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[科普知识] 国产光刻机猜测

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  • TA的每日心情
    慵懒
    2022-8-27 22:14
  • 签到天数: 351 天

    [LV.8]合体

    21#
    发表于 2024-9-17 08:06:46 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 14:006 D  n# W7 n  M
    也就是说,即使28nm现在还有光刻机瓶颈,其他也都就绪、只欠东风了。这是好事!5 [* x- [! D: y. _2 ~. Z

    3 V5 o( |' d+ s* C个人感觉:相比于前一阵 ...

    0 T( O) O* m8 O7 @' z
    . _0 D' O: i* ~5 p. [7 e8 n
    这就要西方好好领教什么叫产能过剩了。
    7 k# `0 {" L* Q
    应该会在5年内实现吧。& l" V! O+ f0 L# e. X

    / E3 T* o( E% X$ d; W2 v微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    , Q& G# T0 Y$ z! U" X24-9-16 23:559 \% o( B" g0 B/ \
    发布于 湖南& L/ L2 v% a% s+ P& M# Z0 X
    来自 微博网页版
    & y6 B, m8 o: K4 j啊,说过很多次了,#光刻机# 不是挖机4 R+ k; v" Y# u7 g
    不是运过来就能直接开工的。
    3 _0 s) @5 u- A. U) r- j7 _7 F他需要调试,需要不断的用,一边用一边调整,等光学畸变稳定——你可以理解为拷机或者汽车发动热机暖机。
    ) B) y5 G! Q! j" b" S" d
    - X1 `7 `9 T0 T" g  q6 M2 P这个时间很长,也是我常年说:
    , D" J# M7 \" c( H4 i) J" t就算今天ASML传送一台EUV给咱,我们拿到第一批量产的芯片流片完(无论7nm,5nm还是多少)起码2年后——这最乐观的2年时间,还得是对EUV非常有经验的顶级工程师来操作优化。
    ' |4 ]: ?, k' J/ J! j+ U+ Z, E6 B' d
    现在发布的这台机器是起码3年前就验收了(科工),现在工信部验收推广(产业链),成熟得不行了才拿出来的。你需要,给钱就有,不限量。
    ( H) y5 J0 k1 s  X: d% l3 \- R3 x; v: \
    简单理解就是——这机子是干式光刻机,做的是65-55nm的芯片,一次曝光。
    2 A, W- [- p8 `, P' c& N: `0 u干式光刻机没啥意义,为什么呢?因为改进之后的也可以出产低制程的,向下兼容并且良率更高(成本低方案成熟)1 \6 R  k, a: K: ~, s$ [5 q
    多重曝光也不是这哥们来做……(我是不清楚干式光刻机有没人搞这个)
      _1 ~3 {4 s. I+ X! ^但这玩意的光路设计啥的,是成型了的。有了它,就加浸没式透镜,修改物镜,最终成品是目前没有验收但肯定存在某个地方的浸没式光刻机,但起码上线了2年了
    " d  _  S! k& n' M' C
    ' J3 G0 m7 |  f$ P7 D没公布的那个肯定还在不断的调试,修改,更换国产配件。- F3 ]" ]; n- X7 c2 N5 P3 s/ G
    普通人不用管光刻机啥情况——你就看最终产品就是。
      ]/ r5 ]8 n: x#华为mate70# 也没多久了。
    3 G& G/ p1 r# M2 W: p

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    这真是极好的: 5.0
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      发表于 2024-9-18 15:38
    给力: 5 涨姿势: 5 这真是极好的: 5
      发表于 2024-9-17 08:38
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    22#
     楼主| 发表于 2024-9-17 08:15:36 | 只看该作者
    老财迷 发表于 2024-9-16 16:06
    . k$ u. ~/ F4 X应该会在5年内实现吧。9 \& k; B. h3 ]
    0 w8 D3 Q, T: e5 R, [( q6 M
    微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    & f) ?. C. t4 y& j. c# `, E
    ( m" ^5 f2 `: x7 |9 ]  g, w  l6 q3 b6 {
    这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

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    以你说的为准 :)  发表于 2024-9-17 15:27

