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楼主: moletronic
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[科普知识] 国产光刻机猜测

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  • TA的每日心情
    慵懒
    2022-8-27 22:14
  • 签到天数: 351 天

    [LV.8]合体

    21#
    发表于 2024-9-17 08:06:46 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 14:00) X2 V4 F* b# `
    也就是说,即使28nm现在还有光刻机瓶颈,其他也都就绪、只欠东风了。这是好事!
    , \. M+ K! G& z) V9 @# O8 U# i" o
    . |( l# g8 |7 U个人感觉:相比于前一阵 ...
    ( u2 |8 a% W+ K8 F

    7 m5 Y$ X! p1 P* Z
    这就要西方好好领教什么叫产能过剩了。

    - f& c' }) `7 F3 l/ q# A应该会在5年内实现吧。! P0 E! G# c8 d  K7 X

    - ]4 X1 {% C& D7 j$ T微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    / n1 |6 h( w9 y+ H7 K0 b7 J% U24-9-16 23:55  z3 _7 }7 {$ H# F6 y' x
    发布于 湖南& Z! V+ M# |' N
    来自 微博网页版
    6 z, I0 a8 {# N* Z- J啊,说过很多次了,#光刻机# 不是挖机
    ( l  z. G$ c7 ]3 Z. p不是运过来就能直接开工的。
    # O& d$ b+ A4 a他需要调试,需要不断的用,一边用一边调整,等光学畸变稳定——你可以理解为拷机或者汽车发动热机暖机。# S& {+ @! N! b

    0 w* O/ I. u; \这个时间很长,也是我常年说:
    % \% n" |8 R% y# ?$ ^* {1 n8 R就算今天ASML传送一台EUV给咱,我们拿到第一批量产的芯片流片完(无论7nm,5nm还是多少)起码2年后——这最乐观的2年时间,还得是对EUV非常有经验的顶级工程师来操作优化。
    ! A8 {$ A1 Q$ N* |" L' M% x: F" [: I1 L. I& ^9 L
    现在发布的这台机器是起码3年前就验收了(科工),现在工信部验收推广(产业链),成熟得不行了才拿出来的。你需要,给钱就有,不限量。
    " I% p" L( O* s5 l. A( u" F8 m  r9 a4 D0 T" L: Z( R
    简单理解就是——这机子是干式光刻机,做的是65-55nm的芯片,一次曝光。: g7 ?" _7 V! M+ Z1 C9 X; g6 `0 {( A
    干式光刻机没啥意义,为什么呢?因为改进之后的也可以出产低制程的,向下兼容并且良率更高(成本低方案成熟)
    7 @8 E; c  D6 A' j+ @多重曝光也不是这哥们来做……(我是不清楚干式光刻机有没人搞这个)
    2 E1 {" G; N! p8 f1 ^1 c& d但这玩意的光路设计啥的,是成型了的。有了它,就加浸没式透镜,修改物镜,最终成品是目前没有验收但肯定存在某个地方的浸没式光刻机,但起码上线了2年了
    ( i1 |! F# O: T# N  Q7 p5 f! W$ t; g- |
    没公布的那个肯定还在不断的调试,修改,更换国产配件。- m& Z6 x1 d( m& n. F
    普通人不用管光刻机啥情况——你就看最终产品就是。
    ; p4 F6 I5 {' u' @6 V* x7 ~& w#华为mate70# 也没多久了。0 M! W) E- x$ ^

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    这真是极好的: 5.0
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      发表于 2024-9-18 15:38
    给力: 5 涨姿势: 5 这真是极好的: 5
      发表于 2024-9-17 08:38
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    22#
     楼主| 发表于 2024-9-17 08:15:36 | 只看该作者
    老财迷 发表于 2024-9-16 16:068 w) x% G8 `& O# B% E& U
    应该会在5年内实现吧。
    $ E2 f# t. W7 v$ S
    1 T5 m3 L; d! _  t5 l4 N微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    . g$ ?: c8 w0 @# c) p/ _& [
    . O7 m) M4 Z1 f
    这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

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    以你说的为准 :)  发表于 2024-9-17 15:27

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    23#
    发表于 2024-9-17 08:39:20 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 18:15
    9 X) D0 h/ Z( C% B1 X6 E这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

    1 ?1 {& O! n( l' J但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    24#
     楼主| 发表于 2024-9-17 10:54:17 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 18:56 编辑
    ' M7 \2 G6 \3 n6 g/ a+ ~) B
    晨枫 发表于 2024-9-16 16:39  P) ]2 E7 g5 ]  z+ n
    但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?

