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楼主: moletronic
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[科普知识] 国产光刻机猜测

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  • TA的每日心情
    慵懒
    2022-8-27 22:14
  • 签到天数: 351 天

    [LV.8]合体

    21#
    发表于 2024-9-17 08:06:46 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 14:003 w! Y" W( R1 t& v3 ~4 y8 p8 B
    也就是说,即使28nm现在还有光刻机瓶颈,其他也都就绪、只欠东风了。这是好事!' n) @) l, T% f  E9 k+ s
    6 |2 y2 a+ M* D: e; F" X/ W: m7 r+ h
    个人感觉:相比于前一阵 ...

    ; k$ f. w# D4 g  k! L2 ]" h& ~9 v! Y+ g6 v# Q4 J  i
    这就要西方好好领教什么叫产能过剩了。

    6 V3 h; c! |# z应该会在5年内实现吧。- O' p* H$ D! Q& z0 y+ i# z; q

    9 ~* a8 L/ ~* c6 F微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    8 V3 ]& e* X2 ^; G( C24-9-16 23:55
    / `3 m) b3 t8 I* l, ~3 @发布于 湖南
    * A% E6 u2 p/ o1 \7 T4 r" q" {7 Y来自 微博网页版3 B+ c8 W5 O+ H( u. {" o# H
    啊,说过很多次了,#光刻机# 不是挖机
    2 |% B7 a4 i: U不是运过来就能直接开工的。
    4 w) o  z6 d7 |3 }/ h% h他需要调试,需要不断的用,一边用一边调整,等光学畸变稳定——你可以理解为拷机或者汽车发动热机暖机。
      f( w8 s0 Z- y' X( a3 b' x, F1 _& |! c1 c. j7 S5 Z
    这个时间很长,也是我常年说:
    , k& J: m" b) I5 b5 R. k! q( i4 [就算今天ASML传送一台EUV给咱,我们拿到第一批量产的芯片流片完(无论7nm,5nm还是多少)起码2年后——这最乐观的2年时间,还得是对EUV非常有经验的顶级工程师来操作优化。
    ' Y2 I- I) _5 s8 ?
    & E$ `3 n# x7 u/ p1 v  i/ G现在发布的这台机器是起码3年前就验收了(科工),现在工信部验收推广(产业链),成熟得不行了才拿出来的。你需要,给钱就有,不限量。
    + h! m8 L0 I8 p( ]; g# T
    # j6 B8 G0 `2 u% |  w简单理解就是——这机子是干式光刻机,做的是65-55nm的芯片,一次曝光。
    3 a4 y" B/ B# r: @! C2 l# i- R干式光刻机没啥意义,为什么呢?因为改进之后的也可以出产低制程的,向下兼容并且良率更高(成本低方案成熟)0 A  Q$ ~+ F- c9 P
    多重曝光也不是这哥们来做……(我是不清楚干式光刻机有没人搞这个)* o( }' ]/ H3 s
    但这玩意的光路设计啥的,是成型了的。有了它,就加浸没式透镜,修改物镜,最终成品是目前没有验收但肯定存在某个地方的浸没式光刻机,但起码上线了2年了
    5 g9 b$ [) y/ A" z, ?4 {3 Y: K% C  m# t1 O% X  z6 S! U
    没公布的那个肯定还在不断的调试,修改,更换国产配件。1 }" {$ j3 |4 o
    普通人不用管光刻机啥情况——你就看最终产品就是。
    " L8 T  X4 i' Q* T4 \" K- R#华为mate70# 也没多久了。0 i3 w9 k2 o* n8 @+ Q- u2 L* U

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    这真是极好的: 5.0
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      发表于 2024-9-18 15:38
    给力: 5 涨姿势: 5 这真是极好的: 5
      发表于 2024-9-17 08:38
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    22#
     楼主| 发表于 2024-9-17 08:15:36 | 只看该作者
    老财迷 发表于 2024-9-16 16:06
    / `2 ]+ x. C6 e: V" G应该会在5年内实现吧。
    5 }( s1 n& ]4 v  U  ~6 M' A* \" [$ D- T4 B( t, }
    微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)

    ) z0 G  M8 k1 F0 m! x+ L0 R' K& S. m/ z  V; g% q, d/ W
    这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

