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[科普知识] 国产光刻机猜测

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  • TA的每日心情
    慵懒
    2022-8-27 22:14
  • 签到天数: 351 天

    [LV.8]合体

    21#
    发表于 2024-9-17 08:06:46 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 14:00
    ; G3 B6 f0 a+ f, h( a$ g也就是说,即使28nm现在还有光刻机瓶颈,其他也都就绪、只欠东风了。这是好事!
      m5 d: Y4 N% y" W# s5 e' ~. ^( a
    " L" c% \) V8 F6 n: J个人感觉:相比于前一阵 ...
    + ]3 n, S  o' i! z8 Y! ]  ]& `
    % C7 T0 P& D- R( d; {
    这就要西方好好领教什么叫产能过剩了。
    1 \/ a. a7 l8 P2 l5 a
    应该会在5年内实现吧。0 e3 N; S( {4 b  G
    & p: u' w7 x6 {" T; l# @1 d
    微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    0 r4 o- o# m' D; h# I5 T* B24-9-16 23:55
    5 M4 ?. y. f* D% r9 H( m: r发布于 湖南% a2 V8 `) v8 m& ], d: I
    来自 微博网页版& A& L! I" Y8 D) o6 u) e0 @
    啊,说过很多次了,#光刻机# 不是挖机$ ^* ]' u+ h+ P, O
    不是运过来就能直接开工的。
    ! J, |. ]6 [9 @# a" g他需要调试,需要不断的用,一边用一边调整,等光学畸变稳定——你可以理解为拷机或者汽车发动热机暖机。2 T6 K# N9 g" Z  B. f& |
    . r+ w1 j7 G% m0 v9 r5 _
    这个时间很长,也是我常年说:3 D) g1 g% }% R6 C& d; `
    就算今天ASML传送一台EUV给咱,我们拿到第一批量产的芯片流片完(无论7nm,5nm还是多少)起码2年后——这最乐观的2年时间,还得是对EUV非常有经验的顶级工程师来操作优化。
    0 y2 i1 ?9 E2 [: W9 c+ j0 L  C6 M" E* _. x( A* l
    现在发布的这台机器是起码3年前就验收了(科工),现在工信部验收推广(产业链),成熟得不行了才拿出来的。你需要,给钱就有,不限量。
    , f, ]& H0 ?" I: R8 p
    5 z9 v; O7 o, R( ]5 E7 ?简单理解就是——这机子是干式光刻机,做的是65-55nm的芯片,一次曝光。3 l- R& w: {8 ]) f. E- k' f
    干式光刻机没啥意义,为什么呢?因为改进之后的也可以出产低制程的,向下兼容并且良率更高(成本低方案成熟)
    3 k! y/ p) l1 H2 ~# {. N多重曝光也不是这哥们来做……(我是不清楚干式光刻机有没人搞这个)
    6 ^& F) g+ B5 @% B+ S  D但这玩意的光路设计啥的,是成型了的。有了它,就加浸没式透镜,修改物镜,最终成品是目前没有验收但肯定存在某个地方的浸没式光刻机,但起码上线了2年了
    . R; b- Y; T  \9 l3 ~/ S$ D. w0 H% z  s. f1 @6 s# x# h3 L
    没公布的那个肯定还在不断的调试,修改,更换国产配件。% x% I# d& N* w* n% _& y& H
    普通人不用管光刻机啥情况——你就看最终产品就是。
    ) a9 E2 m3 `& \- \: N#华为mate70# 也没多久了。
    # c1 ?/ l2 D' n5 @' U& b4 Z

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    这真是极好的: 5.0
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      发表于 2024-9-18 15:38
    给力: 5 涨姿势: 5 这真是极好的: 5
      发表于 2024-9-17 08:38
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    22#
     楼主| 发表于 2024-9-17 08:15:36 | 只看该作者
    老财迷 发表于 2024-9-16 16:06
      O- J( F4 `, ]; s1 D应该会在5年内实现吧。
    / C2 g- l6 F: u7 `) p8 F2 {2 w( l
    0 N" s1 o! O. v/ N1 M% {微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    % {; U& g" J/ l: ]1 o' Y3 s

    6 e8 T; X; B! b( a( l这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

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    油菜: 5 给力: 5
    以你说的为准 :)  发表于 2024-9-17 15:27

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    23#
    发表于 2024-9-17 08:39:20 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 18:15
    8 {2 H3 C8 a5 [6 D9 }: M( r* Z这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。
    ! g  P, ~. b$ H* p6 I
    但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    24#
     楼主| 发表于 2024-9-17 10:54:17 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 18:56 编辑 8 p' y8 ]% U+ v8 P# c
    晨枫 发表于 2024-9-16 16:39
    : |) j; H. |1 O0 t7 [3 e但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?