    ; T( X/ [# |$ a& h+ k# V6 f' E, ]6 u4 q7 l$ s2 {8 x
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定1 E+ j- T. |/ X6 G
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述

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    25#
    发表于 2024-9-17 11:08:25 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 03:34) D% [: C5 J4 q9 o9 {" i' R
    不过EUV制作7nm可以轻易一次曝光,产率和良率应该提高很多?
    - ^/ s) V4 u- I8 I& ~) `7 X3 r
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积电用193nm光刻机率先量产7nm,三星则以更先进的EUV光刻机应战,由于对新型光刻机的熟悉不足,结果良率低下,很多人抛弃三星。最后三星赔本赚吆喝,开出比台积电低30%的代工费用,才勉强留下大客户。

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      发表于 2024-9-17 15:28

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    26#
    发表于 2024-9-17 11:13:01 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:547 h1 p9 v  V: N7 q
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    0 D  x& D& W, U# x/ r4 Q1 b所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    , i. R& C' S2 x, S有道理。+ q8 j+ W6 k+ k) A' H
    " H3 U  g* t3 P* J
    不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资吊着。不退场,但也不全力以赴。
    / C6 l/ }" j% x8 N2 Q  C/ I
    - J  k3 w$ {9 R1 m7 L中国肯定是全力以赴的。而且倾国之力肯定大于尼康、佳能。
    ! C( G5 h) F7 S7 L: a1 e' i3 p8 S8 c" x0 D$ `; V8 S
    这会有差别吗?
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    27#
    发表于 2024-9-17 11:13:37 | 只看该作者
    沉宝 发表于 2024-9-16 21:08  f% R- y' t9 @; P2 M$ R; _$ ^! A
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积 ...

    % E, J& h7 ]1 r$ n* z/ G( @' T# _这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。
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    28#
    发表于 2024-9-17 11:19:08 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54
    * }: K9 d* o6 e$ D* g4 r- L& W按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定3 [7 N1 O4 m( @2 V3 r
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    % F. ^; |% j2 F' v; h: [; l* B还没搞定?
    4 q4 E; q$ B( S+ f7 k* A9 V我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的系统。我在的小破公司搭了一个,然后过去一起做,看能不能用。那个时候估计还是早期,这些基础的问题都没个数。做了几个实验,证明可以捕捉到微气泡发生,成长和运动的轨迹,我就撤了。这都十五年过去了。+ p- H3 P; o: S5 B9 w2 w8 O
    尼康那时候已经有点不灵的迹象,食堂里面睡满了安装队的人。正常的话那些人都是满世界跑给别人装机器的。
    ) a( J) c) X8 e1 u* P

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    坛里藏龙卧虎啊  发表于 2024-9-17 15:31

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    唐家山 + 4 伙呆了
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    29#
    发表于 2024-9-17 11:21:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54
    & O5 ~+ u3 a1 m* s! o按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    , S5 s1 I2 L9 n" r* C& W所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
      g% |' X$ @) h% V
    突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NAND也被卡了,因为光刻机的事,这说法准确吗?高端NAND需要多少nm节点的光刻机?
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    30#
    发表于 2024-9-17 11:23:33 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:131 q+ @0 V* h) S. Z8 O
    有道理。! A/ D/ S" e0 q+ [3 C! p

    & p( X9 f7 `' g& V+ T8 T0 O8 r不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资 ...
    & K" i3 c8 ?/ W7 k& G' [
    可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞哪张嘴里。: F9 f$ _$ n3 P/ ?( \2 \' f
    很多年前日本媒体评价日本财政用了很形象的词,叫硬直化。所有的钱都有定好的用处,几乎没有活动钱。需要财政支持的时候十分狼狈。该做的事情做不了,钱全都拿去维持日常运转了。

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      发表于 2024-9-17 15:32

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    31#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:28:54 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 19:33 编辑 8 a; H+ ?1 n' v  ?, x6 }. _
    雷声 发表于 2024-9-16 19:19: }& [5 M9 C2 D) _  `
    还没搞定?
    4 Y5 X2 t* L2 T3 G2 i+ W" y我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的 ...

