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[科普知识] 国产光刻机猜测

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  • TA的每日心情
    慵懒
    2022-8-27 22:14
  • 签到天数: 351 天

    [LV.8]合体

    21#
    发表于 2024-9-17 08:06:46 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 14:00" m/ S5 S* i3 n; Y, m1 D! h
    也就是说,即使28nm现在还有光刻机瓶颈,其他也都就绪、只欠东风了。这是好事!% z; @. u) {0 Y. g+ \! F+ R
    6 o; s* x- h$ L) _: H" l7 Q
    个人感觉:相比于前一阵 ...
    0 q0 ~/ P' {& n1 t" z
    ( E. U# D" Q" z* o
    这就要西方好好领教什么叫产能过剩了。
    3 z9 @) _; R5 x
    应该会在5年内实现吧。, R$ A. b; w. X1 [# j2 ?8 f
    " U- \# |( B9 d5 t& ]( G, |) }1 C: }
    微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)0 \6 }, M- S5 i8 ?. Q( C
    24-9-16 23:55" _* }9 K* w$ q' {- p. I0 c
    发布于 湖南, w6 Q: i& e  A, O9 N
    来自 微博网页版
    ( Z# ]; U+ ?* m  F+ Y3 o4 Q啊,说过很多次了,#光刻机# 不是挖机
    8 C# k: r. M: o1 k不是运过来就能直接开工的。& a* f- p$ |% @- V  |6 T, |
    他需要调试,需要不断的用,一边用一边调整,等光学畸变稳定——你可以理解为拷机或者汽车发动热机暖机。
    , m( Y# c8 ^- C) U; b
    4 K4 ^: ?- N& K- ^8 r6 H这个时间很长,也是我常年说:
    * q5 H1 @9 M5 r9 _, w" e1 U. h就算今天ASML传送一台EUV给咱,我们拿到第一批量产的芯片流片完(无论7nm,5nm还是多少)起码2年后——这最乐观的2年时间,还得是对EUV非常有经验的顶级工程师来操作优化。
    6 Y5 q! C# H4 w4 G. N' \
    - T! }  ?# }3 ]; B! q) R现在发布的这台机器是起码3年前就验收了(科工),现在工信部验收推广(产业链),成熟得不行了才拿出来的。你需要,给钱就有,不限量。# k2 X* ^7 A9 U) `2 z* Z) G
    6 y0 n$ C0 X# V  u/ y
    简单理解就是——这机子是干式光刻机,做的是65-55nm的芯片,一次曝光。
    0 n+ `, e; Q- T, I- P1 T0 L0 K干式光刻机没啥意义,为什么呢?因为改进之后的也可以出产低制程的,向下兼容并且良率更高(成本低方案成熟)# v* h3 |; E1 E9 a8 v( b
    多重曝光也不是这哥们来做……(我是不清楚干式光刻机有没人搞这个)' v/ R  J0 j% \. S8 w+ m
    但这玩意的光路设计啥的,是成型了的。有了它,就加浸没式透镜,修改物镜,最终成品是目前没有验收但肯定存在某个地方的浸没式光刻机,但起码上线了2年了
    ; H, K: p% }+ N0 L4 ^
    ' |- ^1 `0 R; \& M$ {2 |- h5 }" K没公布的那个肯定还在不断的调试,修改,更换国产配件。
    2 ?! ?$ W( c  |普通人不用管光刻机啥情况——你就看最终产品就是。
    7 u3 z2 T0 s5 K# C! P$ c#华为mate70# 也没多久了。
    / y- P% h! S& V% k' t' J4 \

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    这真是极好的: 5.0
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      发表于 2024-9-18 15:38
    给力: 5 涨姿势: 5 这真是极好的: 5
      发表于 2024-9-17 08:38
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    22#
     楼主| 发表于 2024-9-17 08:15:36 | 只看该作者
    老财迷 发表于 2024-9-16 16:068 ~! B+ }/ `2 r
    应该会在5年内实现吧。* |. \! S. I1 V! z) Y1 F
    + o6 }1 l* W& v% W
    微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    : \' Q0 [" Z1 Y7 s4 G- k: V. ^

    , i- a  f# p7 ]' Z这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

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    油菜: 5 给力: 5
    以你说的为准 :)  发表于 2024-9-17 15:27

