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楼主: moletronic
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[科普知识] 国产光刻机猜测

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  • TA的每日心情
    慵懒
    2022-8-27 22:14
  • 签到天数: 351 天

    [LV.8]合体

    21#
    发表于 2024-9-17 08:06:46 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 14:00# o! o! R6 z, Z- S! y8 @
    也就是说,即使28nm现在还有光刻机瓶颈,其他也都就绪、只欠东风了。这是好事!3 A4 _0 [1 y2 u7 k; `
    % r+ N) `6 y1 w+ s! u& o
    个人感觉:相比于前一阵 ...

    8 x, o- Z9 N& h4 Y8 L$ M6 [! z8 a1 v* S/ ?9 K6 q3 B
    这就要西方好好领教什么叫产能过剩了。

    4 O" D+ N6 d, p) s3 [0 I  t$ }7 J应该会在5年内实现吧。: e5 f" |2 L: P

    ) ^* F  X& t# G. L* k微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)2 M% t7 ]6 s5 f3 E* T) W( B2 A8 [
    24-9-16 23:55
    . ~5 l& c! Z/ E! ^6 O) {. y发布于 湖南9 D- \( G& ?  s! I' z
    来自 微博网页版
    & {; ^' r3 D3 y! h" T啊,说过很多次了,#光刻机# 不是挖机/ [7 b" u7 U- `2 m
    不是运过来就能直接开工的。
    1 r& ^& U/ D" o5 B5 V& B* `- P他需要调试,需要不断的用,一边用一边调整,等光学畸变稳定——你可以理解为拷机或者汽车发动热机暖机。
    ! u" B4 }$ t  T+ I9 |
    ! ~$ E1 V  \# K/ B) |这个时间很长,也是我常年说:
    9 o$ `) A' Q5 D! B/ Y8 B就算今天ASML传送一台EUV给咱,我们拿到第一批量产的芯片流片完(无论7nm,5nm还是多少)起码2年后——这最乐观的2年时间,还得是对EUV非常有经验的顶级工程师来操作优化。1 S! q. g  ?/ M5 @; ~$ w- q$ ~, }
    9 @  q( m3 H+ C: M8 {- M
    现在发布的这台机器是起码3年前就验收了(科工),现在工信部验收推广(产业链),成熟得不行了才拿出来的。你需要,给钱就有,不限量。
    3 \/ q; M. k& _2 `. x& I0 d6 X  t1 ?
    # N7 O9 Q% s6 e2 f& J# d简单理解就是——这机子是干式光刻机,做的是65-55nm的芯片,一次曝光。7 I4 u# F; W/ {# r& h( q9 I* `
    干式光刻机没啥意义,为什么呢?因为改进之后的也可以出产低制程的,向下兼容并且良率更高(成本低方案成熟)
    - _5 B/ l+ T% g/ u% \+ H  K* n! h多重曝光也不是这哥们来做……(我是不清楚干式光刻机有没人搞这个)
    7 R1 m( x7 w3 J+ R但这玩意的光路设计啥的,是成型了的。有了它,就加浸没式透镜,修改物镜,最终成品是目前没有验收但肯定存在某个地方的浸没式光刻机,但起码上线了2年了1 _* I; H1 D( L! w* x
    0 _% K4 b8 _' G+ n
    没公布的那个肯定还在不断的调试,修改,更换国产配件。
    2 K" `6 O3 r) Z0 C普通人不用管光刻机啥情况——你就看最终产品就是。5 Y) \+ ?/ z! R2 s. [2 C
    #华为mate70# 也没多久了。
    4 C& }: j. U, f
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    22#
     楼主| 发表于 2024-9-17 08:15:36 | 只看该作者
    老财迷 发表于 2024-9-16 16:06
    + g/ j/ U* x1 ?- ]7 h应该会在5年内实现吧。' X8 m" U. O! _, [3 D  e9 p5 V

    ; W! l6 z/ W5 Y) t- y微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    ( \& q- v7 r" T: @( z

    6 g' K& a. G2 V+ d这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

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    油菜: 5 给力: 5
    以你说的为准 :)  发表于 2024-9-17 15:27

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    23#
    发表于 2024-9-17 08:39:20 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 18:15
    3 _" j# K% _% x/ m, }: \这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

    & Z/ v+ y, d5 ?- }& _但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    24#
     楼主| 发表于 2024-9-17 10:54:17 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 18:56 编辑 ; B; `5 `( B" ^& s# V
    晨枫 发表于 2024-9-16 16:39
    8 y- x+ i: U! L: ^5 t1 O3 s但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
    ' x: Q  E3 o* H( ?- R

    ! u# h. `) d5 o$ }按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定" H$ A4 `) {$ w8 M3 a; o
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述

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    25#
    发表于 2024-9-17 11:08:25 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 03:34
    , P$ R+ B! i) @$ E  x, q. P' V不过EUV制作7nm可以轻易一次曝光,产率和良率应该提高很多?