    7 P, ?4 g2 h  S2 L+ G* |9 r. W/ p# L  E( g3 X7 g
    Nikon是稳定性不行,被牙膏退货后就没人再买。疫情前去开spie的会,Nikon还吹牛自己行了,但主流客户没人用。
    , d& _; m. ^1 ?1 }1 q% p有网上谣言说华为买了些Nikon自己魔改做出了9100…俺比较怀疑真实性。
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    2023-2-8 04:51
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    32#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:31:01 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:21
    , |( l# D& J8 j3 `, d4 r突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NA ...
    0 m. i8 [- J0 Q. R* \1 \- ^
    存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。
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    33#
    发表于 2024-9-17 11:34:00 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:31
      Y$ j5 m- V# X% O. K7 u存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。 ...

    . k8 q3 w& a2 R: V+ Y0 K# _: A需要用到浸润DUV吗?
      R9 C) R) Q- k* f, {6 |
    3 L% Y1 D1 d- C$ i8 Q+ s( f* S* O我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    34#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:37:50 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:348 V6 w& @+ C+ _
    需要用到浸润DUV吗?
    ) ~: H1 E& y7 k2 ~
    0 g; W! \$ r! N2 u我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗? ...
    1 \. x5 C1 {5 ^! S% P
    浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。
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    35#
    发表于 2024-9-17 11:38:06 | 只看该作者
    雷声 发表于 2024-9-16 21:23
    - ?" d/ @7 p9 `% A可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞 ...

    : U- q  ^' N" ]是的,需要钱的地方太多,但光刻机和芯片可能是不计代价砸钱的方向,优先级比谁都高。这个瓶颈突破后,不只是军事、科技上的阳关道,经济上也是大片的处女地啊。" `& U/ S/ P# a2 s% A
    * ]6 F" D# V7 |3 o* B$ x
    硬直化很形象。确实,西方家大业大,花钱手笔也大,但每一笔钱都预定了用处,活动余地真心很小。你看看美国在预算削减时那个鸡飞狗跳,就知道真是谁都动不得。“平均剃头”是公认的最坏选择,但是唯一大家可接受的选择。
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    36#
    发表于 2024-9-17 11:40:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:37
    , W6 Z0 h) Y; C: \9 z2 K1 A浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。 ...

    2 {3 w5 W' t: `7 \都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了?
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    37#
    发表于 2024-9-17 11:43:29 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54
    ! @+ y5 H8 @, Z/ d按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    , ~+ O; \1 @- n; Y4 ]7 [( b( N所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    8 f% a6 b9 s: q& T- [" B* `
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均匀,从而折射率不均匀,影响成像。为了避免温差,必须让水快速流动混合,但又要避免产生漩涡或者析出气泡。水可以把所接触物品上的杂质洗下来,带到晶圆上,形成缺陷。当初ASML搞浸润式光刻机时,在浸液系统上与林本坚团队合作,方案修改了7-8回,耗时两年多才取得满意的结果。

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    38#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:59:49 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 20:02 编辑 : U6 y; o( n+ ^& p. g; g  V; G
    沉宝 发表于 2024-9-16 19:432 D( ~6 h( n# s3 W" v
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均 ...
    ) g* `  {( h5 s
    8 K# s5 I( k3 }0 k
    这当然不容易,不过两年挺快啦,看看牙膏的10nm……
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

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    39#
     楼主| 发表于 2024-9-17 12:01:58 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:402 |: C4 F; V% h! Q5 i6 G3 T+ p
    都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了? ...

    5 C" j9 |9 n1 \5 V( F不知道啦,也许是隐晦放风的说法。
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    40#
    发表于 2024-9-17 17:38:39 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:137 f4 M9 Y! k7 @2 \
    这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。 ...
      e  e* ]3 w3 n& q. \' ?" T9 N* ~
    中国大,各地方人气质不一,各擅胜场。精细活儿江南地方超过东北山东。如此说来,韩国近东北山东,台湾精英是江浙后代。
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