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楼主: moletronic
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[科普知识] 国产光刻机猜测

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  • TA的每日心情
    慵懒
    2022-8-27 22:14
  • 签到天数: 351 天

    [LV.8]合体

    21#
    发表于 2024-9-17 08:06:46 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 14:00
    * C# T2 B) @0 X9 p9 C也就是说,即使28nm现在还有光刻机瓶颈,其他也都就绪、只欠东风了。这是好事!! h' w  p. A1 B: B% c
    6 e8 m5 g5 L4 g6 G9 F% q+ L9 C  W
    个人感觉:相比于前一阵 ...

    8 M# J: v% j' C  @; e0 q+ [' G$ M! P9 D7 f: M# C$ G
    这就要西方好好领教什么叫产能过剩了。
      ~. u# b. k/ L
    应该会在5年内实现吧。2 U9 s1 x/ r) Y& u
    ; q, |- |: e# [* }, O: ]6 |) M
    微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    1 k& o# w8 U! x24-9-16 23:55
    , |9 {" W- t/ A1 s发布于 湖南# V: _" W# E  R: p: p, c5 e
    来自 微博网页版! W! Q- F+ p6 D
    啊,说过很多次了,#光刻机# 不是挖机
    5 f% g1 `8 B; K7 V# j+ T+ D不是运过来就能直接开工的。7 D5 m9 X0 [4 w5 l9 M" ~
    他需要调试,需要不断的用,一边用一边调整,等光学畸变稳定——你可以理解为拷机或者汽车发动热机暖机。) C. E  q! D) `3 d

    4 ^7 _. s, ^" ]" w1 F这个时间很长,也是我常年说:) W0 u" r' q# M6 ?. C1 Q/ j0 B3 K
    就算今天ASML传送一台EUV给咱,我们拿到第一批量产的芯片流片完(无论7nm,5nm还是多少)起码2年后——这最乐观的2年时间,还得是对EUV非常有经验的顶级工程师来操作优化。
      I* L4 ~! Y9 w- C
    7 w9 w! ]( Y' s6 C现在发布的这台机器是起码3年前就验收了(科工),现在工信部验收推广(产业链),成熟得不行了才拿出来的。你需要,给钱就有,不限量。: g7 O) \1 G4 ~0 ~+ ^
    " ?2 e& V" f! r. C1 Q+ Z& o/ N
    简单理解就是——这机子是干式光刻机,做的是65-55nm的芯片,一次曝光。3 h# |& W; r# q+ o: f9 o
    干式光刻机没啥意义,为什么呢?因为改进之后的也可以出产低制程的,向下兼容并且良率更高(成本低方案成熟)
    * `) l' ~. }! H/ y9 Z多重曝光也不是这哥们来做……(我是不清楚干式光刻机有没人搞这个)
    . z$ J( j* h& W9 b# Q8 K但这玩意的光路设计啥的,是成型了的。有了它,就加浸没式透镜,修改物镜,最终成品是目前没有验收但肯定存在某个地方的浸没式光刻机,但起码上线了2年了
    3 X5 j# X, x+ |. L# R! Q5 k  T# x. q$ s  Q7 m) e
    没公布的那个肯定还在不断的调试,修改,更换国产配件。: @$ L: c" D; T8 u  j
    普通人不用管光刻机啥情况——你就看最终产品就是。
    + k' P7 N: t! x+ U/ s8 C! J#华为mate70# 也没多久了。9 Q3 m+ i% ?/ V5 i9 v

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    这真是极好的: 5.0
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      发表于 2024-9-18 15:38
    给力: 5 涨姿势: 5 这真是极好的: 5
      发表于 2024-9-17 08:38
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    22#
     楼主| 发表于 2024-9-17 08:15:36 | 只看该作者
    老财迷 发表于 2024-9-16 16:06
    & P6 N. [9 p- S' I应该会在5年内实现吧。
    & s5 `: R( W& O
    + r. D+ y0 E& p3 T( J7 b9 c0 X; H微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)

    ! k8 X6 f7 U' a2 p2 z: R  a+ B3 v* `2 N8 H" W) i
    这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

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    以你说的为准 :)  发表于 2024-9-17 15:27

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    23#
    发表于 2024-9-17 08:39:20 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 18:15
    ! {# u: p0 k0 p: T这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。
    - y3 B3 L. v9 z  j
    但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    24#
     楼主| 发表于 2024-9-17 10:54:17 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 18:56 编辑 ) G9 i0 Y; H5 Z3 Y3 G; y! \
    晨枫 发表于 2024-9-16 16:39$ `. u6 [! M1 k" I5 |4 j  W& u
    但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?

