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[科普知识] 国产光刻机猜测

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  • TA的每日心情
    慵懒
    2022-8-27 22:14
  • 签到天数: 351 天

    [LV.8]合体

    21#
    发表于 2024-9-17 08:06:46 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 14:00
    1 V. E  D' `& ]9 D! T/ k0 {3 p也就是说,即使28nm现在还有光刻机瓶颈,其他也都就绪、只欠东风了。这是好事!
    1 `( b) I: `3 s) o" u* m/ l  q9 y8 c! ^3 o' X5 r
    个人感觉:相比于前一阵 ...

    ' ~) F% f  M- |- H8 Q3 k. t/ b2 T6 n
    这就要西方好好领教什么叫产能过剩了。

    * |/ h3 z! `+ N应该会在5年内实现吧。
    8 u8 g% D2 Q! O. ]+ q8 n7 I9 Y7 k4 Z: m& g1 g& _4 }$ q& c2 s
    微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    $ Z9 o2 B' K6 U/ }24-9-16 23:55  v$ m% I- ~" ^3 P- a8 a
    发布于 湖南4 v% d. E, w: X  e
    来自 微博网页版! t0 ~/ M' S/ a  ~, d  W5 G( T
    啊,说过很多次了,#光刻机# 不是挖机
    & n7 d7 J* h5 o2 F  i不是运过来就能直接开工的。
    5 ?$ o# |$ Z( U8 t# F他需要调试,需要不断的用,一边用一边调整,等光学畸变稳定——你可以理解为拷机或者汽车发动热机暖机。% L7 K; {8 m* h# U$ x
    8 w9 H4 X3 C7 F6 S% ^+ b, s( d
    这个时间很长,也是我常年说:7 b/ s. o! f, `9 e- t/ d
    就算今天ASML传送一台EUV给咱,我们拿到第一批量产的芯片流片完(无论7nm,5nm还是多少)起码2年后——这最乐观的2年时间,还得是对EUV非常有经验的顶级工程师来操作优化。
    8 ^# i2 V6 b; l
    + p: A: l% `9 D  `现在发布的这台机器是起码3年前就验收了(科工),现在工信部验收推广(产业链),成熟得不行了才拿出来的。你需要,给钱就有,不限量。
    % f1 m9 I  h% M. Q" o9 Q, m
    ! Y" [7 U7 J1 ]) X. ]! ~' r简单理解就是——这机子是干式光刻机,做的是65-55nm的芯片,一次曝光。
    ; C: ?$ G: G9 \2 Y/ f9 [; q+ p* o9 P/ |干式光刻机没啥意义,为什么呢?因为改进之后的也可以出产低制程的,向下兼容并且良率更高(成本低方案成熟)
    8 L' X$ I: M: i; s) r' |; E+ [: y多重曝光也不是这哥们来做……(我是不清楚干式光刻机有没人搞这个)7 L& ]2 C, _- O* v
    但这玩意的光路设计啥的,是成型了的。有了它,就加浸没式透镜,修改物镜,最终成品是目前没有验收但肯定存在某个地方的浸没式光刻机,但起码上线了2年了
    5 t9 x% _* I3 E: ?1 k* q* g8 l2 O
    ( X" @; n1 P2 S没公布的那个肯定还在不断的调试,修改,更换国产配件。
    % I2 A$ x7 o( z& u+ _: d: O1 j* y0 C普通人不用管光刻机啥情况——你就看最终产品就是。2 ~: D6 h1 }  ^1 }3 C/ ]. v+ F: h
    #华为mate70# 也没多久了。
    . L0 r* j% n0 S6 R

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    这真是极好的: 5.0
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      发表于 2024-9-18 15:38
    给力: 5 涨姿势: 5 这真是极好的: 5
      发表于 2024-9-17 08:38
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    22#
     楼主| 发表于 2024-9-17 08:15:36 | 只看该作者
    老财迷 发表于 2024-9-16 16:06" ~$ X+ m9 B* u% p4 |
    应该会在5年内实现吧。
    , ?) T, a: ^/ W, i" _. T& Y) c
    & Y& p( i  Y: V$ |微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)

    * ?. X) l/ s1 r# p3 W+ v
    ) j9 w$ [0 k( d5 f7 W/ ?2 A; L3 {& q. C: j这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

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    以你说的为准 :)  发表于 2024-9-17 15:27

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    23#
    发表于 2024-9-17 08:39:20 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 18:15
    4 g- h: X6 ?% _2 Y2 A/ q! c8 {! b这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。
    4 V" Q( m; H% O1 B
    但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    24#
     楼主| 发表于 2024-9-17 10:54:17 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 18:56 编辑
    $ \3 c+ _) B  I, O. o
    晨枫 发表于 2024-9-16 16:39
    0 y, F8 l( b; K: i* {# [: J但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?

