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楼主: moletronic
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[科普知识] 国产光刻机猜测

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  • TA的每日心情
    慵懒
    2022-8-27 22:14
  • 签到天数: 351 天

    [LV.8]合体

    21#
    发表于 2024-9-17 08:06:46 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 14:00: \7 ^& c: Y0 R
    也就是说,即使28nm现在还有光刻机瓶颈,其他也都就绪、只欠东风了。这是好事!
    1 Q" O5 C* i+ k8 G/ m3 a8 Z; Q" z* x
    3 {. x- x$ A6 E' j, b- k+ v个人感觉:相比于前一阵 ...
    + _8 P9 e6 a5 u# v0 A; {

    3 f  `- }& u2 X: o3 S' p, p9 X
    这就要西方好好领教什么叫产能过剩了。
    ! C% w- V; g, [
    应该会在5年内实现吧。
    . e/ a, Z- ]% ?5 l' z% b2 v( P2 E$ L  O: `, c. Z
    微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    $ D( G) G! w  E8 W# X' k24-9-16 23:55% _2 U, X! \  P" l2 i# ^
    发布于 湖南; Q( K1 W8 U$ L4 l/ _
    来自 微博网页版4 [3 F! g( G4 i" a; I: X
    啊,说过很多次了,#光刻机# 不是挖机
      D1 i) O0 D" g* g不是运过来就能直接开工的。/ V/ k; z" t) T6 q, `, r
    他需要调试,需要不断的用,一边用一边调整,等光学畸变稳定——你可以理解为拷机或者汽车发动热机暖机。% i  s$ h; G* Y) t9 {
    / a& m8 ^' D8 c' G' o7 y) y0 |/ t
    这个时间很长,也是我常年说:
    6 K# H, A8 X+ j+ x& H; _- e, G就算今天ASML传送一台EUV给咱,我们拿到第一批量产的芯片流片完(无论7nm,5nm还是多少)起码2年后——这最乐观的2年时间,还得是对EUV非常有经验的顶级工程师来操作优化。. f; L. d# e9 l; V& m

    ' e7 z% P2 s# H' ^现在发布的这台机器是起码3年前就验收了(科工),现在工信部验收推广(产业链),成熟得不行了才拿出来的。你需要,给钱就有,不限量。
    + J9 f: C6 ^  P  g2 X, g# Z1 d- C" P) B' ^
    简单理解就是——这机子是干式光刻机,做的是65-55nm的芯片,一次曝光。; d1 L0 R/ H' z; Q" y( U
    干式光刻机没啥意义,为什么呢?因为改进之后的也可以出产低制程的,向下兼容并且良率更高(成本低方案成熟)! y" u; x0 H/ ~* O, G% P% a0 Y
    多重曝光也不是这哥们来做……(我是不清楚干式光刻机有没人搞这个)! a1 J2 F: h9 h/ L4 W& `0 d* j  |6 v
    但这玩意的光路设计啥的,是成型了的。有了它,就加浸没式透镜,修改物镜,最终成品是目前没有验收但肯定存在某个地方的浸没式光刻机,但起码上线了2年了$ c6 x% N3 s& F
      x/ e6 a) N: P5 l% E: |
    没公布的那个肯定还在不断的调试,修改,更换国产配件。" T# u1 C# d/ a& T( A. T/ [# Y( L
    普通人不用管光刻机啥情况——你就看最终产品就是。
    ' m* a% B* P8 m4 N+ s9 n#华为mate70# 也没多久了。
    " @9 m  e4 ]2 m) S* O& a) d7 [

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    这真是极好的: 5.0
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      发表于 2024-9-18 15:38
    给力: 5 涨姿势: 5 这真是极好的: 5
      发表于 2024-9-17 08:38
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    22#
     楼主| 发表于 2024-9-17 08:15:36 | 只看该作者
    老财迷 发表于 2024-9-16 16:06$ j1 E# N6 U, Q+ n) `: Y
    应该会在5年内实现吧。
    & S/ [, s0 k2 p4 D4 J0 x0 H8 B4 a6 s! o
    微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    . z) ^9 p3 B8 i. a

    9 [& R7 G2 r! K这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

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    以你说的为准 :)  发表于 2024-9-17 15:27

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    23#
    发表于 2024-9-17 08:39:20 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 18:15
    : u# c+ \" o% k% E7 d这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

    0 _7 m' c& C! _2 d但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    24#
     楼主| 发表于 2024-9-17 10:54:17 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 18:56 编辑 " L% ]! w# Q9 q( C- o. l. e
    晨枫 发表于 2024-9-16 16:39+ u$ h* s6 c# ]( z$ V; J  f
    但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?

