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[科普知识] 国产光刻机猜测

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  • TA的每日心情
    慵懒
    2022-8-27 22:14
  • 签到天数: 351 天

    [LV.8]合体

    21#
    发表于 2024-9-17 08:06:46 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 14:007 I  `' ?/ h5 m# e6 @
    也就是说,即使28nm现在还有光刻机瓶颈,其他也都就绪、只欠东风了。这是好事!
    - k0 {; ?- H' m: r! I+ M% a8 B/ `  a1 V8 s; o: ]/ R  u+ Z. I$ I, r
    个人感觉:相比于前一阵 ...
    & a& g0 G0 n  n+ J

    0 `2 v7 K3 S* z( p' F
    这就要西方好好领教什么叫产能过剩了。
    6 n+ P9 W% ?( |8 X& s
    应该会在5年内实现吧。
    ) V; N9 v- ~' B) F/ C) H; f- M* U& J. H) V4 Q' S
    微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    2 J, G$ u) ]6 E24-9-16 23:55
    5 _* L: a: l4 v1 L- K! I发布于 湖南: K4 b( P0 }1 @) t7 K* N9 M
    来自 微博网页版  j0 R2 S* _7 u
    啊,说过很多次了,#光刻机# 不是挖机. g! V' d/ e( k
    不是运过来就能直接开工的。5 R/ l" t" \5 T
    他需要调试,需要不断的用,一边用一边调整,等光学畸变稳定——你可以理解为拷机或者汽车发动热机暖机。0 G' U# c1 ~% \; q& Y3 o

    1 d5 c4 n) O5 c# U4 c. D- J, ^这个时间很长,也是我常年说:
    $ X; k8 _( O5 Z- K0 b就算今天ASML传送一台EUV给咱,我们拿到第一批量产的芯片流片完(无论7nm,5nm还是多少)起码2年后——这最乐观的2年时间,还得是对EUV非常有经验的顶级工程师来操作优化。
    " a& D: w* ~; c) U; j" P
    : ~: a/ \  x8 Q" h: I5 I现在发布的这台机器是起码3年前就验收了(科工),现在工信部验收推广(产业链),成熟得不行了才拿出来的。你需要,给钱就有,不限量。
    & a& d& j& n/ V- n
    . d% q: T9 q/ w, Z9 |) i; D简单理解就是——这机子是干式光刻机,做的是65-55nm的芯片,一次曝光。
    + \" |0 q3 k  \$ W干式光刻机没啥意义,为什么呢?因为改进之后的也可以出产低制程的,向下兼容并且良率更高(成本低方案成熟)* ^* X% U0 l% u- {8 B7 d9 o& I
    多重曝光也不是这哥们来做……(我是不清楚干式光刻机有没人搞这个)8 O3 q0 z5 J9 U' t4 M1 c- O( T3 ^
    但这玩意的光路设计啥的,是成型了的。有了它,就加浸没式透镜,修改物镜,最终成品是目前没有验收但肯定存在某个地方的浸没式光刻机,但起码上线了2年了5 y; }' m6 w4 N7 t

    2 J' W( p1 c; c& s8 ~没公布的那个肯定还在不断的调试,修改,更换国产配件。) L# i5 ^$ X6 d% X! W6 m
    普通人不用管光刻机啥情况——你就看最终产品就是。( H* [  p2 N0 a
    #华为mate70# 也没多久了。6 u( P4 \: k* c  z0 u# M

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    这真是极好的: 5.0
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      发表于 2024-9-18 15:38
    给力: 5 涨姿势: 5 这真是极好的: 5
      发表于 2024-9-17 08:38
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    22#
     楼主| 发表于 2024-9-17 08:15:36 | 只看该作者
    老财迷 发表于 2024-9-16 16:06: z( _+ c& l( d0 x
    应该会在5年内实现吧。
    % u2 m  P  W& r5 ]9 A" c, L1 ]' }. l
    + `3 X" u4 j" j1 O% w& I微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    0 e: y0 I+ z& a/ u; a. f3 U

    , c+ E3 p7 N1 P- j% p; x3 y这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

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    油菜: 5 给力: 5
    以你说的为准 :)  发表于 2024-9-17 15:27

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    23#
    发表于 2024-9-17 08:39:20 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 18:15
    8 s8 q( {7 {" L7 t& ]这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。
    2 E: ]  ?9 C! @' V0 ~: e
    但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    24#
     楼主| 发表于 2024-9-17 10:54:17 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 18:56 编辑
    % m% J5 j7 }- b2 V: k$ o1 G& a& W
    晨枫 发表于 2024-9-16 16:394 O$ I* X- I5 H! n1 ^) w- h
    但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?