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    23#
    发表于 2024-9-17 08:39:20 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 18:15# O0 |- r' ~! t7 ^9 W+ k' u
    这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

    6 Z' |/ T% x! z4 U8 p但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    24#
     楼主| 发表于 2024-9-17 10:54:17 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 18:56 编辑
    . O: \, J1 `3 q  u- M# p
    晨枫 发表于 2024-9-16 16:39
    8 ~) o6 z8 r" q" Q但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
    9 E* ?% a+ i7 W* U9 V* y! t9 \
    ; v$ D9 n  L; r) C+ V1 c1 t
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    % W: l$ z0 @/ `$ E0 n8 H3 {" ~所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述

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    25#
    发表于 2024-9-17 11:08:25 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 03:34
    ! L0 r& _0 W( e* ~* D不过EUV制作7nm可以轻易一次曝光,产率和良率应该提高很多?
    1 q9 l7 B7 x  s5 m7 t  M0 a
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积电用193nm光刻机率先量产7nm,三星则以更先进的EUV光刻机应战,由于对新型光刻机的熟悉不足,结果良率低下,很多人抛弃三星。最后三星赔本赚吆喝,开出比台积电低30%的代工费用,才勉强留下大客户。

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      发表于 2024-9-17 15:28

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    26#
    发表于 2024-9-17 11:13:01 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54
    4 A8 V; W, ~1 T1 C2 R* h按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定0 B& C/ P+ a9 T+ U2 t5 k1 s
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    7 C: C7 m9 j- O* @6 s2 m- V5 _0 Y- f
    有道理。+ O2 l- A/ a! N+ q" h9 R: u
    5 F7 N& d3 h" h5 }
    不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资吊着。不退场,但也不全力以赴。
    + e: P% A, J( s
    5 Q+ _  n" z6 I中国肯定是全力以赴的。而且倾国之力肯定大于尼康、佳能。( m- D: O- j, Z- M' l* O
    & q  L- G2 H1 D% ]2 B
    这会有差别吗?
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    27#
    发表于 2024-9-17 11:13:37 | 只看该作者
    沉宝 发表于 2024-9-16 21:08( ?$ x( D1 {. k) P$ x
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积 ...

    0 U9 t6 n5 n. P2 O  n这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。
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    28#
    发表于 2024-9-17 11:19:08 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54; E( h% b8 Q3 P" ~. L7 J! a; O
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    : W+ Q! U" P8 {所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    " W( i& o; D* y6 h4 U9 p还没搞定? / ~+ x% c/ I4 C3 D5 S5 \
    我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的系统。我在的小破公司搭了一个,然后过去一起做,看能不能用。那个时候估计还是早期,这些基础的问题都没个数。做了几个实验,证明可以捕捉到微气泡发生,成长和运动的轨迹,我就撤了。这都十五年过去了。
    5 a# V3 j8 N) B# ~9 @尼康那时候已经有点不灵的迹象,食堂里面睡满了安装队的人。正常的话那些人都是满世界跑给别人装机器的。
    ( m! l6 K# ~8 |5 m, u) L

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    坛里藏龙卧虎啊  发表于 2024-9-17 15:31

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    唐家山 + 4 伙呆了
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    29#
    发表于 2024-9-17 11:21:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54* D: I  i9 p6 ^: w& ?6 D' I$ l
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    : r- D/ E7 ^! i1 x! D) F所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    ; J2 Q/ ]* [9 ]9 y4 ~3 I# @6 @3 @
    突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NAND也被卡了,因为光刻机的事,这说法准确吗?高端NAND需要多少nm节点的光刻机?
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    30#
    发表于 2024-9-17 11:23:33 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13
    . [# M; R. b5 o5 O0 K: Z: I% R有道理。
    % Y- K4 v0 k4 e8 N  d: w/ W6 ~5 C& |* F, h$ s
    不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资 ...
    8 d/ Y2 @' k, R" M, V/ X
    可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞哪张嘴里。
    $ q/ b' s) Y& l, v很多年前日本媒体评价日本财政用了很形象的词,叫硬直化。所有的钱都有定好的用处,几乎没有活动钱。需要财政支持的时候十分狼狈。该做的事情做不了,钱全都拿去维持日常运转了。

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      发表于 2024-9-17 15:32

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    开心
    2023-2-8 04:51
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    31#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:28:54 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 19:33 编辑
    1 p5 j* M, H# L( L
    雷声 发表于 2024-9-16 19:19
    7 B; c, O5 l; _/ {- r$ ^还没搞定? % e! Y' d7 L# r; k: Z
    我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的 ...