    ' f3 n( c+ m5 e. O
    ! l4 g. ~1 G& l# t按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定' l$ \) c. G5 z' Q' R0 n$ l
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述

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    25#
    发表于 2024-9-17 11:08:25 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 03:34- R% X0 }. H7 [- H0 S, M0 g
    不过EUV制作7nm可以轻易一次曝光,产率和良率应该提高很多?
    / _, C% Q: P; F: h$ p
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积电用193nm光刻机率先量产7nm,三星则以更先进的EUV光刻机应战,由于对新型光刻机的熟悉不足,结果良率低下,很多人抛弃三星。最后三星赔本赚吆喝,开出比台积电低30%的代工费用,才勉强留下大客户。

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      发表于 2024-9-17 15:28

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    26#
    发表于 2024-9-17 11:13:01 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:549 D( D2 y( Y3 O) z9 w+ S
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    * s* W9 j9 ?/ w8 c3 F, ~所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    9 e# ?9 V" Y! `
    有道理。
    - M* c% k+ i! a' z7 y% c: [3 r5 H
    不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资吊着。不退场,但也不全力以赴。
    + D' Q/ i6 T) R% X  X/ t" r
    ; H' C8 [. y: X7 J8 c& S# k% j中国肯定是全力以赴的。而且倾国之力肯定大于尼康、佳能。
    ) U+ K0 u0 Z' q0 C$ b! c) x! H* T3 K
    ; H! Z' U% [. @- z1 i% E这会有差别吗?
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    27#
    发表于 2024-9-17 11:13:37 | 只看该作者
    沉宝 发表于 2024-9-16 21:087 Z7 ^& t) y2 v1 a0 q
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积 ...
    . L! i/ }8 _: U2 d. s3 l
    这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。
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    28#
    发表于 2024-9-17 11:19:08 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54
    . p5 D4 j& L; n按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    / Q  G" |. t( v- h3 o' U. g所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    % u0 y/ X& h1 [' b6 g( P2 l1 s还没搞定? 1 Y" ?" _  w0 J0 F5 o
    我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的系统。我在的小破公司搭了一个,然后过去一起做,看能不能用。那个时候估计还是早期,这些基础的问题都没个数。做了几个实验,证明可以捕捉到微气泡发生,成长和运动的轨迹,我就撤了。这都十五年过去了。
    ' L% W( {0 U0 S& B3 L$ H- j尼康那时候已经有点不灵的迹象,食堂里面睡满了安装队的人。正常的话那些人都是满世界跑给别人装机器的。" j0 D% t) J% C- ?3 D; X' h8 w

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    坛里藏龙卧虎啊  发表于 2024-9-17 15:31

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    29#
    发表于 2024-9-17 11:21:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:541 l+ w; P# B0 v+ O. t5 K; {
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    # F" F" I, v: x+ Q3 Q. j所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    7 z* O. r7 P7 @突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NAND也被卡了,因为光刻机的事,这说法准确吗?高端NAND需要多少nm节点的光刻机?
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    30#
    发表于 2024-9-17 11:23:33 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:135 }3 V' |  W* Z- i0 t4 W' e( ~
    有道理。( S7 w) v4 \  e+ e3 m
    ; _0 H5 a% ^( [0 ]! I4 b0 M
    不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资 ...
    1 F; D/ ?0 `0 C* \9 G- `
    可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞哪张嘴里。8 E: G* M8 b: d0 J- l7 I9 U
    很多年前日本媒体评价日本财政用了很形象的词,叫硬直化。所有的钱都有定好的用处,几乎没有活动钱。需要财政支持的时候十分狼狈。该做的事情做不了,钱全都拿去维持日常运转了。

