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楼主: moletronic
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[科普知识] 国产光刻机猜测

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  • TA的每日心情
    慵懒
    2022-8-27 22:14
  • 签到天数: 351 天

    [LV.8]合体

    21#
    发表于 2024-9-17 08:06:46 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 14:006 f( T8 N) O; @/ d, Q1 Y* X/ }
    也就是说,即使28nm现在还有光刻机瓶颈,其他也都就绪、只欠东风了。这是好事!
    ! V4 V1 A% k' X- l2 B7 o8 _
    7 O3 @* [2 B) w' i个人感觉:相比于前一阵 ...

    ) G6 t* O1 q4 Q+ Z( M" U9 N- }7 H  I; n% g" J  E) d
    这就要西方好好领教什么叫产能过剩了。
    ! n7 G( z. Y  c( S/ U6 A, k3 |
    应该会在5年内实现吧。1 `" h% B1 _: U& u  K. Q
    1 g. b8 }5 n7 g- X- b& c
    微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    9 l( X! I8 p6 p& n- n. r5 z: d1 n24-9-16 23:55
    6 H( I  M. u7 O发布于 湖南2 v5 i# A* b! e9 r8 ~3 V
    来自 微博网页版9 }% b# S+ _3 z
    啊,说过很多次了,#光刻机# 不是挖机/ v/ Y! c! O6 `2 ~1 S8 @. d- o  W
    不是运过来就能直接开工的。
    / i8 T$ ~4 X% T: E: x2 B他需要调试,需要不断的用,一边用一边调整,等光学畸变稳定——你可以理解为拷机或者汽车发动热机暖机。
    6 v3 E$ t3 R; h5 c' |
    ! X" \( b5 H+ e. |3 f这个时间很长,也是我常年说:% \+ C4 R4 Q3 {; i! y2 D' B7 M, R7 P
    就算今天ASML传送一台EUV给咱,我们拿到第一批量产的芯片流片完(无论7nm,5nm还是多少)起码2年后——这最乐观的2年时间,还得是对EUV非常有经验的顶级工程师来操作优化。
    ; _- @; d) j- J' F% e! t! a+ U  i3 q
    现在发布的这台机器是起码3年前就验收了(科工),现在工信部验收推广(产业链),成熟得不行了才拿出来的。你需要,给钱就有,不限量。$ b$ M- f) @2 |8 a' |0 E; S! n

    " `# y) ~7 H: L3 m+ D$ }; r简单理解就是——这机子是干式光刻机,做的是65-55nm的芯片,一次曝光。
    ( g  K  r5 Q* \- y8 ^3 O干式光刻机没啥意义,为什么呢?因为改进之后的也可以出产低制程的,向下兼容并且良率更高(成本低方案成熟)
    7 _6 }* p% a; ]! h' }多重曝光也不是这哥们来做……(我是不清楚干式光刻机有没人搞这个)" r+ q5 a/ {( E: e
    但这玩意的光路设计啥的,是成型了的。有了它,就加浸没式透镜,修改物镜,最终成品是目前没有验收但肯定存在某个地方的浸没式光刻机,但起码上线了2年了8 n/ Z! l' \" X) O0 K
    / I& e1 T, @. a1 y1 B. q
    没公布的那个肯定还在不断的调试,修改,更换国产配件。
    % U+ J; J5 N5 k# ~普通人不用管光刻机啥情况——你就看最终产品就是。
    0 x$ k# h+ u* ?5 t& G+ ~  @#华为mate70# 也没多久了。
    , q6 X8 N& @" x) P  k. ^- o6 B

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    这真是极好的: 5.0
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      发表于 2024-9-18 15:38
    给力: 5 涨姿势: 5 这真是极好的: 5
      发表于 2024-9-17 08:38
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    22#
     楼主| 发表于 2024-9-17 08:15:36 | 只看该作者
    老财迷 发表于 2024-9-16 16:06+ a- ^# h# L2 t) D* P# ~4 y8 E& J0 F
    应该会在5年内实现吧。
    , [$ o* h% w7 s* `7 K0 c3 P
    , y8 I+ C% ]* @! u8 h( u- W微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)

    . h5 x+ F  K+ o
    + J# K8 i- E. Y8 ~. {# L2 t5 ]这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

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    油菜: 5 给力: 5
    以你说的为准 :)  发表于 2024-9-17 15:27

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    23#
    发表于 2024-9-17 08:39:20 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 18:15. k2 V) P$ F! `
    这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。
    3 x2 f4 i9 V2 y' e7 t% `
    但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    24#
     楼主| 发表于 2024-9-17 10:54:17 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 18:56 编辑
    7 |/ ]' O: Z: K0 B8 ]* u% g) y
    晨枫 发表于 2024-9-16 16:39
    $ H& P: F1 j$ J& M1 m# ^2 [% J但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?

