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[科普知识] 国产光刻机猜测

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  • TA的每日心情
    慵懒
    2022-8-27 22:14
  • 签到天数: 351 天

    [LV.8]合体

    21#
    发表于 2024-9-17 08:06:46 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 14:00) V  S2 z/ v- K9 h8 p
    也就是说,即使28nm现在还有光刻机瓶颈,其他也都就绪、只欠东风了。这是好事!8 G' s$ P# A$ H

    & e) u8 ~6 w* ?1 S8 y; i个人感觉:相比于前一阵 ...
    - q6 H! b; A! }. k7 L
    % |( Y( u: l. a! N6 w, N% N3 ~
    这就要西方好好领教什么叫产能过剩了。
    : |$ N3 m* U( q1 q4 y& Y
    应该会在5年内实现吧。* Z" N# R# `1 C) O' P, c8 r

    5 k7 z2 u( D3 R1 x+ L微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    + Z; @) U! h& L9 v( T24-9-16 23:55
    0 Y* L0 W  f& Z" F. N0 a# T发布于 湖南! n6 f) H5 I; P2 g
    来自 微博网页版
    * i# I& S, k. I6 ^啊,说过很多次了,#光刻机# 不是挖机
    ! Z" u' X: g9 S( o0 F1 d3 W不是运过来就能直接开工的。
    , G4 @4 d, ?# P6 w1 M5 h+ C他需要调试,需要不断的用,一边用一边调整,等光学畸变稳定——你可以理解为拷机或者汽车发动热机暖机。. z9 w6 i, o: D

    . H7 Z3 H; }2 ^4 D" ]4 [5 R这个时间很长,也是我常年说:
    8 C. a( S1 [; V; I3 w+ u就算今天ASML传送一台EUV给咱,我们拿到第一批量产的芯片流片完(无论7nm,5nm还是多少)起码2年后——这最乐观的2年时间,还得是对EUV非常有经验的顶级工程师来操作优化。
    # z# P/ W6 Z* j" ]+ _2 O; T, y
    3 E& X1 Q5 _3 h) k) `现在发布的这台机器是起码3年前就验收了(科工),现在工信部验收推广(产业链),成熟得不行了才拿出来的。你需要,给钱就有,不限量。1 y* `0 Q# }/ s8 U
    ( e$ o4 p$ h& s& V
    简单理解就是——这机子是干式光刻机,做的是65-55nm的芯片,一次曝光。
    2 l' }; c1 h& y+ i' i# n7 O; V8 g干式光刻机没啥意义,为什么呢?因为改进之后的也可以出产低制程的,向下兼容并且良率更高(成本低方案成熟)0 L0 S/ A/ X* Z. [% N6 _; d& H, x
    多重曝光也不是这哥们来做……(我是不清楚干式光刻机有没人搞这个)
    3 U3 @" `/ w$ X% k但这玩意的光路设计啥的,是成型了的。有了它,就加浸没式透镜,修改物镜,最终成品是目前没有验收但肯定存在某个地方的浸没式光刻机,但起码上线了2年了& l& I7 \- @# d1 e- ?7 X

    , H! ~2 k* m# W没公布的那个肯定还在不断的调试,修改,更换国产配件。6 ]3 O/ [1 b9 B" |  V
    普通人不用管光刻机啥情况——你就看最终产品就是。
    6 u9 t4 I: H$ z8 K# \: A. _#华为mate70# 也没多久了。
    " k" \0 a# p; X5 ^5 l" T

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    这真是极好的: 5.0
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      发表于 2024-9-18 15:38
    给力: 5 涨姿势: 5 这真是极好的: 5
      发表于 2024-9-17 08:38
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    22#
     楼主| 发表于 2024-9-17 08:15:36 | 只看该作者
    老财迷 发表于 2024-9-16 16:06; K! l! X& j$ J0 J
    应该会在5年内实现吧。
      Q5 ?+ e( W" D) j2 X4 N% x/ y$ e% Y7 ~( L' v
    微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    9 E3 f* j; h9 X1 @8 c' }; q
    # \  Y( M& o- B+ ], ?( F
    这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

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    以你说的为准 :)  发表于 2024-9-17 15:27

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    23#
    发表于 2024-9-17 08:39:20 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 18:15/ A+ o& w. X$ K1 Y1 [& c! Q
    这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

    8 Q- [8 X( H7 O9 O9 @- L. M但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    24#
     楼主| 发表于 2024-9-17 10:54:17 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 18:56 编辑
    1 y" y( G9 N4 Q3 z/ E9 d  W) Q$ R
    晨枫 发表于 2024-9-16 16:39
    " d1 l6 k5 P8 C/ Q但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?