    $ {1 J, ]; L" k& t0 {# ?) J. ?9 x; r$ Q2 `& G& q
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定9 d# c. n: O% d& w! K3 g5 ^
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述

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    25#
    发表于 2024-9-17 11:08:25 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 03:34
    3 v8 d. I- K, s' |' J4 R不过EUV制作7nm可以轻易一次曝光,产率和良率应该提高很多?

    2 L8 k3 M6 X+ y+ x& Q理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积电用193nm光刻机率先量产7nm,三星则以更先进的EUV光刻机应战,由于对新型光刻机的熟悉不足,结果良率低下,很多人抛弃三星。最后三星赔本赚吆喝,开出比台积电低30%的代工费用,才勉强留下大客户。

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      发表于 2024-9-17 15:28

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    26#
    发表于 2024-9-17 11:13:01 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54
    + q6 G: K4 I7 A: f3 _/ B, B$ c5 j* d- B按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    ; R% V" ]" x% b; b) y9 D8 }9 U所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    , k+ H- a8 w+ g3 ?( _/ W7 X有道理。
    & j/ L7 ^# T' c% P# x0 @
    ! ?5 f9 Z  [, ~+ m$ @, B! ~) E8 K不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资吊着。不退场,但也不全力以赴。4 `/ s0 L$ s9 `5 X7 r" M$ G

      s" C& ?/ ^* j中国肯定是全力以赴的。而且倾国之力肯定大于尼康、佳能。) j% {9 H9 V2 j3 G& Q" y
    ) b8 K( B+ E2 K
    这会有差别吗?
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    27#
    发表于 2024-9-17 11:13:37 | 只看该作者
    沉宝 发表于 2024-9-16 21:08
    . Z% O8 e3 _* i* k6 L( j" |理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积 ...

    ) V! @* h' Q$ T5 n/ E7 Q  H这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。
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    28#
    发表于 2024-9-17 11:19:08 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54
    3 G+ `: R3 K1 l5 \% k0 \* F按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    , _& q+ ~% H( T/ r0 M- Q所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    & s& v5 N8 k$ ~# x7 ]
    还没搞定?
    ; j, n9 b7 [" ?  W: R  Q* [我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的系统。我在的小破公司搭了一个,然后过去一起做,看能不能用。那个时候估计还是早期,这些基础的问题都没个数。做了几个实验,证明可以捕捉到微气泡发生,成长和运动的轨迹,我就撤了。这都十五年过去了。% `4 D, e  G; q; e2 T, S% H0 m
    尼康那时候已经有点不灵的迹象,食堂里面睡满了安装队的人。正常的话那些人都是满世界跑给别人装机器的。
    : }3 L; {6 {$ a& s  ^

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    坛里藏龙卧虎啊  发表于 2024-9-17 15:31

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    唐家山 + 4 伙呆了
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    29#
    发表于 2024-9-17 11:21:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54
    : k. l# a4 g$ i) J0 j按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定) ?* c9 y; e  q. w) T1 A. B
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    ; P! X- u5 a+ K" E9 s# S突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NAND也被卡了,因为光刻机的事,这说法准确吗?高端NAND需要多少nm节点的光刻机?
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    30#
    发表于 2024-9-17 11:23:33 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:136 f# a# b9 L7 }" e) X/ Y$ Z
    有道理。  |' J- ?1 F& z( W! Z, A* ?" B

    7 ]6 ~& x7 J  \8 f6 G/ n: K8 p不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资 ...
    ! B0 F  @: [$ w. G% |2 e: E( g
    可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞哪张嘴里。
    : y& \" b* q6 A: ?很多年前日本媒体评价日本财政用了很形象的词,叫硬直化。所有的钱都有定好的用处,几乎没有活动钱。需要财政支持的时候十分狼狈。该做的事情做不了,钱全都拿去维持日常运转了。

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      发表于 2024-9-17 15:32

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  • TA的每日心情
    开心
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    31#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:28:54 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 19:33 编辑
    4 d# l) `" s$ w! Q, p: d" ?2 V1 {
    雷声 发表于 2024-9-16 19:19
    ! i9 j" s9 F1 ?: C还没搞定? : q3 L' r5 S- N! l0 c
    我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的 ...

