u2 q7 o3 L

      r* W: h, [9 P/ v2 s) |  p: p这会有差别吗?
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    27#
    发表于 2024-9-17 11:13:37 | 只看该作者
    沉宝 发表于 2024-9-16 21:080 o: k" G. a  q
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积 ...

    ' e% P' z( H" v' S# o2 y这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    28#
    发表于 2024-9-17 11:19:08 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54
    3 L3 X, ~! d* N/ f/ a" A$ g按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定* }: G4 ], M+ y6 H8 Q, g) e7 r3 c3 w, {3 {2 [
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    5 F" J* {% r- @; [
    还没搞定?
    * ~" @$ f. Z0 ?2 K7 C我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的系统。我在的小破公司搭了一个,然后过去一起做,看能不能用。那个时候估计还是早期,这些基础的问题都没个数。做了几个实验,证明可以捕捉到微气泡发生,成长和运动的轨迹,我就撤了。这都十五年过去了。% H: l! w- W7 c% ^8 q# V  t. a& U1 o
    尼康那时候已经有点不灵的迹象,食堂里面睡满了安装队的人。正常的话那些人都是满世界跑给别人装机器的。$ C/ F: l/ ~+ v0 a; @

    点评

    油菜: 5.0 给力: 0.0
    涨姿势: 5.0
    油菜: 5 给力: 0 涨姿势: 5
    坛里藏龙卧虎啊  发表于 2024-9-17 15:31

    评分

    参与人数 3爱元 +22 学识 +2 收起 理由
    老票 + 10 + 2 涨姿势
    唐家山 + 4 伙呆了
    老财迷 + 8

    查看全部评分

    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    29#
    发表于 2024-9-17 11:21:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54; F3 P+ V% c& T7 a
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定2 O1 l2 y7 Z: W$ j4 o/ f
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    4 f8 l* s* \8 a: f! `突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NAND也被卡了,因为光刻机的事,这说法准确吗?高端NAND需要多少nm节点的光刻机?
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    30#
    发表于 2024-9-17 11:23:33 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13
    " I* M6 o2 |: F! f4 D! ]有道理。
    . p! w" i1 q0 H: C5 u
    + O9 W/ f( w! J) u& F; D, Q+ n# x& J不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资 ...
    5 o+ z% h. V- {8 I1 B
    可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞哪张嘴里。
    & ~, h3 d: U. b很多年前日本媒体评价日本财政用了很形象的词,叫硬直化。所有的钱都有定好的用处,几乎没有活动钱。需要财政支持的时候十分狼狈。该做的事情做不了,钱全都拿去维持日常运转了。

    点评

    油菜: 5.0 涨姿势: 5.0
    油菜: 5 涨姿势: 5
      发表于 2024-9-17 15:32

    评分

    参与人数 1爱元 +4 收起 理由
    老财迷 + 4

    查看全部评分

    回复 支持 反对

    使用道具 举报

  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    31#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:28:54 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 19:33 编辑
    + e/ B8 W( J0 W3 ?/ j4 q0 `
    雷声 发表于 2024-9-16 19:19
    : X" o( v( C7 y' v" b还没搞定? ; H. C2 O7 M0 m
    我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的 ...

    / m5 r* O% R  T$ s6 b* U1 k. a$ j% v5 x3 x
    Nikon是稳定性不行,被牙膏退货后就没人再买。疫情前去开spie的会,Nikon还吹牛自己行了,但主流客户没人用。# T+ D2 m) x( j8 y. S. s0 V
    有网上谣言说华为买了些Nikon自己魔改做出了9100…俺比较怀疑真实性。
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    32#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:31:01 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:21
    3 |* b+ I# ?- {# ?% q2 i- R突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NA ...