    8 f( }% o1 b0 w3 Z) q6 r% S: O# |3 A& r$ K" O$ I% a8 M
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定" @/ l: H9 [. ~( F) t2 t
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述

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    25#
    发表于 2024-9-17 11:08:25 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 03:34* S3 d" B/ L: Z8 n  X6 ~' u
    不过EUV制作7nm可以轻易一次曝光,产率和良率应该提高很多?
    1 z% {9 d) H2 {# ]8 _: j
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积电用193nm光刻机率先量产7nm,三星则以更先进的EUV光刻机应战,由于对新型光刻机的熟悉不足,结果良率低下,很多人抛弃三星。最后三星赔本赚吆喝,开出比台积电低30%的代工费用,才勉强留下大客户。

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      发表于 2024-9-17 15:28

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    26#
    发表于 2024-9-17 11:13:01 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54
    ( F  M* C9 B- i' w按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定6 R: D4 w) f' l: I& S/ F
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    ; p6 d- a9 s1 }' e$ V% m
    有道理。! J& L, N( I: B% ^& M4 ~/ S/ y
    0 p8 ?2 m! L% x# U
    不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资吊着。不退场,但也不全力以赴。( [$ G( m2 K2 V3 g1 a* L8 I

    6 {% y& Z. M, H$ B  X2 z/ O中国肯定是全力以赴的。而且倾国之力肯定大于尼康、佳能。
    4 E/ Q3 v# ?. e3 K0 _) {; ]) z/ @& S
    5 a# D" p0 L" g( G9 v! N4 t  w这会有差别吗?
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    27#
    发表于 2024-9-17 11:13:37 | 只看该作者
    沉宝 发表于 2024-9-16 21:08& W7 v: h) K3 b0 a$ G6 v9 V
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积 ...
    ' F9 H3 V: G& M3 W" U* ]- w
    这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。
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    28#
    发表于 2024-9-17 11:19:08 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54: [6 t2 p$ v: p* y& _
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定$ x' D8 T/ k9 h* n: h! u
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    4 W$ a3 {( y9 e0 M
    还没搞定?
    7 D( w$ G1 \( l3 ~  O- M我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的系统。我在的小破公司搭了一个,然后过去一起做,看能不能用。那个时候估计还是早期,这些基础的问题都没个数。做了几个实验,证明可以捕捉到微气泡发生,成长和运动的轨迹,我就撤了。这都十五年过去了。9 H$ Z0 j# X  t4 \1 p' w& y% F
    尼康那时候已经有点不灵的迹象,食堂里面睡满了安装队的人。正常的话那些人都是满世界跑给别人装机器的。3 X5 S8 v( l) q1 `! ~) j3 K2 c

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    坛里藏龙卧虎啊  发表于 2024-9-17 15:31

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    唐家山 + 4 伙呆了
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    29#
    发表于 2024-9-17 11:21:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54
    5 P) \9 q. Q# ^" d按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    , c( }: n2 n" t, K8 H, a所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    % C$ o) p  k; a6 t4 h7 \4 w
    突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NAND也被卡了,因为光刻机的事,这说法准确吗?高端NAND需要多少nm节点的光刻机?
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    30#
    发表于 2024-9-17 11:23:33 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13
    ! ?/ H, p/ k! k0 y有道理。
    * j$ m" N5 J' b( O
    ! q6 a# K% N' @  J- _: V6 |不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资 ...
    9 Z4 _: }9 H& q( Z7 O# z: ^
    可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞哪张嘴里。4 x$ [0 s) g' ?
    很多年前日本媒体评价日本财政用了很形象的词,叫硬直化。所有的钱都有定好的用处,几乎没有活动钱。需要财政支持的时候十分狼狈。该做的事情做不了,钱全都拿去维持日常运转了。