    0 i! E8 M! A/ z2 u
    ! J& G; I6 @8 a  m+ ~% GNikon是稳定性不行,被牙膏退货后就没人再买。疫情前去开spie的会,Nikon还吹牛自己行了,但主流客户没人用。& }% z& O: Q+ N' o/ O
    有网上谣言说华为买了些Nikon自己魔改做出了9100…俺比较怀疑真实性。
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    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    32#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:31:01 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:211 j0 r% D; j" ~) T
    突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NA ...
    ' Y. n0 ]+ L, g7 l! B$ L
    存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。
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    33#
    发表于 2024-9-17 11:34:00 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:31  K: ?$ v. T" N7 e$ l; W" |# l
    存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。 ...

    6 Q, y/ j; s. U! m  p) H7 q9 f需要用到浸润DUV吗?
    7 B; ~! e  [1 a3 d. b9 Z" q3 ^- G5 w7 `+ k' S8 S9 L; V3 h
    我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    34#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:37:50 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:343 F8 A3 q4 ^% I5 v& T
    需要用到浸润DUV吗?( V; i# g" r# P) ^$ l
    + O* d7 O" ?7 k& U% m
    我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗? ...

    * ^, }* b% p7 S9 S. j* m- w/ _浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。
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    35#
    发表于 2024-9-17 11:38:06 | 只看该作者
    雷声 发表于 2024-9-16 21:23
    3 |; c7 D3 y  M4 n3 j5 T6 Q可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞 ...
    ) G& m: v9 c9 f$ j
    是的,需要钱的地方太多,但光刻机和芯片可能是不计代价砸钱的方向,优先级比谁都高。这个瓶颈突破后,不只是军事、科技上的阳关道,经济上也是大片的处女地啊。
    : o5 [$ L+ S5 L* F8 e5 p/ E2 ^* c
    硬直化很形象。确实,西方家大业大,花钱手笔也大,但每一笔钱都预定了用处,活动余地真心很小。你看看美国在预算削减时那个鸡飞狗跳,就知道真是谁都动不得。“平均剃头”是公认的最坏选择,但是唯一大家可接受的选择。
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    36#
    发表于 2024-9-17 11:40:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:37( |( |2 k) y; i- K. ^
    浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。 ...
      V5 u% R/ ?* V4 c
    都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了?
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    37#
    发表于 2024-9-17 11:43:29 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54
      x% J( F/ A$ `按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定4 m% {" U. u# q! u* g1 _: J
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    4 W3 i, @) _2 J5 P
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均匀,从而折射率不均匀,影响成像。为了避免温差,必须让水快速流动混合,但又要避免产生漩涡或者析出气泡。水可以把所接触物品上的杂质洗下来,带到晶圆上,形成缺陷。当初ASML搞浸润式光刻机时,在浸液系统上与林本坚团队合作,方案修改了7-8回,耗时两年多才取得满意的结果。

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    38#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:59:49 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 20:02 编辑
    0 @& M1 g2 c& j: c: H! I! M1 Z4 X6 C
    沉宝 发表于 2024-9-16 19:438 q  y& x+ Z5 |% v/ T/ R$ v
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均 ...

    / v$ u3 h7 H0 `6 v9 w. u  l) ]+ g' I! ?+ b% a7 `
    这当然不容易,不过两年挺快啦,看看牙膏的10nm……
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    39#
     楼主| 发表于 2024-9-17 12:01:58 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:40
    - e" B: r6 V: C' V0 ~- F. c都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了? ...
    0 p8 Q8 C+ W+ Z5 q# ~, @
    不知道啦,也许是隐晦放风的说法。
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    40#
    发表于 2024-9-17 17:38:39 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13) f% N" R' [, a. ^) E
    这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。 ...

    , u6 _3 X: z7 c" z2 a, B" a  w  ?3 H# W中国大,各地方人气质不一,各擅胜场。精细活儿江南地方超过东北山东。如此说来,韩国近东北山东,台湾精英是江浙后代。
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