    " j" Z! V# h' F2 p; X
    , U. z/ ]$ \" a/ a按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定& y: c/ H  D! ~! P: t
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述

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    25#
    发表于 2024-9-17 11:08:25 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 03:34
    ! K# T3 g! L: Y不过EUV制作7nm可以轻易一次曝光,产率和良率应该提高很多?

    8 Z. `+ g# H8 ?5 c% a理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积电用193nm光刻机率先量产7nm,三星则以更先进的EUV光刻机应战,由于对新型光刻机的熟悉不足,结果良率低下,很多人抛弃三星。最后三星赔本赚吆喝,开出比台积电低30%的代工费用,才勉强留下大客户。

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      发表于 2024-9-17 15:28

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    26#
    发表于 2024-9-17 11:13:01 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54
    4 A# x7 q/ l) k5 Q1 J按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定) Y" n. ^, t( j+ w! ~* h& t
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    5 j8 r2 f9 A% Z" S# z2 j2 B有道理。2 {3 x2 H: y' X3 f

    6 m  D5 ]+ g( _% @; L% z+ x不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资吊着。不退场,但也不全力以赴。
    4 }2 ?" d+ ~, J+ S5 ]+ b/ ]3 Z& i: ?. j9 U% \: X  \. D5 }
    中国肯定是全力以赴的。而且倾国之力肯定大于尼康、佳能。
    5 O" `- u0 k) i5 Z$ A8 ^
    ! ?2 A+ A) `6 d* X% {5 e这会有差别吗?
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    27#
    发表于 2024-9-17 11:13:37 | 只看该作者
    沉宝 发表于 2024-9-16 21:08. ^: T7 a) z9 W& Y3 J
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积 ...
    - B# h0 k, c6 H( P* Q( m0 G
    这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。
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    28#
    发表于 2024-9-17 11:19:08 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54
    / }8 U# z& \; t( v* Z6 A# H! M- N0 @按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定& O) w1 u4 {. f  r& F
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    0 G: L1 W' p; C' D& ~3 f还没搞定?
    . ~$ B; q+ k: c) _- V' v我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的系统。我在的小破公司搭了一个,然后过去一起做,看能不能用。那个时候估计还是早期,这些基础的问题都没个数。做了几个实验,证明可以捕捉到微气泡发生,成长和运动的轨迹,我就撤了。这都十五年过去了。
    ' N& P' e' y4 U+ j  O尼康那时候已经有点不灵的迹象,食堂里面睡满了安装队的人。正常的话那些人都是满世界跑给别人装机器的。8 w( D, h; o( J; S, H) h& _+ ~

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    坛里藏龙卧虎啊  发表于 2024-9-17 15:31

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    29#
    发表于 2024-9-17 11:21:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54
    $ b! c0 C( T" S! T5 v5 H$ ~! l按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    4 s6 ?, G1 @# n$ S0 Z所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

      b* ]* i, N1 R4 m突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NAND也被卡了,因为光刻机的事,这说法准确吗?高端NAND需要多少nm节点的光刻机?
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    30#
    发表于 2024-9-17 11:23:33 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13# H5 K# ]; j6 j2 c3 ~
    有道理。0 h$ M3 E( z) p3 b
    ) e" v$ g& n" r  ?) G7 h
    不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资 ...