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    23#
    发表于 2024-9-17 08:39:20 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 18:15: r. @9 k. w/ p
    这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。
    / U% t2 ~; M$ @$ T
    但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    24#
     楼主| 发表于 2024-9-17 10:54:17 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 18:56 编辑
    9 t8 e& h+ Q: }
    晨枫 发表于 2024-9-16 16:39  r; I& x2 L5 z  A
    但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
    6 |! s6 x: p* u* b, w2 O8 ]9 b- ~7 V

    9 {% r6 \, A. v3 F3 b. [( _; t按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    - s( z) d' |$ D9 j6 w4 T- u所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述

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    25#
    发表于 2024-9-17 11:08:25 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 03:34
    - h4 H+ Q; }1 X1 v$ l. y% l不过EUV制作7nm可以轻易一次曝光,产率和良率应该提高很多?

    ' {2 O% }" R% I理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积电用193nm光刻机率先量产7nm,三星则以更先进的EUV光刻机应战,由于对新型光刻机的熟悉不足,结果良率低下,很多人抛弃三星。最后三星赔本赚吆喝,开出比台积电低30%的代工费用,才勉强留下大客户。

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      发表于 2024-9-17 15:28

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    26#
    发表于 2024-9-17 11:13:01 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54' G3 b- K2 [" r( w% k/ [+ l
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定) W1 Z1 a- Y( \8 K
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    & Z( H9 P$ M4 Z有道理。) v; Z* G9 U* a8 z2 }  n
    & i9 c8 `8 |9 Z& V* U# n) y+ G6 X
    不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资吊着。不退场,但也不全力以赴。
    ( F; i- {* n: I9 p( Y+ @. z6 @& l6 D0 s; a8 W
    中国肯定是全力以赴的。而且倾国之力肯定大于尼康、佳能。8 |& q* g" b1 E$ k* N- P4 O3 x: B

    1 Q( G- Q; ]9 T1 ~2 ]! T) t这会有差别吗?
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    27#
    发表于 2024-9-17 11:13:37 | 只看该作者
    沉宝 发表于 2024-9-16 21:087 W/ k- K9 b2 X! [; l7 A
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积 ...

    2 v  `: S4 X+ U+ I3 G这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。
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    28#
    发表于 2024-9-17 11:19:08 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54
    9 X5 s% s7 c0 {按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    2 Q9 I$ D2 W$ @* J2 y所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    4 C8 A; u! m, j9 R4 M还没搞定? 5 g( g/ K) V8 h  y/ h3 F2 {
    我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的系统。我在的小破公司搭了一个,然后过去一起做,看能不能用。那个时候估计还是早期,这些基础的问题都没个数。做了几个实验,证明可以捕捉到微气泡发生,成长和运动的轨迹,我就撤了。这都十五年过去了。) y( i3 f7 O" F7 T2 Y( @6 M- Y: o
    尼康那时候已经有点不灵的迹象,食堂里面睡满了安装队的人。正常的话那些人都是满世界跑给别人装机器的。
    ; z/ F$ t. c4 ?5 [) ]( Z3 r

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    坛里藏龙卧虎啊  发表于 2024-9-17 15:31

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    29#
    发表于 2024-9-17 11:21:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54
    . z5 }% n9 L, {$ @# x2 F3 n5 ~按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    2 N2 @" A4 I! b3 f' s8 N( q所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    ( q* a. v' P# B( j# r) C) `5 h
    突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NAND也被卡了,因为光刻机的事,这说法准确吗?高端NAND需要多少nm节点的光刻机?
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    30#
    发表于 2024-9-17 11:23:33 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13
    2 U( X: R* A. `; `8 n3 b有道理。
    " z$ c! ^. d; S; K* V/ A7 \7 s) z3 r# ^
    不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资 ...
    8 R/ [; h! Z4 N6 z) i
    可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞哪张嘴里。+ }% u# y, ?: J  I$ k8 K7 \8 x
    很多年前日本媒体评价日本财政用了很形象的词,叫硬直化。所有的钱都有定好的用处,几乎没有活动钱。需要财政支持的时候十分狼狈。该做的事情做不了,钱全都拿去维持日常运转了。

