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楼主: moletronic
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[科普知识] 国产光刻机猜测

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  • TA的每日心情
    慵懒
    2022-8-27 22:14
  • 签到天数: 351 天

    [LV.8]合体

    21#
    发表于 2024-9-17 08:06:46 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 14:00
    ) D2 L4 c! H6 I: w也就是说,即使28nm现在还有光刻机瓶颈,其他也都就绪、只欠东风了。这是好事!6 A& o) r  b; g0 E; I& |% N

    9 j; u; J( H& ^6 }' m+ k个人感觉:相比于前一阵 ...
    " ^1 `$ O# [  ]- e; t) p5 l( m# ^. A

    " O" u  l  S  u9 m& o5 |$ s; r
    这就要西方好好领教什么叫产能过剩了。
    3 W1 d6 C/ ]. q" A- o( t
    应该会在5年内实现吧。
    # q6 W2 n) x: m0 Z# |, a. f1 u, B7 v$ ~* ]
    微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)1 y, L+ @; S* r2 b3 P6 T- @$ o
    24-9-16 23:55
    " ]7 o9 N0 e/ w0 |发布于 湖南- q: N6 D8 n) y% i% @
    来自 微博网页版
    1 u" k: d5 E" o  c! `% \% m+ Q$ M啊,说过很多次了,#光刻机# 不是挖机
    5 x6 D' e$ r. O- |4 c# B不是运过来就能直接开工的。! ?6 d  |) n: e( ~
    他需要调试,需要不断的用,一边用一边调整,等光学畸变稳定——你可以理解为拷机或者汽车发动热机暖机。
    & \  i& }1 }+ D; W$ M) ]2 H) [, ~2 c4 J& I% Y) {
    这个时间很长,也是我常年说:
    6 l2 _3 j' _4 |. p8 \就算今天ASML传送一台EUV给咱,我们拿到第一批量产的芯片流片完(无论7nm,5nm还是多少)起码2年后——这最乐观的2年时间,还得是对EUV非常有经验的顶级工程师来操作优化。
    ! ?. I9 e% v  ]; h! e: B9 ?, q$ {" K* j- V
    现在发布的这台机器是起码3年前就验收了(科工),现在工信部验收推广(产业链),成熟得不行了才拿出来的。你需要,给钱就有,不限量。8 ]+ Z. m% p" i$ K& W7 e8 }
    : U3 ~4 i, Q0 E
    简单理解就是——这机子是干式光刻机,做的是65-55nm的芯片,一次曝光。/ m: I4 E1 ]1 w
    干式光刻机没啥意义,为什么呢?因为改进之后的也可以出产低制程的,向下兼容并且良率更高(成本低方案成熟)# F4 Z7 C5 L' f% f5 ]
    多重曝光也不是这哥们来做……(我是不清楚干式光刻机有没人搞这个)( x0 _5 |4 p& ]
    但这玩意的光路设计啥的,是成型了的。有了它,就加浸没式透镜,修改物镜,最终成品是目前没有验收但肯定存在某个地方的浸没式光刻机,但起码上线了2年了
    7 ]1 R  o0 Q$ M2 I5 t8 k& g" z8 m
    " e% V1 Y: T( e没公布的那个肯定还在不断的调试,修改,更换国产配件。# O! B: E, C' L/ Q6 o) U7 Z
    普通人不用管光刻机啥情况——你就看最终产品就是。6 o/ \0 m9 x' h& o8 P7 n+ W2 D
    #华为mate70# 也没多久了。! v$ e8 O: F+ k* A' g$ Z: S

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    这真是极好的: 5.0
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      发表于 2024-9-18 15:38
    给力: 5 涨姿势: 5 这真是极好的: 5
      发表于 2024-9-17 08:38
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    22#
     楼主| 发表于 2024-9-17 08:15:36 | 只看该作者
    老财迷 发表于 2024-9-16 16:06! P* ~) c. o( W$ i7 [, p
    应该会在5年内实现吧。
    / w. O8 x) M( e+ s! {7 D' i( b$ X; x. E
    微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    / B4 y; c% C( ~' ]. H  m9 D# d3 g
    7 [' }2 K8 }7 r8 q4 k4 N* m8 L
    这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