    + t0 s# t# x) ~# ?: R, [
    7 T& q2 Q1 i3 q% N+ z. P# `3 ^" pNikon是稳定性不行,被牙膏退货后就没人再买。疫情前去开spie的会,Nikon还吹牛自己行了,但主流客户没人用。. Q+ [; I3 y: U: P- I
    有网上谣言说华为买了些Nikon自己魔改做出了9100…俺比较怀疑真实性。
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    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    32#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:31:01 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:214 E5 v4 j0 N; G. M- o2 N
    突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NA ...

    % H* s9 ?% j, \# b存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。
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    33#
    发表于 2024-9-17 11:34:00 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:31
    # h) z# V9 l7 i/ b( F' F存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。 ...

    7 |1 A# j7 K) l( [' C需要用到浸润DUV吗?0 w- t* L" s4 C0 _( d( a( e. V+ W, Z
    / N+ H# U& r# Y% X7 i+ }
    我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    34#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:37:50 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:34/ q; Y; H' I: ]
    需要用到浸润DUV吗?
    , [+ @* Y8 k; m' X0 P  G0 }/ w
    / Z: m; ]) f% s7 _我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗? ...
    ! ^" f7 O5 {! s
    浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。
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    35#
    发表于 2024-9-17 11:38:06 | 只看该作者
    雷声 发表于 2024-9-16 21:23
    2 ^! D2 c) r4 F4 W5 ^: H& ^可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞 ...

    9 T3 R% I+ O6 S: o* z+ y8 Z0 s, ~. M是的,需要钱的地方太多,但光刻机和芯片可能是不计代价砸钱的方向,优先级比谁都高。这个瓶颈突破后,不只是军事、科技上的阳关道,经济上也是大片的处女地啊。
    " x+ Y2 [# v5 p8 x
    4 f1 r5 U) }' w- w% ^/ N: w硬直化很形象。确实,西方家大业大,花钱手笔也大,但每一笔钱都预定了用处,活动余地真心很小。你看看美国在预算削减时那个鸡飞狗跳,就知道真是谁都动不得。“平均剃头”是公认的最坏选择,但是唯一大家可接受的选择。
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    36#
    发表于 2024-9-17 11:40:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:378 b* X& E9 M! x% H1 b. k
    浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。 ...
    3 b' C6 q1 ~' |- v, d
    都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了?
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    37#
    发表于 2024-9-17 11:43:29 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54
    & V% I, h+ A- J( M( c- `按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    . N  m+ Y/ J/ h6 Y6 r# J8 R5 A7 N所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    : J6 v' B6 S9 O$ [) `具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均匀,从而折射率不均匀,影响成像。为了避免温差,必须让水快速流动混合,但又要避免产生漩涡或者析出气泡。水可以把所接触物品上的杂质洗下来,带到晶圆上,形成缺陷。当初ASML搞浸润式光刻机时,在浸液系统上与林本坚团队合作,方案修改了7-8回,耗时两年多才取得满意的结果。

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

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    38#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:59:49 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 20:02 编辑
      }) w, v, i% }; S, y# k0 R& d  \
    沉宝 发表于 2024-9-16 19:43
    7 {/ n) e. l6 R7 B6 j具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均 ...
    % F* Y3 W: j( Q& Z' {# X
    4 R9 O# O" F9 e6 S# v+ J+ B
    这当然不容易,不过两年挺快啦,看看牙膏的10nm……
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

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    39#
     楼主| 发表于 2024-9-17 12:01:58 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:40
    3 x5 {9 j& Q' D2 V都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了? ...

    # S' L* M7 p( p/ K不知道啦,也许是隐晦放风的说法。
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    40#
    发表于 2024-9-17 17:38:39 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13% l  ?/ ^- d: H+ H" q
    这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。 ...
    . _0 }& s5 i" v$ ?2 V
    中国大,各地方人气质不一,各擅胜场。精细活儿江南地方超过东北山东。如此说来,韩国近东北山东,台湾精英是江浙后代。
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