    ' H4 e, n7 G' F7 a3 e" K( o7 `3 u
    1 R; `- i8 U0 O按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    - b2 U# H0 A$ O4 @; q/ C8 k7 }6 y5 c所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述

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    25#
    发表于 2024-9-17 11:08:25 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 03:34
    7 i$ Q: Z0 D! D不过EUV制作7nm可以轻易一次曝光,产率和良率应该提高很多?

    1 W/ ?" p& u! Y& l' \理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积电用193nm光刻机率先量产7nm,三星则以更先进的EUV光刻机应战,由于对新型光刻机的熟悉不足,结果良率低下,很多人抛弃三星。最后三星赔本赚吆喝,开出比台积电低30%的代工费用,才勉强留下大客户。

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      发表于 2024-9-17 15:28

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    26#
    发表于 2024-9-17 11:13:01 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54% E2 z8 k/ J- K/ b9 a
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定/ g, p6 z2 S4 T7 V6 [7 Q1 o- ^
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    * b8 w3 o, `4 j0 j& M9 ^: b6 R( o# |8 [有道理。4 e9 h- y8 m+ {  B' }* \

    1 r) `0 h! [% o* l" F' a' ]" o不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资吊着。不退场,但也不全力以赴。  ~2 {; Q  }) V$ s

    - H) H0 |# K8 @中国肯定是全力以赴的。而且倾国之力肯定大于尼康、佳能。! U4 }/ R) j; p1 t* o) L' t. W
    ) W  d% [" h* }
    这会有差别吗?
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    27#
    发表于 2024-9-17 11:13:37 | 只看该作者
    沉宝 发表于 2024-9-16 21:08
    0 D( U4 \/ P: {7 e/ F理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积 ...
    ( q# Q; V0 `. H. d
    这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。
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    28#
    发表于 2024-9-17 11:19:08 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54  F) k# k. p/ i+ V! N# |6 s& p' S
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定7 b4 i  J. V( R' {
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    " ~, @6 A! E9 M7 K1 Y) C. r还没搞定?
    3 g" G/ _4 v- ~4 I% l9 l: I我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的系统。我在的小破公司搭了一个,然后过去一起做,看能不能用。那个时候估计还是早期,这些基础的问题都没个数。做了几个实验,证明可以捕捉到微气泡发生,成长和运动的轨迹,我就撤了。这都十五年过去了。
    3 L$ ?: G; B% S( G尼康那时候已经有点不灵的迹象,食堂里面睡满了安装队的人。正常的话那些人都是满世界跑给别人装机器的。
    4 o/ Z' r4 t4 t* a2 Z

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    坛里藏龙卧虎啊  发表于 2024-9-17 15:31

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    29#
    发表于 2024-9-17 11:21:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54
    $ b$ h0 l2 ?  t, `+ d$ k按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定6 H# \1 a  w: m: n9 @7 E
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    - Y& M( G* \$ L. n) m突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NAND也被卡了,因为光刻机的事,这说法准确吗?高端NAND需要多少nm节点的光刻机?
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    30#
    发表于 2024-9-17 11:23:33 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13
    - ?4 |4 W$ Y2 Q% Y/ G5 I有道理。" T: A9 v5 T, {/ o1 A+ Z

    / c! C8 a$ E- k3 J  e不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资 ...
    1 k7 i$ u9 I1 z- o4 Z; W% Y" Y( v
    可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞哪张嘴里。
    7 @& V( Y4 D8 G很多年前日本媒体评价日本财政用了很形象的词,叫硬直化。所有的钱都有定好的用处,几乎没有活动钱。需要财政支持的时候十分狼狈。该做的事情做不了,钱全都拿去维持日常运转了。