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    以你说的为准 :)  发表于 2024-9-17 15:27

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    23#
    发表于 2024-9-17 08:39:20 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 18:15# m4 _" L  Y2 \1 _4 [
    这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

    5 ?/ U- ?8 X$ ^! e8 s但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    24#
     楼主| 发表于 2024-9-17 10:54:17 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 18:56 编辑
    % m2 j+ o" p& n4 e0 f0 \
    晨枫 发表于 2024-9-16 16:39
    . b3 j. w0 {& q! e/ z0 K2 x  `2 R但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
    + I( V% z4 \9 k- k2 a
    ; B7 y6 o! F- P) T+ e2 W" k
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定" g, R, i% `6 l% A2 C
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述

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    25#
    发表于 2024-9-17 11:08:25 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 03:34$ S9 l3 I1 P1 g+ L8 W
    不过EUV制作7nm可以轻易一次曝光,产率和良率应该提高很多?

    % B( k1 h. C, B+ b% V) p理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积电用193nm光刻机率先量产7nm,三星则以更先进的EUV光刻机应战,由于对新型光刻机的熟悉不足,结果良率低下,很多人抛弃三星。最后三星赔本赚吆喝,开出比台积电低30%的代工费用,才勉强留下大客户。

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      发表于 2024-9-17 15:28

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    26#
    发表于 2024-9-17 11:13:01 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54# k; e- ~& m! `: `# P8 O
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    4 L8 M* b4 x; l/ W8 K- z+ g+ v所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    5 v! w. I- _! h8 L" A; O有道理。; t0 D8 g" t: A% |# _" S3 k

    . i& c8 z0 h$ D不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资吊着。不退场,但也不全力以赴。: }( p' Y! G# [' w2 O. @
    4 Z+ m$ k2 ?* U0 |& e" s9 ~
    中国肯定是全力以赴的。而且倾国之力肯定大于尼康、佳能。$ ]8 Z4 f& J+ {: P3 G) U& c
    ) h# u/ l- i9 p* v  H  @) i. V
    这会有差别吗?
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    27#
    发表于 2024-9-17 11:13:37 | 只看该作者
    沉宝 发表于 2024-9-16 21:08/ V! b4 B1 n, |$ G* K$ v, D0 H
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积 ...
    . o: C- G; }- V# N
    这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。
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    28#
    发表于 2024-9-17 11:19:08 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54
    + |, P7 k  {# I- G+ _0 I  j按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定+ H6 _8 {1 ~. [; ~' q5 m" _6 L
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    # m6 P! p, O' [还没搞定?
    ( j/ c- f# |7 L& b( Z5 B! q我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的系统。我在的小破公司搭了一个,然后过去一起做,看能不能用。那个时候估计还是早期,这些基础的问题都没个数。做了几个实验,证明可以捕捉到微气泡发生,成长和运动的轨迹,我就撤了。这都十五年过去了。4 Z9 z) z4 X0 g& W9 V) c
    尼康那时候已经有点不灵的迹象,食堂里面睡满了安装队的人。正常的话那些人都是满世界跑给别人装机器的。; J' w4 x0 f0 l- B

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    坛里藏龙卧虎啊  发表于 2024-9-17 15:31

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    29#
    发表于 2024-9-17 11:21:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54
    ! y3 X5 Y5 w0 A' f: z3 o  c/ Q按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定. A! p+ q( g) ?8 e  b
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    / I# J( o# Y( H( w( F突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NAND也被卡了,因为光刻机的事,这说法准确吗?高端NAND需要多少nm节点的光刻机?
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    30#
    发表于 2024-9-17 11:23:33 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13/ T( ^; N6 i, w
    有道理。
    * m) l+ C/ @4 K. R* j3 Q6 d
    9 t. W! C3 K  N( I不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资 ...

    9 U" Z  n/ |* h# F5 w" |可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞哪张嘴里。" }* l0 ]" a) B# o$ K' M7 |
    很多年前日本媒体评价日本财政用了很形象的词,叫硬直化。所有的钱都有定好的用处,几乎没有活动钱。需要财政支持的时候十分狼狈。该做的事情做不了,钱全都拿去维持日常运转了。

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      发表于 2024-9-17 15:32

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    31#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:28:54 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 19:33 编辑 7 w: L0 c9 y8 P3 n5 @& Y5 ]7 _) r  _
    雷声 发表于 2024-9-16 19:19
    3 z# R7 z0 s  t* S5 k6 q/ U4 n还没搞定?
    * V+ a: g* {' q* I. E我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的 ...