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    以你说的为准 :)  发表于 2024-9-17 15:27

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    23#
    发表于 2024-9-17 08:39:20 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 18:15- @  y! m, u5 [% @2 _9 S+ i
    这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。
    " v6 P. W! F9 ~& h$ v2 k3 F
    但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    24#
     楼主| 发表于 2024-9-17 10:54:17 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 18:56 编辑 ; i0 p1 X  C2 g1 T$ F
    晨枫 发表于 2024-9-16 16:39
    / J. T  b/ d6 A/ R- a但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
    # B6 |& z0 Z! m! b; X0 f
    & K. P  E4 w" h, y7 ~" H% ]
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    6 j1 l) \8 v& J) f所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述

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    25#
    发表于 2024-9-17 11:08:25 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 03:348 ~2 b* ~/ c$ N0 b1 D
    不过EUV制作7nm可以轻易一次曝光,产率和良率应该提高很多?
    ; z6 {- S  K# |% L. g
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积电用193nm光刻机率先量产7nm,三星则以更先进的EUV光刻机应战,由于对新型光刻机的熟悉不足,结果良率低下,很多人抛弃三星。最后三星赔本赚吆喝,开出比台积电低30%的代工费用,才勉强留下大客户。

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      发表于 2024-9-17 15:28

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    26#
    发表于 2024-9-17 11:13:01 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54
    - \  k. Z0 u4 T! p) y! _按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定: t/ Y! |  ^& u
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    + g! s. T* x; k! Z, q
    有道理。- Q! [9 y) D$ n
    5 M2 R' N7 D8 O" l
    不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资吊着。不退场,但也不全力以赴。- r6 V8 ]2 U1 E% c9 E9 @, D

    ) v, H; S! x5 P1 S1 v中国肯定是全力以赴的。而且倾国之力肯定大于尼康、佳能。9 `% p& p+ }& w3 L% C
    6 i. A) W& k" E
    这会有差别吗?
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    27#
    发表于 2024-9-17 11:13:37 | 只看该作者
    沉宝 发表于 2024-9-16 21:08
    # s2 x; D3 e" T: V' I理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积 ...
    . s# U4 N2 g+ |
    这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。
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    28#
    发表于 2024-9-17 11:19:08 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54: \8 M* ~% P. N& n
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定$ t* ~5 Y( _7 t
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    : h/ k. q6 _. s+ w& V" g还没搞定?
    8 ~4 d' S( l. D0 @# r我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的系统。我在的小破公司搭了一个,然后过去一起做,看能不能用。那个时候估计还是早期,这些基础的问题都没个数。做了几个实验,证明可以捕捉到微气泡发生,成长和运动的轨迹,我就撤了。这都十五年过去了。
    - [6 B% k& r6 G5 o" ]" h) C尼康那时候已经有点不灵的迹象,食堂里面睡满了安装队的人。正常的话那些人都是满世界跑给别人装机器的。
    9 m, O( L4 K8 D

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    坛里藏龙卧虎啊  发表于 2024-9-17 15:31

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    唐家山 + 4 伙呆了
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    29#
    发表于 2024-9-17 11:21:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:542 ^3 \8 t. w3 f6 p* i) e* c7 R
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定) b7 j( _* M/ A, q8 G5 c9 S2 M7 w
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    + K/ y* V$ g0 C: y' O: j% e. E
    突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NAND也被卡了,因为光刻机的事,这说法准确吗?高端NAND需要多少nm节点的光刻机?
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    30#
    发表于 2024-9-17 11:23:33 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13
    4 h% Y) f' L( S" P0 v有道理。
    1 c* l% l: @; F4 j: C& G. z' D" m, R
    不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资 ...
    8 H" s+ @3 S( G. _- W" O8 \
    可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞哪张嘴里。
    9 A4 K$ n: ]1 ?' J很多年前日本媒体评价日本财政用了很形象的词,叫硬直化。所有的钱都有定好的用处,几乎没有活动钱。需要财政支持的时候十分狼狈。该做的事情做不了,钱全都拿去维持日常运转了。

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      发表于 2024-9-17 15:32

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    31#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:28:54 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 19:33 编辑 # m- T+ V2 Q. q- k
    雷声 发表于 2024-9-16 19:19
    9 B9 J3 B8 h( K: C: L* E还没搞定? - \4 s# `( d: s9 O
    我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的 ...

