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[科普知识] 国产光刻机猜测

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  • TA的每日心情
    慵懒
    2022-8-27 22:14
  • 签到天数: 351 天

    [LV.8]合体

    21#
    发表于 2024-9-17 08:06:46 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 14:00
    - S# W: V3 U& n7 }也就是说,即使28nm现在还有光刻机瓶颈,其他也都就绪、只欠东风了。这是好事!
    3 o1 ^+ o) F: o2 T, |+ w% e; \; j4 H5 r
    个人感觉:相比于前一阵 ...

    " p$ ^4 D4 E7 |2 J. J( l- S
    ! d7 Y. i5 |- p9 l
    这就要西方好好领教什么叫产能过剩了。

    3 Q; k' e3 {) r应该会在5年内实现吧。
    ! B; r3 \1 o7 z6 q' S; v$ d% M0 B4 T# j* R" }% a
    微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    / H2 M4 T/ \( G0 p24-9-16 23:556 d% Z0 x+ y3 _4 z: e
    发布于 湖南; l9 Q0 ?( M; K# s3 b2 a; g
    来自 微博网页版
    ! R1 l: t  [0 K  O( H啊,说过很多次了,#光刻机# 不是挖机
    " ]4 p; V2 @7 Y5 o7 E不是运过来就能直接开工的。) l2 ?8 o) Z: `
    他需要调试,需要不断的用,一边用一边调整,等光学畸变稳定——你可以理解为拷机或者汽车发动热机暖机。% g5 O% N; @; e! c% j3 i! h

    " J7 ]0 {1 y! ]+ [: c. S' S这个时间很长,也是我常年说:
    ; l( w) z/ a( |+ S4 H就算今天ASML传送一台EUV给咱,我们拿到第一批量产的芯片流片完(无论7nm,5nm还是多少)起码2年后——这最乐观的2年时间,还得是对EUV非常有经验的顶级工程师来操作优化。
    & W1 e& y* |) M
    8 M5 j* z7 e& Z$ O' x现在发布的这台机器是起码3年前就验收了(科工),现在工信部验收推广(产业链),成熟得不行了才拿出来的。你需要,给钱就有,不限量。: Y" h0 a5 f( b7 C0 V3 k6 K

    4 \4 h5 w0 E1 t) ], l/ q9 \9 o' L简单理解就是——这机子是干式光刻机,做的是65-55nm的芯片,一次曝光。1 S' U4 @* f7 e* x
    干式光刻机没啥意义,为什么呢?因为改进之后的也可以出产低制程的,向下兼容并且良率更高(成本低方案成熟)4 u0 H3 |  y2 [. h, ]' w
    多重曝光也不是这哥们来做……(我是不清楚干式光刻机有没人搞这个)
    ) w! c+ ]( i7 M& {. Z# s+ R. C8 Z但这玩意的光路设计啥的,是成型了的。有了它,就加浸没式透镜,修改物镜,最终成品是目前没有验收但肯定存在某个地方的浸没式光刻机,但起码上线了2年了
    . k" i4 ^$ x5 z8 E9 P% w; i, _+ u0 L8 {
    没公布的那个肯定还在不断的调试,修改,更换国产配件。
    # {8 Q3 }# g1 t5 {# I0 P  z7 ?普通人不用管光刻机啥情况——你就看最终产品就是。
    ; R9 E/ t: M7 I9 H#华为mate70# 也没多久了。
    ; {6 S& M6 n5 M
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    22#
     楼主| 发表于 2024-9-17 08:15:36 | 只看该作者
    老财迷 发表于 2024-9-16 16:06
    / X4 Y' n6 ?0 h' b应该会在5年内实现吧。
    * Q9 ]; K9 E5 M& o
    5 E7 Z' p: M  I* Z# L; L3 n# `2 J微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    0 [: V, i) V) b) Y  |

    / V9 t3 P1 h6 w" p这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

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    以你说的为准 :)  发表于 2024-9-17 15:27

