设为首页收藏本站

爱吱声

 找回密码
 注册
搜索
楼主: moletronic
打印 上一主题 下一主题

[科普知识] 国产光刻机猜测

[复制链接]
  • TA的每日心情
    慵懒
    2022-8-27 22:14
  • 签到天数: 351 天

    [LV.8]合体

    21#
    发表于 2024-9-17 08:06:46 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 14:00
    7 c5 D: V1 A: w# A1 R也就是说,即使28nm现在还有光刻机瓶颈,其他也都就绪、只欠东风了。这是好事!& }. l1 V. @0 }! v/ K
    , M; R: w. `9 @# p
    个人感觉:相比于前一阵 ...
    ( h! j' L( g) I3 a

    4 j8 x" n3 N* P  e$ y
    这就要西方好好领教什么叫产能过剩了。

    - u2 ]) K0 U* L- `应该会在5年内实现吧。
    / K! |5 [4 J* w9 }2 A' M, Q* \3 l
    0 u: O2 c# ]' O$ c" H' _$ b微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)# _4 E  |$ N/ @. J& {
    24-9-16 23:55  [# H- S! p! q4 B
    发布于 湖南
    " P' q& D2 y" ]. |$ }2 @来自 微博网页版+ K! p- `/ ^, S8 X" ~4 p6 p
    啊,说过很多次了,#光刻机# 不是挖机3 L+ ?% Z' w7 u; U2 G
    不是运过来就能直接开工的。6 A* L1 W9 J! c  q# V0 P
    他需要调试,需要不断的用,一边用一边调整,等光学畸变稳定——你可以理解为拷机或者汽车发动热机暖机。+ w' ?% Y$ |0 E
    ' y# L7 ]; O; k0 k
    这个时间很长,也是我常年说:
    " ]& z* A( S) F& N就算今天ASML传送一台EUV给咱,我们拿到第一批量产的芯片流片完(无论7nm,5nm还是多少)起码2年后——这最乐观的2年时间,还得是对EUV非常有经验的顶级工程师来操作优化。: D' a! M7 E- F$ a
    ' a( Z1 s( G- M9 N/ K
    现在发布的这台机器是起码3年前就验收了(科工),现在工信部验收推广(产业链),成熟得不行了才拿出来的。你需要,给钱就有,不限量。& B* F) V8 g0 |! J, Y

    7 B1 j2 f% I8 D简单理解就是——这机子是干式光刻机,做的是65-55nm的芯片,一次曝光。
    8 h3 L2 C+ r4 |1 |/ w干式光刻机没啥意义,为什么呢?因为改进之后的也可以出产低制程的,向下兼容并且良率更高(成本低方案成熟)' f! Z/ s# X0 X6 l+ i
    多重曝光也不是这哥们来做……(我是不清楚干式光刻机有没人搞这个)
    . W7 V: s! M8 W7 q) |8 |但这玩意的光路设计啥的,是成型了的。有了它,就加浸没式透镜,修改物镜,最终成品是目前没有验收但肯定存在某个地方的浸没式光刻机,但起码上线了2年了
    1 f- y3 e- t6 t4 \8 d7 u
    + r) J. Z! t( S7 D* u- Z没公布的那个肯定还在不断的调试,修改,更换国产配件。
    . t; c8 M7 @2 \- ~! O  X' r普通人不用管光刻机啥情况——你就看最终产品就是。
    - p/ ^4 j6 T; G; t# [4 k0 F" p#华为mate70# 也没多久了。
    9 U! V( C5 L( `/ S) Y. z2 x! `* A
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    22#
     楼主| 发表于 2024-9-17 08:15:36 | 只看该作者
    老财迷 发表于 2024-9-16 16:06# H- }6 r6 n2 [% D- @" g+ ?" s
    应该会在5年内实现吧。" ^/ d0 c; x8 ^) v1 `8 |! W

    0 X3 x/ `. m0 |微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    5 q& K- w8 n& U3 e! s
    4 K/ _4 H$ f2 S: ~# s! d2 P
    这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

    点评

    油菜: 5.0 给力: 5.0
    油菜: 5 给力: 5
    以你说的为准 :)  发表于 2024-9-17 15:27

    评分

    参与人数 1爱元 +8 收起 理由
    老财迷 + 8

    查看全部评分

    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    23#
    发表于 2024-9-17 08:39:20 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 18:15* h+ [( V' i- V8 B' e3 [
    这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

    : V  b  |5 w" N5 }但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    24#
     楼主| 发表于 2024-9-17 10:54:17 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 18:56 编辑
    2 j/ S! p" u& n' G: I
    晨枫 发表于 2024-9-16 16:39) _% r$ r! S2 t% Z( k1 M
    但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
    0 x' _, S6 e% ~3 S8 \

    1 y# M7 U, T8 p9 n% Q- R按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定! C7 G( z8 [" R, n- w! y" |4 T
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述

    评分

    参与人数 2爱元 +18 学识 +2 收起 理由
    老票 + 10 + 2 给力
    老财迷 + 8 涨姿势

    查看全部评分

    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    25#
    发表于 2024-9-17 11:08:25 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 03:347 ]) m2 s% k/ `3 B0 Y" L; t1 E$ X+ ^
    不过EUV制作7nm可以轻易一次曝光,产率和良率应该提高很多?