    8 d+ i7 }+ L8 e5 ?0 S, k- l( I/ z# e, m( u1 _3 c+ n0 J
    Nikon是稳定性不行,被牙膏退货后就没人再买。疫情前去开spie的会,Nikon还吹牛自己行了,但主流客户没人用。' Q3 g" J+ N' }$ r- V" a  f
    有网上谣言说华为买了些Nikon自己魔改做出了9100…俺比较怀疑真实性。
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    开心
    2023-2-8 04:51
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    32#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:31:01 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:21
    - \- }$ N: w2 t9 A+ J9 I突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NA ...

    7 @! m2 ]$ u: y存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。
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    33#
    发表于 2024-9-17 11:34:00 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:31
    4 t# s' b7 Y# p3 H; w( y% u4 C存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。 ...
    9 T$ I2 N7 y1 K& n+ T' ]4 n$ M
    需要用到浸润DUV吗?
    # A" e6 O- d+ Q6 z! w* f
    3 q: M  T9 `$ t' ]: d我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    34#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:37:50 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:34. N- c" @; U& Z" l
    需要用到浸润DUV吗?) z0 V; K# M& i

    8 H) G. r' U2 m5 t" F5 U" p我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗? ...

    % i  R$ X/ C" o( o0 e  l" w4 I浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。
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    35#
    发表于 2024-9-17 11:38:06 | 只看该作者
    雷声 发表于 2024-9-16 21:23
    ( A& {9 p9 W% x可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞 ...

    ! Q$ z6 A, G/ h& Z/ o; g' K是的,需要钱的地方太多,但光刻机和芯片可能是不计代价砸钱的方向,优先级比谁都高。这个瓶颈突破后,不只是军事、科技上的阳关道,经济上也是大片的处女地啊。* X  Z1 A2 C' c. ?0 e$ \8 s
    : D3 W+ K) t# C0 \3 a
    硬直化很形象。确实,西方家大业大,花钱手笔也大,但每一笔钱都预定了用处,活动余地真心很小。你看看美国在预算削减时那个鸡飞狗跳,就知道真是谁都动不得。“平均剃头”是公认的最坏选择,但是唯一大家可接受的选择。
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    36#
    发表于 2024-9-17 11:40:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:37& _$ ~& p" j" E% ^$ D
    浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。 ...
    * v: B# K, [9 ~/ {7 p
    都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了?
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    37#
    发表于 2024-9-17 11:43:29 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:542 ^: Z4 O/ o. O! p; h
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定* H$ B$ M% t) R3 s
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    : t9 ]% l  t1 w& X$ k: w! X具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均匀,从而折射率不均匀,影响成像。为了避免温差,必须让水快速流动混合,但又要避免产生漩涡或者析出气泡。水可以把所接触物品上的杂质洗下来,带到晶圆上,形成缺陷。当初ASML搞浸润式光刻机时,在浸液系统上与林本坚团队合作,方案修改了7-8回,耗时两年多才取得满意的结果。

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    38#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:59:49 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 20:02 编辑
    ' I) z/ E0 B( m% r
    沉宝 发表于 2024-9-16 19:43
    + N% U" q" U0 G/ o1 b( v0 {- H具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均 ...
    5 V+ {7 g  l  [5 T  N# H4 w

    " T+ F6 ?$ L# H这当然不容易,不过两年挺快啦,看看牙膏的10nm……
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

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    39#
     楼主| 发表于 2024-9-17 12:01:58 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:40
    ' n7 q: [+ a/ z8 l! r2 o都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了? ...
    * d7 n) p* {" b4 e1 d4 Z# g
    不知道啦,也许是隐晦放风的说法。
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    40#
    发表于 2024-9-17 17:38:39 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:138 T/ ?  {$ X" S' ^; `/ q: x
    这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。 ...
    6 }- B1 Z( }2 a
    中国大,各地方人气质不一,各擅胜场。精细活儿江南地方超过东北山东。如此说来,韩国近东北山东,台湾精英是江浙后代。
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