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楼主: moletronic
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[科普知识] 国产光刻机猜测

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  • TA的每日心情
    慵懒
    2022-8-27 22:14
  • 签到天数: 351 天

    [LV.8]合体

    21#
    发表于 2024-9-17 08:06:46 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 14:00
    ) n+ t( ]8 r& h9 X4 L也就是说,即使28nm现在还有光刻机瓶颈,其他也都就绪、只欠东风了。这是好事!
    / B4 P9 ?) f- _* N: b8 r
    5 ^" a  }& G# k个人感觉:相比于前一阵 ...

    / X9 r$ y+ O8 a0 _4 j( x6 Z& t2 C# b
    这就要西方好好领教什么叫产能过剩了。
    * Q3 z: F* _* L/ @* y' u9 `7 {3 V
    应该会在5年内实现吧。
    9 k" A1 x# N, P
    " R0 }0 B! E, z4 Q微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    " k, j. r3 p+ G, A, n/ @24-9-16 23:55
      O0 h0 u' r, x7 n; g. i发布于 湖南
    ' j+ c8 j1 M2 }: [: L来自 微博网页版
    ' m) u; M7 C' |/ c啊,说过很多次了,#光刻机# 不是挖机% r: |6 l) c$ Z$ j, M
    不是运过来就能直接开工的。6 E8 b& e8 c2 d/ A
    他需要调试,需要不断的用,一边用一边调整,等光学畸变稳定——你可以理解为拷机或者汽车发动热机暖机。$ d$ F8 L- m) [

    / e& A! x& a/ B/ P2 m6 H  k8 _这个时间很长,也是我常年说:
    5 w; U6 R3 g  H* P9 i8 K! L$ @就算今天ASML传送一台EUV给咱,我们拿到第一批量产的芯片流片完(无论7nm,5nm还是多少)起码2年后——这最乐观的2年时间,还得是对EUV非常有经验的顶级工程师来操作优化。
    2 L- D7 Y' h* k4 E4 `) i. N( ^& S. R0 P- d" M; r  N
    现在发布的这台机器是起码3年前就验收了(科工),现在工信部验收推广(产业链),成熟得不行了才拿出来的。你需要,给钱就有,不限量。
    * O3 ?2 c* l$ J7 t7 B5 ^: Q* p6 q$ W
    简单理解就是——这机子是干式光刻机,做的是65-55nm的芯片,一次曝光。
    $ H2 F9 L9 W) h& E3 C% h. Y: S干式光刻机没啥意义,为什么呢?因为改进之后的也可以出产低制程的,向下兼容并且良率更高(成本低方案成熟)
    . z1 G6 x+ d) j' t) D' U多重曝光也不是这哥们来做……(我是不清楚干式光刻机有没人搞这个)
    " |/ F8 D4 H9 w5 A9 B7 v但这玩意的光路设计啥的,是成型了的。有了它,就加浸没式透镜,修改物镜,最终成品是目前没有验收但肯定存在某个地方的浸没式光刻机,但起码上线了2年了) T; ?6 _$ \/ Q* }" E* U
    1 q& Z) v- K# z( z1 A* Z" s, L
    没公布的那个肯定还在不断的调试,修改,更换国产配件。
    & |2 G, G+ Q1 y2 C( F  K普通人不用管光刻机啥情况——你就看最终产品就是。/ M, H# \) d$ F$ z7 k* _- c9 u: x
    #华为mate70# 也没多久了。
    ; M# e4 p; w3 }$ ~, e/ j; ~' s

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    这真是极好的: 5.0
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      发表于 2024-9-18 15:38
    给力: 5 涨姿势: 5 这真是极好的: 5
      发表于 2024-9-17 08:38
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    22#
     楼主| 发表于 2024-9-17 08:15:36 | 只看该作者
    老财迷 发表于 2024-9-16 16:06$ Q$ W3 E7 @. m5 o7 x3 o# o6 ]
    应该会在5年内实现吧。& M1 V1 \( ]3 y0 t' W
    " L/ |3 n; V9 L6 G
    微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    4 B( O3 D0 i6 }0 G4 L" r

      x, o  F4 m6 _; [" r; G这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

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    以你说的为准 :)  发表于 2024-9-17 15:27

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    23#
    发表于 2024-9-17 08:39:20 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 18:15. m1 a& \9 x- {4 R7 Q
    这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。
    0 c4 X! K4 Q0 {8 E; m( m& _& i6 B# S
    但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    24#
     楼主| 发表于 2024-9-17 10:54:17 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 18:56 编辑 1 m# ]0 ^. b6 g) n& @3 S
    晨枫 发表于 2024-9-16 16:399 J+ E4 F) H, I, \/ j- a4 }9 B
    但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?