    2 `+ W! m+ e1 @& C( ~/ _/ }理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积电用193nm光刻机率先量产7nm,三星则以更先进的EUV光刻机应战,由于对新型光刻机的熟悉不足,结果良率低下,很多人抛弃三星。最后三星赔本赚吆喝,开出比台积电低30%的代工费用,才勉强留下大客户。

    点评

    油菜: 5.0 涨姿势: 5.0
    油菜: 5 涨姿势: 5
      发表于 2024-9-17 15:28

    评分

    参与人数 1爱元 +8 收起 理由
    老财迷 + 8

    查看全部评分

    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    26#
    发表于 2024-9-17 11:13:01 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54. n0 N& d, r/ _  h
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    2 m7 m0 X& z! F# w& L) J所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    7 j& H( W) D7 d: K3 u+ v/ @: w有道理。! s1 ^+ ]# w3 y. B

    " M$ ^; b" g2 r' M不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资吊着。不退场,但也不全力以赴。" ?, }- T7 N8 T9 l

    3 O* b( Z% G* U* M" j7 s: @+ s中国肯定是全力以赴的。而且倾国之力肯定大于尼康、佳能。& J% ^6 U( ^5 j7 s0 H6 y3 V+ ^2 D
    0 h# x. l9 ]% J
    这会有差别吗?
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    27#
    发表于 2024-9-17 11:13:37 | 只看该作者
    沉宝 发表于 2024-9-16 21:08
    $ `: l" s* ?- |7 X- A- k% v1 p理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积 ...

    6 J" U3 [% u$ k- t( Z& l这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    28#
    发表于 2024-9-17 11:19:08 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:549 _1 h4 l+ j. s: b8 l/ r* @
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    $ u2 G( {; ?, K/ k2 X6 `8 P- @所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    % g: l6 ~; }! I3 h  a还没搞定?
    + d3 a0 G7 g) b3 g" n3 b: a我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的系统。我在的小破公司搭了一个,然后过去一起做,看能不能用。那个时候估计还是早期,这些基础的问题都没个数。做了几个实验,证明可以捕捉到微气泡发生,成长和运动的轨迹,我就撤了。这都十五年过去了。
    2 T6 u6 i( w$ P5 g% k! M! ^+ q尼康那时候已经有点不灵的迹象,食堂里面睡满了安装队的人。正常的话那些人都是满世界跑给别人装机器的。
    3 V7 K7 ^! q+ O6 l

    点评

    油菜: 5.0 给力: 0.0
    涨姿势: 5.0
    油菜: 5 给力: 0 涨姿势: 5
    坛里藏龙卧虎啊  发表于 2024-9-17 15:31

    评分

    参与人数 3爱元 +22 学识 +2 收起 理由
    老票 + 10 + 2 涨姿势
    唐家山 + 4 伙呆了
    老财迷 + 8

    查看全部评分

    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    29#
    发表于 2024-9-17 11:21:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:540 f8 B( e' b) m3 F0 `
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定  {" A& I% c- _5 S$ C
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    ) k* S0 v8 }( Z  c
    突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NAND也被卡了,因为光刻机的事,这说法准确吗?高端NAND需要多少nm节点的光刻机?
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    30#
    发表于 2024-9-17 11:23:33 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:131 @# V+ `  y+ g8 b" D' Q
    有道理。+ r; A5 M3 X' p, B4 O

    * `, D$ P, y- D# t不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资 ...
    $ L" s- j) x6 m- i3 d
    可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞哪张嘴里。4 c' x6 j& Q" g+ @! s" D4 L
    很多年前日本媒体评价日本财政用了很形象的词,叫硬直化。所有的钱都有定好的用处,几乎没有活动钱。需要财政支持的时候十分狼狈。该做的事情做不了,钱全都拿去维持日常运转了。

    点评

    油菜: 5.0 涨姿势: 5.0
    油菜: 5 涨姿势: 5
      发表于 2024-9-17 15:32

    评分

    参与人数 1爱元 +4 收起 理由
    老财迷 + 4

    查看全部评分

    回复 支持 反对

    使用道具 举报

  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    31#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:28:54 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 19:33 编辑 9 b0 h' f/ g5 _2 O5 T, k
    雷声 发表于 2024-9-16 19:19; q7 n! h& N2 }) E9 m! _0 r8 c
    还没搞定? # b+ h- f7 j4 Z" A: g
    我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的 ...
    3 F1 h4 c) i: S/ t* e% o3 D; D