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      发表于 2024-9-17 15:32

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    开心
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    31#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:28:54 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 19:33 编辑 1 g' V% D9 d% e* F! L  Z
    雷声 发表于 2024-9-16 19:19: y3 H* {# ~$ S  L1 n# ]
    还没搞定?
    $ _! C8 x+ F  R( A/ C: P我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的 ...
    & W, b  H& r# X+ E# o
    ! @: L( L3 M9 G- \* y! F# h9 v
    Nikon是稳定性不行,被牙膏退货后就没人再买。疫情前去开spie的会,Nikon还吹牛自己行了,但主流客户没人用。
    ( O, T) g$ `$ Q' ~" i有网上谣言说华为买了些Nikon自己魔改做出了9100…俺比较怀疑真实性。
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    32#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:31:01 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:21
    " b. }6 \4 H4 M$ q突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NA ...

    & a; X2 b1 P% v2 w5 \存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。
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    33#
    发表于 2024-9-17 11:34:00 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:31
    ( o; X5 _( I, ]& z3 a. f2 T存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。 ...
    - J4 ^* t, D& ~
    需要用到浸润DUV吗?
    . E6 Y/ \3 Z, N  e8 J' f2 M; I) X$ h8 l- O' D. g: |" G# q1 h% Y. ]
    我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗?
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    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    34#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:37:50 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:34
    ! i* n  K: X, u5 C需要用到浸润DUV吗?1 a, \$ z3 K8 z: Y! R

    ) P6 s! d& ^7 t) y8 w& Y我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗? ...
    % F* C/ C! u4 R5 w' k
    浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。
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    35#
    发表于 2024-9-17 11:38:06 | 只看该作者
    雷声 发表于 2024-9-16 21:23
    - n& f. Z, J. S. \. y  H可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞 ...
    2 M" I* U, y! s' S
    是的,需要钱的地方太多,但光刻机和芯片可能是不计代价砸钱的方向,优先级比谁都高。这个瓶颈突破后,不只是军事、科技上的阳关道,经济上也是大片的处女地啊。
    & p9 Z( z* |2 i2 G" G+ c5 E) C/ G* \1 W5 k; Z( Y: d
    硬直化很形象。确实,西方家大业大,花钱手笔也大,但每一笔钱都预定了用处,活动余地真心很小。你看看美国在预算削减时那个鸡飞狗跳,就知道真是谁都动不得。“平均剃头”是公认的最坏选择,但是唯一大家可接受的选择。
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    36#
    发表于 2024-9-17 11:40:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:37" c% t5 M+ K! K/ [" f# I9 H
    浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。 ...

    2 j! y! p& U& z- I. D都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了?
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    37#
    发表于 2024-9-17 11:43:29 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54% Q* V; V3 c8 y7 v, l
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    ) t. m0 D  k& G+ F所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    . Q  c1 z8 ?/ Z  \7 h/ `; j
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均匀,从而折射率不均匀,影响成像。为了避免温差,必须让水快速流动混合,但又要避免产生漩涡或者析出气泡。水可以把所接触物品上的杂质洗下来,带到晶圆上,形成缺陷。当初ASML搞浸润式光刻机时,在浸液系统上与林本坚团队合作,方案修改了7-8回,耗时两年多才取得满意的结果。

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    38#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:59:49 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 20:02 编辑
    3 Q( R+ H% i0 S7 e
    沉宝 发表于 2024-9-16 19:436 e0 }3 F) U9 j5 Y* h
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均 ...

    3 R3 H( }9 e; Y, @4 h6 H% J6 S
    这当然不容易,不过两年挺快啦,看看牙膏的10nm……
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

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    39#
     楼主| 发表于 2024-9-17 12:01:58 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:40+ h' C+ w, d- J) s7 A" Y* r2 L
    都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了? ...
    ) D# v: Q& c9 s- g6 t
    不知道啦,也许是隐晦放风的说法。
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    40#
    发表于 2024-9-17 17:38:39 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13* ]0 s/ }9 ]  s; J, d
    这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。 ...

    " L: p- r9 g8 v" `中国大,各地方人气质不一,各擅胜场。精细活儿江南地方超过东北山东。如此说来,韩国近东北山东,台湾精英是江浙后代。
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