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    23#
    发表于 2024-9-17 08:39:20 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 18:15- U8 B: @4 o& m. Z& c0 j! d
    这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。
    # P% J! m" b9 P# L3 B
    但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    24#
     楼主| 发表于 2024-9-17 10:54:17 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 18:56 编辑 / R5 `8 H- s" e
    晨枫 发表于 2024-9-16 16:39! I' F% t: d" s9 [/ M
    但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
    # `8 E: g7 ~; n  I% t

    2 Z& L& P3 ]3 {4 o" q按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定3 Q% T0 l1 e' G6 {3 j* P/ U8 v" [
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述

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    25#
    发表于 2024-9-17 11:08:25 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 03:34
    ( D+ ~+ F* v( \! t不过EUV制作7nm可以轻易一次曝光,产率和良率应该提高很多?
    , P; Q3 c+ C" ?: g0 U( J
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积电用193nm光刻机率先量产7nm,三星则以更先进的EUV光刻机应战,由于对新型光刻机的熟悉不足,结果良率低下,很多人抛弃三星。最后三星赔本赚吆喝,开出比台积电低30%的代工费用,才勉强留下大客户。

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      发表于 2024-9-17 15:28

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    26#
    发表于 2024-9-17 11:13:01 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54
    6 U" |6 Y3 ^9 \8 ?% K5 ]按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    " R7 u! a. m- \% f$ W: m4 R" R所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    * e: P7 @7 J1 u, N, M  v+ ~
    有道理。) z$ g5 V( E4 |9 S

    - H* C0 ]+ T9 |! c3 v" K不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资吊着。不退场,但也不全力以赴。
    5 w. M& A# q4 l8 C  y# r) V$ P. w6 h+ M9 H0 ^
    中国肯定是全力以赴的。而且倾国之力肯定大于尼康、佳能。5 V! f/ a& ~- v% e6 Y
    5 P% C% c1 B3 z
    这会有差别吗?
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    27#
    发表于 2024-9-17 11:13:37 | 只看该作者
    沉宝 发表于 2024-9-16 21:08
    : d2 M: ^+ b8 J理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积 ...

    ' S, P; X! f8 O2 F. f" h5 E4 i) d这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。
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    28#
    发表于 2024-9-17 11:19:08 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54
    + K1 Q6 ^' v. h  p按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    4 _( Y  t3 U: t; f所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    , I$ M" U0 A- x! }! p# B还没搞定?   C6 K. O" Z" t9 [
    我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的系统。我在的小破公司搭了一个,然后过去一起做,看能不能用。那个时候估计还是早期,这些基础的问题都没个数。做了几个实验,证明可以捕捉到微气泡发生,成长和运动的轨迹,我就撤了。这都十五年过去了。: O+ v6 H+ h/ E" r# ]# n5 W
    尼康那时候已经有点不灵的迹象,食堂里面睡满了安装队的人。正常的话那些人都是满世界跑给别人装机器的。
    - W0 e; s* N5 A. q! H  o; E

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    坛里藏龙卧虎啊  发表于 2024-9-17 15:31

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    29#
    发表于 2024-9-17 11:21:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54  e$ P4 I! d9 e$ t6 o4 }
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    2 _1 f& t+ @5 _! ~9 \/ Z所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    - |( \! y9 r& O- B3 L
    突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NAND也被卡了,因为光刻机的事,这说法准确吗?高端NAND需要多少nm节点的光刻机?
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    30#
    发表于 2024-9-17 11:23:33 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13
    ( G! M# k4 [, `1 |* R3 b有道理。
    6 T% X8 H: Q: i* X( ?! h5 B6 S: c8 r9 U6 i
    不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资 ...
    ( x  Z7 F& e4 w& b5 S
    可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞哪张嘴里。1 Y' w! ]) \8 I: f; N# }8 h
    很多年前日本媒体评价日本财政用了很形象的词,叫硬直化。所有的钱都有定好的用处,几乎没有活动钱。需要财政支持的时候十分狼狈。该做的事情做不了,钱全都拿去维持日常运转了。