    5 O+ D4 q8 c2 x3 M4 R可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞哪张嘴里。: \9 _- E* J( R- J( d) U$ `
    很多年前日本媒体评价日本财政用了很形象的词,叫硬直化。所有的钱都有定好的用处,几乎没有活动钱。需要财政支持的时候十分狼狈。该做的事情做不了,钱全都拿去维持日常运转了。

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      发表于 2024-9-17 15:32

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    开心
    2023-2-8 04:51
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    31#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:28:54 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 19:33 编辑
    6 ^4 \; ]4 S# ~  D
    雷声 发表于 2024-9-16 19:19' J- v7 m- u, D8 F9 j* w5 ?
    还没搞定?
    6 H7 Y2 J% e0 M# H3 A我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的 ...
    ( t: W' }( {& E; m9 G
    ( |9 R4 S; ?5 N; p. m$ }6 j
    Nikon是稳定性不行,被牙膏退货后就没人再买。疫情前去开spie的会,Nikon还吹牛自己行了,但主流客户没人用。
    : @+ h0 w1 E, u; g' t. d) v有网上谣言说华为买了些Nikon自己魔改做出了9100…俺比较怀疑真实性。
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    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    32#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:31:01 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:21- K" i! S" k* A  K7 J8 g3 b& u
    突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NA ...

    0 Q" U% J( M5 S存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。
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    33#
    发表于 2024-9-17 11:34:00 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:31$ h6 b! r7 f$ }. D2 H$ t
    存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。 ...
    * P( _/ o6 F4 p+ A% O9 W% y: }
    需要用到浸润DUV吗?# b2 N% j" W" ^& M" b

    4 P. e; E3 s* A* g9 s* y; z我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    34#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:37:50 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:34
    7 m% m4 P9 I; A3 g& h需要用到浸润DUV吗?
    ( y2 r  Q+ s* _3 c  }3 t( |
    & ^: Y+ p2 F  |& A' j3 |; {我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗? ...

    4 X% R" U0 m" x$ t0 k$ ^  _浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。
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    35#
    发表于 2024-9-17 11:38:06 | 只看该作者
    雷声 发表于 2024-9-16 21:231 a  h$ r1 O0 T" }1 d- F
    可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞 ...
    3 [* N2 _' t, w! y, |
    是的,需要钱的地方太多,但光刻机和芯片可能是不计代价砸钱的方向,优先级比谁都高。这个瓶颈突破后,不只是军事、科技上的阳关道,经济上也是大片的处女地啊。# y2 D" ?  u/ {- c1 Q/ M
    8 ]+ y# B8 t/ c% s1 l
    硬直化很形象。确实,西方家大业大,花钱手笔也大,但每一笔钱都预定了用处,活动余地真心很小。你看看美国在预算削减时那个鸡飞狗跳,就知道真是谁都动不得。“平均剃头”是公认的最坏选择,但是唯一大家可接受的选择。
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    36#
    发表于 2024-9-17 11:40:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:37
    ( Q, m# ^2 e; u4 j9 b, V浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。 ...
    0 C: U& Y  y3 v4 v/ j
    都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了?
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    37#
    发表于 2024-9-17 11:43:29 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54# k) c) q' t3 A
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    ! f. T. X* J  F0 l! t" b. f所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    $ |5 x+ ~0 ?; T) A9 X具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均匀,从而折射率不均匀,影响成像。为了避免温差,必须让水快速流动混合,但又要避免产生漩涡或者析出气泡。水可以把所接触物品上的杂质洗下来,带到晶圆上,形成缺陷。当初ASML搞浸润式光刻机时,在浸液系统上与林本坚团队合作,方案修改了7-8回,耗时两年多才取得满意的结果。

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    38#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:59:49 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 20:02 编辑
    ! C% x3 \/ H+ Z4 w2 W8 x
    沉宝 发表于 2024-9-16 19:43. ^/ p# J1 @' }( K
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均 ...

    $ o& Q7 t. O' A0 V% x; O( t7 O5 P9 w: P+ P' h+ e' v( [
    这当然不容易,不过两年挺快啦,看看牙膏的10nm……
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    39#
     楼主| 发表于 2024-9-17 12:01:58 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:40- S3 w. j9 \( [8 j0 G2 y9 ^
    都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了? ...
    , M* Z8 P5 u" C, _8 S0 d, T
    不知道啦,也许是隐晦放风的说法。
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    40#
    发表于 2024-9-17 17:38:39 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13
    ) c) [- s9 I% l# J6 Q" u3 E这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。 ...
    & N! l4 R: U1 c
    中国大,各地方人气质不一,各擅胜场。精细活儿江南地方超过东北山东。如此说来,韩国近东北山东,台湾精英是江浙后代。
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