    ! M" P, T. `+ u* B8 u3 O5 d+ K3 Q+ A, r
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定) ?8 ~* h3 g# _* B6 W; N, g
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述

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    25#
    发表于 2024-9-17 11:08:25 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 03:344 [( b/ n. S% g# q; g2 H9 N/ _
    不过EUV制作7nm可以轻易一次曝光,产率和良率应该提高很多?

    9 K) `5 P; I5 H2 l1 H' A理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积电用193nm光刻机率先量产7nm,三星则以更先进的EUV光刻机应战,由于对新型光刻机的熟悉不足,结果良率低下,很多人抛弃三星。最后三星赔本赚吆喝,开出比台积电低30%的代工费用,才勉强留下大客户。

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      发表于 2024-9-17 15:28

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    26#
    发表于 2024-9-17 11:13:01 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54
    " R/ Y# j8 S4 x; U' P$ o2 c7 d按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    4 Y: R; H( q7 u" ?所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    . q* D. y1 ^8 G/ }- e
    有道理。) A3 b" o1 ?6 P) N' _+ z4 \

    * h) V. u8 N2 Z/ F/ L; s不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资吊着。不退场,但也不全力以赴。
    ( r: V* |! U# p4 D
    % I7 h; @  n8 u, z  ]/ ^0 w& ~' {- g中国肯定是全力以赴的。而且倾国之力肯定大于尼康、佳能。: f1 i2 j* ^8 ^3 M0 Y. ]1 k
    # L* ~$ X- Y, K% z1 q7 K4 F
    这会有差别吗?
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    27#
    发表于 2024-9-17 11:13:37 | 只看该作者
    沉宝 发表于 2024-9-16 21:08
    ! l6 E1 h# X; E3 @, y7 c理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积 ...

    - z2 \# `8 N0 O$ H- M/ ^+ r( J这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。
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    28#
    发表于 2024-9-17 11:19:08 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54
      h: f2 ?* q2 I+ v4 o2 f按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定% J) P* W; l+ z! S% A/ k7 z8 H
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    1 X1 n+ x2 v& H0 ~' t还没搞定?
    " P+ L% ~1 x7 A3 T! q3 |# ~  x我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的系统。我在的小破公司搭了一个,然后过去一起做,看能不能用。那个时候估计还是早期,这些基础的问题都没个数。做了几个实验,证明可以捕捉到微气泡发生,成长和运动的轨迹,我就撤了。这都十五年过去了。
    + B$ J% I/ B: f/ y" q2 O( e尼康那时候已经有点不灵的迹象,食堂里面睡满了安装队的人。正常的话那些人都是满世界跑给别人装机器的。
    $ g4 _6 f8 |6 e! |  R; t, g( X- R  H

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    坛里藏龙卧虎啊  发表于 2024-9-17 15:31

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    29#
    发表于 2024-9-17 11:21:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54. x' z/ U- L. h: |/ S6 f
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    ' h" h; C3 I3 v; g" W, r所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    # D5 b: c* n  h: y! j突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NAND也被卡了,因为光刻机的事,这说法准确吗?高端NAND需要多少nm节点的光刻机?
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    30#
    发表于 2024-9-17 11:23:33 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13
    4 t# N$ e* v- W2 m! x有道理。
    7 M! k( n2 P$ d4 k  W; M$ Q& Q2 n* R  Q7 O  g: ]' X0 q' a
    不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资 ...

    8 L- X* G2 t" u2 z可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞哪张嘴里。1 i) n" ~3 ^; N6 L& B! G
    很多年前日本媒体评价日本财政用了很形象的词,叫硬直化。所有的钱都有定好的用处,几乎没有活动钱。需要财政支持的时候十分狼狈。该做的事情做不了,钱全都拿去维持日常运转了。

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      发表于 2024-9-17 15:32

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    开心
    2023-2-8 04:51
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    31#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:28:54 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 19:33 编辑 6 [! G  k  V* u3 A) ^8 B
    雷声 发表于 2024-9-16 19:193 U! x! {) O5 `5 s
    还没搞定? & o. N* N. U/ x. l/ d2 y) `
    我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的 ...