    # i% O6 D) N5 }9 }- D& @$ a+ f9 ^
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    / P0 f# O% J0 P4 E( M* Z/ d所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述

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    25#
    发表于 2024-9-17 11:08:25 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 03:341 C& G( ]+ E' c' b
    不过EUV制作7nm可以轻易一次曝光,产率和良率应该提高很多?
    5 i3 B: t8 ^9 [# D; ?! s6 j# B
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积电用193nm光刻机率先量产7nm,三星则以更先进的EUV光刻机应战,由于对新型光刻机的熟悉不足,结果良率低下,很多人抛弃三星。最后三星赔本赚吆喝,开出比台积电低30%的代工费用,才勉强留下大客户。

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      发表于 2024-9-17 15:28

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    26#
    发表于 2024-9-17 11:13:01 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54% F; ?" M# o- [/ T( o0 }7 i
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    & _, B9 Q! b+ I) m; U: s1 T所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    1 R  o! C/ \; I5 Z  E有道理。$ V: z! C; f& S7 |* m& J( Z+ l) c
    ! v  p& N, E+ J% S, \" R- _; W6 M
    不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资吊着。不退场,但也不全力以赴。7 D1 b9 X  g9 A$ c: _* [* G
    - K; r. g# n3 J
    中国肯定是全力以赴的。而且倾国之力肯定大于尼康、佳能。4 T% r" g4 @4 G- u
    ' N+ y; w8 R- Q' |8 W) c
    这会有差别吗?
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    27#
    发表于 2024-9-17 11:13:37 | 只看该作者
    沉宝 发表于 2024-9-16 21:08$ d* v1 o2 c7 u6 c8 X5 Q
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积 ...
    ( [2 J) o/ e% v  S
    这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。
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    28#
    发表于 2024-9-17 11:19:08 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54
    * r, {6 T$ _! O8 i& |按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定5 V/ ]/ \( V/ `+ C
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    6 f1 f$ V: e+ e! ]- O! p! H/ b$ g1 q还没搞定?
    ; [5 l" I7 z! H+ a" U/ E8 v1 F我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的系统。我在的小破公司搭了一个,然后过去一起做,看能不能用。那个时候估计还是早期,这些基础的问题都没个数。做了几个实验,证明可以捕捉到微气泡发生,成长和运动的轨迹,我就撤了。这都十五年过去了。, L: Q" E" i* [; O4 j7 v' i6 j) J
    尼康那时候已经有点不灵的迹象,食堂里面睡满了安装队的人。正常的话那些人都是满世界跑给别人装机器的。
    * g( x& W& ~+ f% b2 L. u/ [

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    坛里藏龙卧虎啊  发表于 2024-9-17 15:31

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    29#
    发表于 2024-9-17 11:21:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54
    8 R, O+ s, i6 L! M3 v按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    ) @7 q+ x+ C; j# }- i7 `' |  A所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    * p6 z$ z4 }) P  C9 o1 K6 b( `
    突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NAND也被卡了,因为光刻机的事,这说法准确吗?高端NAND需要多少nm节点的光刻机?
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    30#
    发表于 2024-9-17 11:23:33 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13
    % r; C- {  J! U' u  B有道理。- h' o* D. d, p. {3 x1 p
    " J7 q, x) c: J! k! J1 O) w/ p
    不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资 ...

    5 ~1 D  N. a$ q' t! v3 @可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞哪张嘴里。2 i. o& n- V7 H# ?4 F* q+ y% C
    很多年前日本媒体评价日本财政用了很形象的词,叫硬直化。所有的钱都有定好的用处,几乎没有活动钱。需要财政支持的时候十分狼狈。该做的事情做不了,钱全都拿去维持日常运转了。

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      发表于 2024-9-17 15:32

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    开心
    2023-2-8 04:51
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    31#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:28:54 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 19:33 编辑
    % g1 N8 W( k# s1 V- w
    雷声 发表于 2024-9-16 19:196 e4 ]  ?8 P: S5 Z) R2 }& {
    还没搞定?
    ( p6 \2 h0 U; J7 P9 o- H$ B# ]' |$ {我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的 ...