    8 m) }# R4 s$ Z+ RNikon是稳定性不行,被牙膏退货后就没人再买。疫情前去开spie的会,Nikon还吹牛自己行了,但主流客户没人用。
    3 I% `: O; b  p- C9 r& x" V有网上谣言说华为买了些Nikon自己魔改做出了9100…俺比较怀疑真实性。
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    32#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:31:01 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:214 h$ q; C6 @4 ]4 y4 x) P& m
    突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NA ...
    . {( s  L- d4 J9 U6 {8 s
    存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    33#
    发表于 2024-9-17 11:34:00 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:31( U$ [* Y: N+ S- Q% ?) Q
    存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。 ...

    # Q4 H! I# }- T" o  {需要用到浸润DUV吗?
    / s/ V3 V# a$ ^/ x; q3 R7 U/ C6 ~. X8 v  n
    我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗?
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    34#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:37:50 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:34- g, m& F. V; S  k3 A
    需要用到浸润DUV吗?
    $ T, F% [, ]+ z5 u# ~3 F& y3 W8 I
    8 G. R! ]- d+ K! `( l我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗? ...

    & w. p# N* ]. B+ T2 \+ X浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    35#
    发表于 2024-9-17 11:38:06 | 只看该作者
    雷声 发表于 2024-9-16 21:237 y( O  `: m3 |# e; h$ N% c- D
    可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞 ...
    $ o8 T; W9 N2 D5 H  b% B+ m* f  b; L  `
    是的,需要钱的地方太多,但光刻机和芯片可能是不计代价砸钱的方向,优先级比谁都高。这个瓶颈突破后,不只是军事、科技上的阳关道,经济上也是大片的处女地啊。
    . Q$ E& G6 Z! N$ `; Z$ U% M1 R5 Z* M$ Q
    2 T0 i, j8 X- T; B硬直化很形象。确实,西方家大业大,花钱手笔也大,但每一笔钱都预定了用处,活动余地真心很小。你看看美国在预算削减时那个鸡飞狗跳,就知道真是谁都动不得。“平均剃头”是公认的最坏选择,但是唯一大家可接受的选择。
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    36#
    发表于 2024-9-17 11:40:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:37
    ) {* v" V; r* ]: c' c1 e浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。 ...
    + h$ ^6 c( s, ]) b
    都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了?
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    37#
    发表于 2024-9-17 11:43:29 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:549 u, W. `) I  W; Y: T
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    9 Z6 u& H9 P4 m) R$ }所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    7 u, G3 g" K. u5 l4 r% r具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均匀,从而折射率不均匀,影响成像。为了避免温差,必须让水快速流动混合,但又要避免产生漩涡或者析出气泡。水可以把所接触物品上的杂质洗下来,带到晶圆上,形成缺陷。当初ASML搞浸润式光刻机时,在浸液系统上与林本坚团队合作,方案修改了7-8回,耗时两年多才取得满意的结果。

    评分

    参与人数 1爱元 +10 学识 +2 收起 理由
    老票 + 10 + 2 涨姿势

    查看全部评分

    回复 支持 反对

    使用道具 举报

  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    38#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:59:49 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 20:02 编辑 : H8 {4 Y3 J! S
    沉宝 发表于 2024-9-16 19:43
    * m& [) B$ K, C. }" b具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均 ...

    $ a0 `9 c$ v9 e4 U6 \% b5 g; e! W# d+ G5 l0 p
    这当然不容易,不过两年挺快啦,看看牙膏的10nm……
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    39#
     楼主| 发表于 2024-9-17 12:01:58 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:40
    " ~! V( v; C. b& t5 q+ h: j" d都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了? ...

    # Q5 p% \" v7 C$ ]3 z不知道啦,也许是隐晦放风的说法。
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    40#
    发表于 2024-9-17 17:38:39 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13
    : g# d0 E' C8 L) {0 Z4 e这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。 ...

    4 g5 I4 g" ^) s* B$ x% o中国大,各地方人气质不一,各擅胜场。精细活儿江南地方超过东北山东。如此说来,韩国近东北山东,台湾精英是江浙后代。
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    手机版|小黑屋|Archiver|网站错误报告|爱吱声   

    GMT+8, 2025-12-5 04:10 , Processed in 0.044598 second(s), 25 queries , Gzip On.

    Powered by Discuz! X3.2

    © 2001-2013 Comsenz Inc.

    快速回复 返回顶部 返回列表