    + A  W% i5 n4 i8 `
    ' c7 L: H; B+ j  NNikon是稳定性不行,被牙膏退货后就没人再买。疫情前去开spie的会,Nikon还吹牛自己行了,但主流客户没人用。1 h# z: V/ f$ W7 a0 ^7 C' Y) f3 d
    有网上谣言说华为买了些Nikon自己魔改做出了9100…俺比较怀疑真实性。
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    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    32#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:31:01 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:21/ O, t4 G) @4 m7 T1 j/ i' u  A
    突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NA ...

    2 v! [! B. w! \7 s0 r存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。
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    33#
    发表于 2024-9-17 11:34:00 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:31
    ( z* m% L$ [8 C6 q存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。 ...
    # B& P" {: s5 H3 ?7 J. L$ y
    需要用到浸润DUV吗?5 M, Y+ c! w1 |. `

    9 D7 P% }4 r" i3 T% _我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    34#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:37:50 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:34. d" `9 [% `* e+ w& m- K
    需要用到浸润DUV吗?4 n' z9 w: E+ i- T+ h# b; M

    ) G% L8 ?0 N8 i0 y' n. i3 S我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗? ...
    % A4 q* y' _: r& |4 b4 w
    浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。
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    35#
    发表于 2024-9-17 11:38:06 | 只看该作者
    雷声 发表于 2024-9-16 21:238 w# U% |$ C, K# P( b" s
    可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞 ...

    ' v1 L. ]9 [6 A) E6 e, G是的,需要钱的地方太多,但光刻机和芯片可能是不计代价砸钱的方向,优先级比谁都高。这个瓶颈突破后,不只是军事、科技上的阳关道,经济上也是大片的处女地啊。6 ^4 P, f7 O/ B. l" h& a, z, ?
    1 d+ r, G6 {% g& b+ {$ q
    硬直化很形象。确实,西方家大业大,花钱手笔也大,但每一笔钱都预定了用处,活动余地真心很小。你看看美国在预算削减时那个鸡飞狗跳,就知道真是谁都动不得。“平均剃头”是公认的最坏选择,但是唯一大家可接受的选择。
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    36#
    发表于 2024-9-17 11:40:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:37& a. K. i, Q" h2 V. Y8 s- S
    浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。 ...

    , D; z! D/ j& v! M都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了?
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    37#
    发表于 2024-9-17 11:43:29 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54
    7 u) B. N6 o5 O8 ^& g按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定- v3 \! x, T$ b
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    0 E9 V( B( i" S1 N: d6 g2 H) p( m
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均匀,从而折射率不均匀,影响成像。为了避免温差,必须让水快速流动混合,但又要避免产生漩涡或者析出气泡。水可以把所接触物品上的杂质洗下来,带到晶圆上,形成缺陷。当初ASML搞浸润式光刻机时,在浸液系统上与林本坚团队合作,方案修改了7-8回,耗时两年多才取得满意的结果。

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    38#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:59:49 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 20:02 编辑
    ( f) I# ~  u9 d
    沉宝 发表于 2024-9-16 19:43- X+ o8 e1 K- N
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均 ...
    " s. k4 X5 E( x7 G% e1 J

    4 G0 G$ ~0 E% [这当然不容易,不过两年挺快啦,看看牙膏的10nm……
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    39#
     楼主| 发表于 2024-9-17 12:01:58 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:40( B' s  g- c4 ^$ W6 m/ e
    都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了? ...
    ) a% d2 R2 u3 q8 e" m
    不知道啦,也许是隐晦放风的说法。
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    40#
    发表于 2024-9-17 17:38:39 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13
    , R: @- h, n# K这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。 ...
    . V9 f4 j* q/ q- a, P# f
    中国大,各地方人气质不一,各擅胜场。精细活儿江南地方超过东北山东。如此说来,韩国近东北山东,台湾精英是江浙后代。
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