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      发表于 2024-9-17 15:32

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    31#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:28:54 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 19:33 编辑 ) }/ e+ L& t$ y# w
    雷声 发表于 2024-9-16 19:19: _1 S5 t' a! A+ @
    还没搞定? " ?" n& ~/ ]& N+ J6 o3 A
    我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的 ...
    ; C0 q; k, T. `

    & x3 L( L! S, P4 ?! BNikon是稳定性不行,被牙膏退货后就没人再买。疫情前去开spie的会,Nikon还吹牛自己行了,但主流客户没人用。
    / a- q, b$ G+ N% J有网上谣言说华为买了些Nikon自己魔改做出了9100…俺比较怀疑真实性。
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    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    32#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:31:01 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:21' A, q+ W8 M8 Z9 ^6 V! R( K& S
    突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NA ...
    ' \8 G, l: U1 A) B, ^( A  D0 o1 j, T
    存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。
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    33#
    发表于 2024-9-17 11:34:00 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:31  h1 Z: m2 p! S  H% u( y( ?
    存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。 ...
    ; y( K) E2 Q3 d1 f
    需要用到浸润DUV吗?+ L! a. }# K. u

    ( T& w) x9 u& R) E$ A% M6 ^+ T7 w5 o我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗?
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    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    34#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:37:50 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:34
    " Z9 d; D& |4 E8 B) [/ ^需要用到浸润DUV吗?
    ( @% J% B* j% q. S  j
      t! K: j5 G( K: l0 X3 l我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗? ...

    ( P6 _; \0 G& ]6 S8 T# M浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。
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    35#
    发表于 2024-9-17 11:38:06 | 只看该作者
    雷声 发表于 2024-9-16 21:23
    4 K, c: o/ G# ?; M& @可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞 ...
    - E- v0 A' S: Y$ Q
    是的,需要钱的地方太多,但光刻机和芯片可能是不计代价砸钱的方向,优先级比谁都高。这个瓶颈突破后,不只是军事、科技上的阳关道,经济上也是大片的处女地啊。3 r7 e2 N1 t1 u1 R3 d% H; M$ |
    7 d  c1 I$ l+ M
    硬直化很形象。确实,西方家大业大,花钱手笔也大,但每一笔钱都预定了用处,活动余地真心很小。你看看美国在预算削减时那个鸡飞狗跳,就知道真是谁都动不得。“平均剃头”是公认的最坏选择,但是唯一大家可接受的选择。
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    36#
    发表于 2024-9-17 11:40:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:37
    : P' X: s8 L1 B/ V% ~3 n浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。 ...
    , R! y2 U: C! o5 X& w
    都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了?
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    37#
    发表于 2024-9-17 11:43:29 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54
    $ l$ f! J! S. I; ?4 ^& m" E按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    9 \/ j4 h2 U' W# t; [6 R  s, e. H所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    8 T% m/ U4 O1 u) M9 H! B' ]! i具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均匀,从而折射率不均匀,影响成像。为了避免温差,必须让水快速流动混合,但又要避免产生漩涡或者析出气泡。水可以把所接触物品上的杂质洗下来,带到晶圆上,形成缺陷。当初ASML搞浸润式光刻机时,在浸液系统上与林本坚团队合作,方案修改了7-8回,耗时两年多才取得满意的结果。

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    38#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:59:49 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 20:02 编辑
    ( w# b6 S1 s: ]; x# i# ?9 d" w/ W  D
    沉宝 发表于 2024-9-16 19:43
      Y: f: T! ?  t" X0 }具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均 ...

    " @7 Y9 P3 E  A' y$ o$ J7 U+ B, D) m+ _/ [
    这当然不容易,不过两年挺快啦,看看牙膏的10nm……
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    39#
     楼主| 发表于 2024-9-17 12:01:58 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:40
    5 \/ b) ~. \0 k7 L. E/ R都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了? ...
    0 B: H$ T  p- U/ C
    不知道啦,也许是隐晦放风的说法。
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    40#
    发表于 2024-9-17 17:38:39 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13
    9 t# i& n* ?) q- ?$ e这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。 ...
    5 w) L7 F9 ]  c7 h1 F
    中国大,各地方人气质不一,各擅胜场。精细活儿江南地方超过东北山东。如此说来,韩国近东北山东,台湾精英是江浙后代。
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