    ' f5 ~: M: A$ l8 x/ k. e) q- D' v2 U! H
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定7 {3 V0 v- ~& n0 y; c, E9 x
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述

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    25#
    发表于 2024-9-17 11:08:25 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 03:342 Z5 Y$ E2 N! s9 d. x
    不过EUV制作7nm可以轻易一次曝光,产率和良率应该提高很多?

    5 a& G( {5 F9 U! A( j5 A理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积电用193nm光刻机率先量产7nm,三星则以更先进的EUV光刻机应战,由于对新型光刻机的熟悉不足,结果良率低下,很多人抛弃三星。最后三星赔本赚吆喝,开出比台积电低30%的代工费用,才勉强留下大客户。

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      发表于 2024-9-17 15:28

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    26#
    发表于 2024-9-17 11:13:01 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:547 ?) m4 y" |, v1 K, e) _7 L
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    - i" ], |2 C( a2 Q3 h- P; i所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    ( `) c# j& y& A" j有道理。
    ) L# F4 k  l) Z; |: X1 u# Z! Z) u" }% {" z3 u
    不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资吊着。不退场,但也不全力以赴。
    - m( w. o# J$ x! z6 f) d2 i' _0 D8 W
    中国肯定是全力以赴的。而且倾国之力肯定大于尼康、佳能。
    9 z# Z. {7 `3 T' ?# K9 t9 l5 X  t8 B
    这会有差别吗?
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    27#
    发表于 2024-9-17 11:13:37 | 只看该作者
    沉宝 发表于 2024-9-16 21:08
    - Y5 b- Q/ a  c6 f4 U6 p理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积 ...
    3 f/ d5 q& a2 r1 B
    这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。
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    28#
    发表于 2024-9-17 11:19:08 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:541 {: o% _# n1 X9 k8 M
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    + E1 \7 o- A) g所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    " Z: f9 X* J- H8 d  E: ^
    还没搞定?
    3 L3 R4 _1 k. m4 `9 h我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的系统。我在的小破公司搭了一个,然后过去一起做,看能不能用。那个时候估计还是早期,这些基础的问题都没个数。做了几个实验,证明可以捕捉到微气泡发生,成长和运动的轨迹,我就撤了。这都十五年过去了。
    5 K# W6 x8 ?. @! z6 F8 W4 L4 q2 H尼康那时候已经有点不灵的迹象,食堂里面睡满了安装队的人。正常的话那些人都是满世界跑给别人装机器的。
    8 D- S+ k0 L% J9 ~+ b+ S' a

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    坛里藏龙卧虎啊  发表于 2024-9-17 15:31

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    29#
    发表于 2024-9-17 11:21:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54
    % S8 |$ L3 j: V  i  ^3 Z按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定5 {+ _) C  P, n8 X. U( q# B3 }
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    . w8 G: f# V8 s" D; B8 g/ o
    突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NAND也被卡了,因为光刻机的事,这说法准确吗?高端NAND需要多少nm节点的光刻机?
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    30#
    发表于 2024-9-17 11:23:33 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13
    2 ]: L$ f. E7 f$ Z! A- s9 n6 d5 N有道理。9 b8 U8 f- a- O* U. X
    & ^; g% R& g$ r5 v
    不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资 ...
    ) D& n% o; U: l2 \
    可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞哪张嘴里。7 }4 H( M; g5 J
    很多年前日本媒体评价日本财政用了很形象的词,叫硬直化。所有的钱都有定好的用处,几乎没有活动钱。需要财政支持的时候十分狼狈。该做的事情做不了,钱全都拿去维持日常运转了。