    ' P3 Z& [+ `, Y( {1 a9 Y' x存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    33#
    发表于 2024-9-17 11:34:00 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:317 `. z6 H! r% O4 ?# E9 M
    存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。 ...
    6 \3 N) R: U. @- M* S  }4 \
    需要用到浸润DUV吗?# s  r2 j) r3 d* W5 n2 r4 a  f
    / a4 H2 G0 t: Y0 U% r9 v# {
    我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗?
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    34#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:37:50 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:34
    - h  `" ~6 m9 B% T* M需要用到浸润DUV吗?0 S! g9 o1 M) ?: [- S/ i. l
    ; B! \  t' R- ^  x
    我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗? ...

    ; [& w$ j' t) D- q( j- x浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    35#
    发表于 2024-9-17 11:38:06 | 只看该作者
    雷声 发表于 2024-9-16 21:23  B: B% \" t  G" d7 i! t  F/ r
    可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞 ...

    5 T7 M3 F4 j" e( Z3 K5 v: Q! d7 j是的,需要钱的地方太多,但光刻机和芯片可能是不计代价砸钱的方向,优先级比谁都高。这个瓶颈突破后,不只是军事、科技上的阳关道,经济上也是大片的处女地啊。3 N9 R+ B% |/ W) t

    - n- U2 A1 ]6 ^. w$ p# G: d0 L5 T硬直化很形象。确实,西方家大业大,花钱手笔也大,但每一笔钱都预定了用处,活动余地真心很小。你看看美国在预算削减时那个鸡飞狗跳,就知道真是谁都动不得。“平均剃头”是公认的最坏选择,但是唯一大家可接受的选择。
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    36#
    发表于 2024-9-17 11:40:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:37
    / |; f8 i9 j! N: H( |2 T' k8 |浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。 ...
      m2 y4 ~( q% e
    都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了?
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    37#
    发表于 2024-9-17 11:43:29 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54
    8 b: ^/ i; D7 d; s) q" X- E/ T按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    6 j  i3 S- ~3 G! `, `0 M2 B1 S0 F, B所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    6 h% M7 r: ?% S8 @# C; l7 c. ]
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均匀,从而折射率不均匀,影响成像。为了避免温差,必须让水快速流动混合,但又要避免产生漩涡或者析出气泡。水可以把所接触物品上的杂质洗下来,带到晶圆上,形成缺陷。当初ASML搞浸润式光刻机时,在浸液系统上与林本坚团队合作,方案修改了7-8回,耗时两年多才取得满意的结果。

    评分

    参与人数 1爱元 +10 学识 +2 收起 理由
    老票 + 10 + 2 涨姿势

    查看全部评分

    回复 支持 反对

    使用道具 举报

  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    38#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:59:49 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 20:02 编辑   c1 Y9 R, p3 M. q
    沉宝 发表于 2024-9-16 19:43
    1 P4 Y9 w& {% i: p0 t. ], k具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均 ...

    1 G( Z" A" T" i0 S5 _# Z
      ^3 m" y0 T/ `' A" h2 F$ k8 d这当然不容易,不过两年挺快啦,看看牙膏的10nm……
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    39#
     楼主| 发表于 2024-9-17 12:01:58 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:40  i, F5 e! W  d4 f+ E
    都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了? ...

    8 f9 A2 d! _, Y, U不知道啦,也许是隐晦放风的说法。
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    40#
    发表于 2024-9-17 17:38:39 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13/ {# G+ B, D: `' H
    这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。 ...
    . k# x. Y: k$ F) E2 p( Z+ p
    中国大,各地方人气质不一,各擅胜场。精细活儿江南地方超过东北山东。如此说来,韩国近东北山东,台湾精英是江浙后代。
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    手机版|小黑屋|Archiver|网站错误报告|爱吱声   

    GMT+8, 2026-8-12 06:52 , Processed in 0.062762 second(s), 17 queries , Gzip On.

    Powered by Discuz! X3.2

    © 2001-2013 Comsenz Inc.

    快速回复 返回顶部 返回列表