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      发表于 2024-9-17 15:32

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    开心
    2023-2-8 04:51
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    31#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:28:54 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 19:33 编辑 1 T' U3 s! I: k/ q& Z# R
    雷声 发表于 2024-9-16 19:19  Z* t( _; ]6 \. s5 W( Y6 e6 I/ @9 B! S
    还没搞定? . h$ j" t3 N7 L" A, D/ X
    我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的 ...
    & l! B6 H3 c: r* K: r

    ) @2 E$ v( M/ a$ cNikon是稳定性不行,被牙膏退货后就没人再买。疫情前去开spie的会,Nikon还吹牛自己行了,但主流客户没人用。
    9 n+ r2 t* u2 ?( Z7 a  C: x有网上谣言说华为买了些Nikon自己魔改做出了9100…俺比较怀疑真实性。
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    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    32#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:31:01 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:21
    - g7 f  w' z6 Y% ]突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NA ...

    + C- j- b4 G8 u) y9 q存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。
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    33#
    发表于 2024-9-17 11:34:00 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:31
    % P- E! f0 \( Y2 J存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。 ...

    7 C: X- u8 b+ l5 c需要用到浸润DUV吗?3 u3 g( [- L# C, _$ \

    : B4 j/ o$ H# w$ w- N( {5 C我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗?
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    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    34#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:37:50 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:34$ g+ b. g  f0 {$ x  d
    需要用到浸润DUV吗?
    8 D5 e8 t% U9 {; A. |' w% g9 x9 S6 }, k5 `
    我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗? ...
    $ U; z6 a" z9 I: T( K4 q$ C
    浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。
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    35#
    发表于 2024-9-17 11:38:06 | 只看该作者
    雷声 发表于 2024-9-16 21:23, G& r4 g+ R" M% A' V' \+ B
    可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞 ...

    * D+ d3 C, G/ g) x+ h7 e是的,需要钱的地方太多,但光刻机和芯片可能是不计代价砸钱的方向,优先级比谁都高。这个瓶颈突破后,不只是军事、科技上的阳关道,经济上也是大片的处女地啊。
    + H, A% n2 z9 C0 S6 g  g) h, I- F6 P) @4 r2 F
    硬直化很形象。确实,西方家大业大,花钱手笔也大,但每一笔钱都预定了用处,活动余地真心很小。你看看美国在预算削减时那个鸡飞狗跳,就知道真是谁都动不得。“平均剃头”是公认的最坏选择,但是唯一大家可接受的选择。
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    36#
    发表于 2024-9-17 11:40:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:377 c% v8 R' k  u
    浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。 ...
    * g" o" R7 o7 o' W) t
    都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了?
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    37#
    发表于 2024-9-17 11:43:29 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:549 d6 q8 `! `/ O* C# X( @! e
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    ; s: O) f" J" ~- Q  o2 f5 x所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    3 _6 ]8 U! D7 y7 p6 F( r具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均匀,从而折射率不均匀,影响成像。为了避免温差,必须让水快速流动混合,但又要避免产生漩涡或者析出气泡。水可以把所接触物品上的杂质洗下来,带到晶圆上,形成缺陷。当初ASML搞浸润式光刻机时,在浸液系统上与林本坚团队合作,方案修改了7-8回,耗时两年多才取得满意的结果。

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    38#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:59:49 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 20:02 编辑
    ' w% d% U6 A. H3 r
    沉宝 发表于 2024-9-16 19:43: A5 k" W; ~7 u
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均 ...
    , l4 n8 S  ~4 f0 K

    4 f: s+ H! ?0 |2 ?这当然不容易,不过两年挺快啦,看看牙膏的10nm……
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    39#
     楼主| 发表于 2024-9-17 12:01:58 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:40
    * ~: Q+ Z8 Q: e/ ~" ^都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了? ...

    5 m, v5 d" G8 x# N* ?9 |- y, B2 C不知道啦,也许是隐晦放风的说法。
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    40#
    发表于 2024-9-17 17:38:39 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13
    6 Q% J+ K2 Z! w2 p+ q6 L! Y& E这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。 ...
    ! B3 S$ ^- c* E: `  J
    中国大,各地方人气质不一,各擅胜场。精细活儿江南地方超过东北山东。如此说来,韩国近东北山东,台湾精英是江浙后代。
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