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      发表于 2024-9-17 15:32

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    开心
    2023-2-8 04:51
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    31#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:28:54 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 19:33 编辑
    9 t. N  N8 l2 V* k; A
    雷声 发表于 2024-9-16 19:19: i$ j4 `  g. J. }+ b
    还没搞定?
    2 @! p% l$ _" ~! O6 N) m. l1 b我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的 ...
    - [3 X% \1 r" y) [- r$ M% j/ z
    2 Q" L" s  t4 P6 G! Y0 M! p1 A9 A
    Nikon是稳定性不行,被牙膏退货后就没人再买。疫情前去开spie的会,Nikon还吹牛自己行了,但主流客户没人用。
    + m9 D$ N& Z! r4 I0 ^有网上谣言说华为买了些Nikon自己魔改做出了9100…俺比较怀疑真实性。
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    开心
    2023-2-8 04:51
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    32#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:31:01 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:21
    ' `! U" L8 H2 d0 S, @0 D. v1 z突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NA ...

    0 g9 J3 g- I3 x# ~; Q4 R$ I存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。
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    33#
    发表于 2024-9-17 11:34:00 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:31
    * v/ Z% O0 c4 s' a存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。 ...

    ! v4 F% n5 z7 Z' z" P* K需要用到浸润DUV吗?1 a" e: u2 H# K
    % y1 s8 f# x' {' C! U: t
    我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗?
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    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    34#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:37:50 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:34
    : X' e' S$ v2 c% g: R% P需要用到浸润DUV吗?$ E" |& b9 Q$ i* b5 ^

    $ r- T4 K% y7 D$ w" n2 l5 d我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗? ...
    3 P/ p9 \+ C; ?
    浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。
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    35#
    发表于 2024-9-17 11:38:06 | 只看该作者
    雷声 发表于 2024-9-16 21:23" a) V4 z) p3 X# Y: C0 b
    可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞 ...
    . B4 g- @" G  Q: Q
    是的,需要钱的地方太多,但光刻机和芯片可能是不计代价砸钱的方向,优先级比谁都高。这个瓶颈突破后,不只是军事、科技上的阳关道,经济上也是大片的处女地啊。7 H7 g1 a- H" c$ q. i! Y  o0 z
    5 f" \  a1 s  G  R  K5 u' V
    硬直化很形象。确实,西方家大业大,花钱手笔也大,但每一笔钱都预定了用处,活动余地真心很小。你看看美国在预算削减时那个鸡飞狗跳,就知道真是谁都动不得。“平均剃头”是公认的最坏选择,但是唯一大家可接受的选择。
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    36#
    发表于 2024-9-17 11:40:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:379 I4 {$ ^8 n; r) p% ?; c
    浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。 ...
    , r& ^5 a* l( M7 D: L- ^$ A
    都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了?
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    37#
    发表于 2024-9-17 11:43:29 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54
    : S7 N: w# A( s按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    , ?( n6 P# ~8 ^) n9 }1 e所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    " R( t7 e/ P  \* z$ w3 r  o! E
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均匀,从而折射率不均匀,影响成像。为了避免温差,必须让水快速流动混合,但又要避免产生漩涡或者析出气泡。水可以把所接触物品上的杂质洗下来,带到晶圆上,形成缺陷。当初ASML搞浸润式光刻机时,在浸液系统上与林本坚团队合作,方案修改了7-8回,耗时两年多才取得满意的结果。

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    38#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:59:49 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 20:02 编辑 & Q4 P; _3 U. T) i- L
    沉宝 发表于 2024-9-16 19:43! G; Z$ b7 B/ j
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均 ...

    ! y  q* E$ L# u
    ; f" ?. l1 K' W这当然不容易,不过两年挺快啦,看看牙膏的10nm……
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    39#
     楼主| 发表于 2024-9-17 12:01:58 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:40
    ( D% a! Q6 p- Y; N5 b# j都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了? ...

    $ R" J# e% t! W. y不知道啦,也许是隐晦放风的说法。
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    40#
    发表于 2024-9-17 17:38:39 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13
    - w+ w  _+ ?' g8 k这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。 ...
    ! z# ~  R0 o1 y& o
    中国大,各地方人气质不一,各擅胜场。精细活儿江南地方超过东北山东。如此说来,韩国近东北山东,台湾精英是江浙后代。
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