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      发表于 2024-9-17 15:32

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    开心
    2023-2-8 04:51
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    31#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:28:54 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 19:33 编辑 " Z) G/ ?: I3 C8 l
    雷声 发表于 2024-9-16 19:19# O8 Q2 |' ?3 Q* |) p, t* C
    还没搞定? . f) t' c  K; E/ E. o7 ?' i" ~
    我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的 ...
    . E  z- B! K, U+ v. k, A

    - g1 Z; v' l1 K' c( `$ DNikon是稳定性不行,被牙膏退货后就没人再买。疫情前去开spie的会,Nikon还吹牛自己行了,但主流客户没人用。/ s/ v$ f2 ^" d! A& C' V
    有网上谣言说华为买了些Nikon自己魔改做出了9100…俺比较怀疑真实性。
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    32#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:31:01 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:21- `4 n' n& d% ~5 r* t% \
    突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NA ...

    , Y5 K3 P0 n) g# i  ^- L: ?* M9 H存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。
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    33#
    发表于 2024-9-17 11:34:00 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:31
    + f1 B" [- |) R! C存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。 ...

    2 M5 d- u! R5 c* i2 j" }3 Y需要用到浸润DUV吗?6 Q" [  T" f# @/ l/ Y; B1 M/ V

    ) c* b! W; A: J' \* A我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    34#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:37:50 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:34; A4 s, U) J7 M) p9 {
    需要用到浸润DUV吗?
    4 {1 N' D9 l5 W, S. ~- G% r/ V7 P, a2 V
    我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗? ...
    3 K( Y+ u7 i6 g; z$ b
    浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。
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    35#
    发表于 2024-9-17 11:38:06 | 只看该作者
    雷声 发表于 2024-9-16 21:23
    ' ^* K  n( F% f% R可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞 ...
    3 H( J$ V% V% y& l2 f7 y
    是的,需要钱的地方太多,但光刻机和芯片可能是不计代价砸钱的方向,优先级比谁都高。这个瓶颈突破后,不只是军事、科技上的阳关道,经济上也是大片的处女地啊。
    ) r$ M& S+ ~2 U3 O% o$ b  \( B' T+ X9 g  v. U
    硬直化很形象。确实,西方家大业大,花钱手笔也大,但每一笔钱都预定了用处,活动余地真心很小。你看看美国在预算削减时那个鸡飞狗跳,就知道真是谁都动不得。“平均剃头”是公认的最坏选择,但是唯一大家可接受的选择。
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    36#
    发表于 2024-9-17 11:40:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:37- t+ h3 h+ N5 }. m( P; o% }
    浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。 ...
    9 E& i3 F% r# f9 s" _5 a4 i
    都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了?
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    37#
    发表于 2024-9-17 11:43:29 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54
    8 F, \& [' C+ j/ L按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    # l% y6 B0 o8 I0 h所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    3 ?4 A+ X# X; `9 K3 w具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均匀,从而折射率不均匀,影响成像。为了避免温差,必须让水快速流动混合,但又要避免产生漩涡或者析出气泡。水可以把所接触物品上的杂质洗下来,带到晶圆上,形成缺陷。当初ASML搞浸润式光刻机时,在浸液系统上与林本坚团队合作,方案修改了7-8回,耗时两年多才取得满意的结果。

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    38#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:59:49 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 20:02 编辑 3 k0 W* P9 _/ M# e
    沉宝 发表于 2024-9-16 19:439 @. g0 t. v9 U& ]
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均 ...
    8 T3 q% u5 {0 O: z
    4 Y" _. v/ i4 a7 U6 {/ }
    这当然不容易,不过两年挺快啦,看看牙膏的10nm……
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    39#
     楼主| 发表于 2024-9-17 12:01:58 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:40
    , E1 m4 v7 J1 G0 o/ l0 O; t都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了? ...

    5 m4 n3 j2 C; i! K不知道啦,也许是隐晦放风的说法。
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    40#
    发表于 2024-9-17 17:38:39 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13
    1 c4 {4 d) d1 [, e# Z! x8 U这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。 ...

    # K8 \9 N; W, t中国大,各地方人气质不一,各擅胜场。精细活儿江南地方超过东北山东。如此说来,韩国近东北山东,台湾精英是江浙后代。
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