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      发表于 2024-9-17 15:32

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    31#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:28:54 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 19:33 编辑 / W0 n( I8 y  y+ n' X
    雷声 发表于 2024-9-16 19:19
    # G( B9 s. V+ n6 s* G  m还没搞定?
    9 x( d7 k  B$ E我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的 ...
    0 @! c  @1 g! L) O" a

    + P& o- f8 u3 }. ?4 r6 SNikon是稳定性不行,被牙膏退货后就没人再买。疫情前去开spie的会,Nikon还吹牛自己行了,但主流客户没人用。2 v7 d  x- Q( `2 H! }4 Y
    有网上谣言说华为买了些Nikon自己魔改做出了9100…俺比较怀疑真实性。
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    32#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:31:01 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:211 i0 a& R* j0 w8 w1 M
    突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NA ...

    3 t+ [) V8 `! ]存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。
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    33#
    发表于 2024-9-17 11:34:00 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:31) @- E5 y' o6 V
    存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。 ...
    $ X, w( j: _5 C( i/ }+ @+ u
    需要用到浸润DUV吗?
    ! K6 w2 D* A' M3 s
    2 N4 g; B: u) ?, H/ M我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗?
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    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    34#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:37:50 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:34
    6 `; g& x  }) [( N需要用到浸润DUV吗?
    3 \) n! g6 Y( ^1 V/ K( i" N0 r# d: l+ e' [- o. U
    我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗? ...
    ( `5 S# D, D; O, h4 B
    浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。
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    35#
    发表于 2024-9-17 11:38:06 | 只看该作者
    雷声 发表于 2024-9-16 21:23
    ( I+ w( H3 s" C% S, {; i2 @可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞 ...
    7 m, y$ V$ z* M8 v
    是的,需要钱的地方太多,但光刻机和芯片可能是不计代价砸钱的方向,优先级比谁都高。这个瓶颈突破后,不只是军事、科技上的阳关道,经济上也是大片的处女地啊。! K$ ]& q8 }, z; }" W0 h% y

    ) F  \8 Q2 T( ~. v& q. @( d( X8 p硬直化很形象。确实,西方家大业大,花钱手笔也大,但每一笔钱都预定了用处,活动余地真心很小。你看看美国在预算削减时那个鸡飞狗跳,就知道真是谁都动不得。“平均剃头”是公认的最坏选择,但是唯一大家可接受的选择。
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    该用户从未签到

    36#
    发表于 2024-9-17 11:40:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:37
    ' y; ]& b' Z5 \0 C! [3 |: Y' Z浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。 ...
    ' V$ T' \4 ]6 ^' ~& t6 H( }
    都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了?
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    37#
    发表于 2024-9-17 11:43:29 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:547 E! V& O7 {( }$ a0 i7 M
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    $ x5 U3 r1 W7 N& g所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    ; d4 y! M5 e* V  A# p  ]* ?具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均匀,从而折射率不均匀,影响成像。为了避免温差,必须让水快速流动混合,但又要避免产生漩涡或者析出气泡。水可以把所接触物品上的杂质洗下来,带到晶圆上,形成缺陷。当初ASML搞浸润式光刻机时,在浸液系统上与林本坚团队合作,方案修改了7-8回,耗时两年多才取得满意的结果。

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    38#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:59:49 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 20:02 编辑 " ?' B' T6 q9 f2 F+ ]
    沉宝 发表于 2024-9-16 19:43
    6 a) J0 Q! j! C6 n& f( t具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均 ...

    9 e8 u# y& \9 o7 z( O. F$ Y
    6 y. |/ I  y/ i0 C  \* y3 g$ a这当然不容易,不过两年挺快啦,看看牙膏的10nm……
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    39#
     楼主| 发表于 2024-9-17 12:01:58 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:40" [" E  V7 a: R6 L" Y& M
    都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了? ...
      y  g, D9 i: A  [8 G
    不知道啦,也许是隐晦放风的说法。
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    40#
    发表于 2024-9-17 17:38:39 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13
    $ Q5 E/ @$ ~. `. ?这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。 ...

    " y9 D* ]& ?- h2 {中国大,各地方人气质不一,各擅胜场。精细活儿江南地方超过东北山东。如此说来,韩国近东北山东,台湾精英是江浙后代。
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