    - Z- p8 g/ r3 v, k' |. s, f
    % _$ A1 V3 Q+ B! N6 MNikon是稳定性不行,被牙膏退货后就没人再买。疫情前去开spie的会,Nikon还吹牛自己行了,但主流客户没人用。4 F6 D) h# H2 f" O9 j9 j
    有网上谣言说华为买了些Nikon自己魔改做出了9100…俺比较怀疑真实性。
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    开心
    2023-2-8 04:51
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    32#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:31:01 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:21
    ; S( x4 M% W# _突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NA ...
    ) D% ~5 W: }, _* M+ L/ r
    存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。
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    33#
    发表于 2024-9-17 11:34:00 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:316 N8 S0 R. c0 X5 D0 z/ K
    存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。 ...

    ; U- ~- R: W& o& m' R4 {3 g9 K2 E需要用到浸润DUV吗?
      x$ r) F; ~/ N1 k3 s# m$ t- {
    ; S4 Z; B% L4 F4 G4 e我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    34#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:37:50 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:348 H- [) S5 B& E" b$ ?/ `8 Z
    需要用到浸润DUV吗?
    1 t5 F" h& w2 h6 k+ a# _9 m  c# d0 [/ q# ^* {1 v8 r- N- t4 z
    我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗? ...
    ! t7 B0 C% }; Y' l2 N; k' p
    浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。
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    35#
    发表于 2024-9-17 11:38:06 | 只看该作者
    雷声 发表于 2024-9-16 21:23: s& @. h% d5 t8 V5 i
    可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞 ...
    ' h# f; o4 w; K# a  F: {0 `! e
    是的,需要钱的地方太多,但光刻机和芯片可能是不计代价砸钱的方向,优先级比谁都高。这个瓶颈突破后,不只是军事、科技上的阳关道,经济上也是大片的处女地啊。2 I" v1 x5 ]8 y, B

    & C. b& o2 c* T, }硬直化很形象。确实,西方家大业大,花钱手笔也大,但每一笔钱都预定了用处,活动余地真心很小。你看看美国在预算削减时那个鸡飞狗跳,就知道真是谁都动不得。“平均剃头”是公认的最坏选择,但是唯一大家可接受的选择。
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    36#
    发表于 2024-9-17 11:40:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:37
    + w& X* K3 y: w9 a5 I0 `1 W浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。 ...

    4 U4 r  d& g  Z# T0 B. Y都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了?
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    37#
    发表于 2024-9-17 11:43:29 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54
    8 B0 g2 C6 K, ^5 z按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定  ?  G  B% U# x7 A+ G4 ^
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    7 Q4 C: S8 i, S, u具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均匀,从而折射率不均匀,影响成像。为了避免温差,必须让水快速流动混合,但又要避免产生漩涡或者析出气泡。水可以把所接触物品上的杂质洗下来,带到晶圆上,形成缺陷。当初ASML搞浸润式光刻机时,在浸液系统上与林本坚团队合作,方案修改了7-8回,耗时两年多才取得满意的结果。

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

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    38#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:59:49 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 20:02 编辑 $ Y: y$ e+ h9 P, P6 Y4 c- Y8 b
    沉宝 发表于 2024-9-16 19:436 d7 }: Z( c. ^( |, U
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均 ...
    2 Z* G$ Z) c) k% f* a" \: {
    / Q- K8 |1 N/ [
    这当然不容易,不过两年挺快啦,看看牙膏的10nm……
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    39#
     楼主| 发表于 2024-9-17 12:01:58 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:40
    + V4 e: }8 v( X$ q- u都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了? ...
    ( S$ {& K8 W; C9 R1 d: k; f$ `
    不知道啦,也许是隐晦放风的说法。
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    40#
    发表于 2024-9-17 17:38:39 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:138 `. E* G+ ^: i) j
    这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。 ...
      }8 X$ b8 \' I+ y5 u) _
    中国大,各地方人气质不一,各擅胜场。精细活儿江南地方超过东北山东。如此说来,韩国近东北山东,台湾精英是江浙后代。
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