    . t( O- [0 F# Z: z1 i; K) b
    $ `5 l. e3 Z: @$ ]6 g3 VNikon是稳定性不行,被牙膏退货后就没人再买。疫情前去开spie的会,Nikon还吹牛自己行了,但主流客户没人用。1 H' Y) R  W; q- s# M  k
    有网上谣言说华为买了些Nikon自己魔改做出了9100…俺比较怀疑真实性。
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    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    32#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:31:01 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:21% c+ D* Q( ?! ]/ u$ P& L
    突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NA ...
    ; o, f: ?, ]" u8 g# x# P$ h' f
    存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。
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    33#
    发表于 2024-9-17 11:34:00 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:31
    3 F4 |1 D$ i' {! z, ]% x1 t, I存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。 ...
    , N/ ]7 u: n! c' R& [- m2 h9 e
    需要用到浸润DUV吗?7 A9 E% z! k7 e4 O

    7 Q/ G3 j8 ?0 L+ p$ t8 ^- x2 c9 Q我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    34#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:37:50 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:34$ R3 l, p; L6 ]; C% K, v
    需要用到浸润DUV吗?. {8 b" R1 O& V/ \* _3 v1 _6 F

    0 h! Q2 ~; [& U! t' t7 P1 Y我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗? ...

    : S3 Y$ [, [1 G" L& R浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。
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    该用户从未签到

    35#
    发表于 2024-9-17 11:38:06 | 只看该作者
    雷声 发表于 2024-9-16 21:23
    4 y' H& j  Q, N$ ?5 w可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞 ...

    ' \( x8 ]! t! h+ ]* z是的,需要钱的地方太多,但光刻机和芯片可能是不计代价砸钱的方向,优先级比谁都高。这个瓶颈突破后,不只是军事、科技上的阳关道,经济上也是大片的处女地啊。
    ) b/ e2 c2 l) s0 ^
    7 w, I  M) ]- L. e. M硬直化很形象。确实,西方家大业大,花钱手笔也大,但每一笔钱都预定了用处,活动余地真心很小。你看看美国在预算削减时那个鸡飞狗跳,就知道真是谁都动不得。“平均剃头”是公认的最坏选择,但是唯一大家可接受的选择。
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    36#
    发表于 2024-9-17 11:40:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:37* b: N$ d& \7 @- i+ R
    浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。 ...

    ( R" V7 y$ s" f5 S" U4 p都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了?
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    37#
    发表于 2024-9-17 11:43:29 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54
    1 B+ h7 n% l8 o+ o4 r* p按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    7 z. n; ]* H/ K: Z" i所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    - f( C9 [2 ~8 W! ^5 c9 j
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均匀,从而折射率不均匀,影响成像。为了避免温差,必须让水快速流动混合,但又要避免产生漩涡或者析出气泡。水可以把所接触物品上的杂质洗下来,带到晶圆上,形成缺陷。当初ASML搞浸润式光刻机时,在浸液系统上与林本坚团队合作,方案修改了7-8回,耗时两年多才取得满意的结果。

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    38#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:59:49 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 20:02 编辑
    7 o6 D) k: {% H7 ^
    沉宝 发表于 2024-9-16 19:43
    + s0 P7 G2 R' ]. e3 ?# W具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均 ...

    . m4 b& d& x) k; `& X6 S' x9 F# [/ k7 P$ k. q  q
    这当然不容易,不过两年挺快啦,看看牙膏的10nm……
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    39#
     楼主| 发表于 2024-9-17 12:01:58 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:40
    ' b7 k6 D$ S1 p6 I# W都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了? ...
    0 x, m5 p( @, X, x0 e
    不知道啦,也许是隐晦放风的说法。
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    40#
    发表于 2024-9-17 17:38:39 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13' f" U* ^  I' k/ c3 Z" i  V( G
    这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。 ...

    , i, t4 \& v$ i4 e0 |' z中国大,各地方人气质不一,各擅胜场。精细活儿江南地方超过东北山东。如此说来,韩国近东北山东,台湾精英是江浙后代。
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