    7 ^. R0 ~8 g, [9 q理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积电用193nm光刻机率先量产7nm,三星则以更先进的EUV光刻机应战,由于对新型光刻机的熟悉不足,结果良率低下,很多人抛弃三星。最后三星赔本赚吆喝,开出比台积电低30%的代工费用,才勉强留下大客户。

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      发表于 2024-9-17 15:28

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    26#
    发表于 2024-9-17 11:13:01 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54
    3 X6 K6 W  N6 S/ J% ^) Z, g按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定. i  v% D2 ~8 g6 R. I
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    9 C& m5 P* P3 @0 R( A有道理。
    4 ?$ ?- M. ]" f/ A' r/ m, s! a. i! Z5 n
    不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资吊着。不退场,但也不全力以赴。
      }2 r$ x0 g" S! p  g* I; i% \9 u1 s+ a; h4 h7 m
    中国肯定是全力以赴的。而且倾国之力肯定大于尼康、佳能。
    ) u) \7 l  e# \- Y& w2 u: A' m) _) @7 |9 ^7 X$ P
    这会有差别吗?
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    27#
    发表于 2024-9-17 11:13:37 | 只看该作者
    沉宝 发表于 2024-9-16 21:08
    0 |" M0 p- ]! m3 s2 U' u1 r理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积 ...
    ) f/ ~2 L) c4 R6 u0 ~
    这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。
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    28#
    发表于 2024-9-17 11:19:08 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54, E; y. D  s% V: x* A
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定' D# q- p( ]6 t
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    4 M" `0 S, r# w4 o
    还没搞定? ; J: f6 n' k- t. J' g
    我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的系统。我在的小破公司搭了一个,然后过去一起做,看能不能用。那个时候估计还是早期,这些基础的问题都没个数。做了几个实验,证明可以捕捉到微气泡发生,成长和运动的轨迹,我就撤了。这都十五年过去了。0 |% f8 V- t* n0 k$ T
    尼康那时候已经有点不灵的迹象,食堂里面睡满了安装队的人。正常的话那些人都是满世界跑给别人装机器的。" g( Q! h1 _5 {* n

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    坛里藏龙卧虎啊  发表于 2024-9-17 15:31

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    29#
    发表于 2024-9-17 11:21:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54
    ; A1 Y" q& H7 e+ ]2 m) @$ ?+ x2 k( J按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定: K, G$ _+ i: c% X7 m7 `
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    + }7 W8 \3 [* L! s4 X1 [4 C突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NAND也被卡了,因为光刻机的事,这说法准确吗?高端NAND需要多少nm节点的光刻机?
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    30#
    发表于 2024-9-17 11:23:33 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13
    $ d, ~: E5 K9 q有道理。
    1 x/ G2 w" a! g7 }6 o0 y! |
    / I/ w. W- e+ V不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资 ...
    * \6 X9 \6 ?0 k
    可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞哪张嘴里。7 y- h6 }3 P8 x0 _8 H" j+ ]2 ?
    很多年前日本媒体评价日本财政用了很形象的词,叫硬直化。所有的钱都有定好的用处,几乎没有活动钱。需要财政支持的时候十分狼狈。该做的事情做不了,钱全都拿去维持日常运转了。

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      发表于 2024-9-17 15:32

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    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    31#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:28:54 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 19:33 编辑
    - \- I( k& B; m0 t' S# o6 d
    雷声 发表于 2024-9-16 19:19
    " ?% l  Y' c4 h* J& X2 q还没搞定? 6 N1 z  ^% Q3 Z( m6 c# P
    我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的 ...
    7 g( j2 M/ c+ N9 I

    $ Z4 o. s: r  l6 ^/ g$ u- _* rNikon是稳定性不行,被牙膏退货后就没人再买。疫情前去开spie的会,Nikon还吹牛自己行了,但主流客户没人用。
    , m# O8 s0 q/ S5 _% T- F有网上谣言说华为买了些Nikon自己魔改做出了9100…俺比较怀疑真实性。
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    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    32#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:31:01 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:210 k* S$ I1 Q% ~; z% q1 f: b
    突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NA ...

    , G# h+ k' a8 |. M存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。
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    33#
    发表于 2024-9-17 11:34:00 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:31" Z: I2 g) v, {) w
    存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。 ...

    7 w! d6 _) R5 P5 A# K- u需要用到浸润DUV吗?
    9 p3 B  @$ i% C3 G' Y4 ^% X& p
    1 A8 \, l/ L0 T# I) Z. N! {1 N$ y我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗?
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    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    34#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:37:50 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:34
    ! e/ \; p* ]0 \( I需要用到浸润DUV吗?3 J$ ]) ]0 U6 Z5 {7 u  r

    1 j1 Z7 s( t$ \! h我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗? ...

    1 R- e, I- ]3 T6 a9 L4 k+ o浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。
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    35#
    发表于 2024-9-17 11:38:06 | 只看该作者
    雷声 发表于 2024-9-16 21:23
    $ ^! B* r4 X+ I& H8 W6 c可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞 ...
    7 Z" d$ Y2 q+ b0 a" `$ S
    是的,需要钱的地方太多,但光刻机和芯片可能是不计代价砸钱的方向,优先级比谁都高。这个瓶颈突破后,不只是军事、科技上的阳关道,经济上也是大片的处女地啊。! `" P  B$ A7 x6 b) n- L$ D
    . p9 L1 X  [0 M4 i/ C/ T
    硬直化很形象。确实,西方家大业大,花钱手笔也大,但每一笔钱都预定了用处,活动余地真心很小。你看看美国在预算削减时那个鸡飞狗跳,就知道真是谁都动不得。“平均剃头”是公认的最坏选择,但是唯一大家可接受的选择。
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    36#
    发表于 2024-9-17 11:40:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:37
    . V, K; i5 {. |; b1 g8 Z& P+ q浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。 ...
    . t1 i7 C; G2 @& B
    都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了?
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    37#
    发表于 2024-9-17 11:43:29 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54! {$ t( w8 R5 E0 K1 |$ l
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定" ~* R) e) q3 h! H! D* a
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    ! G, R4 i2 Z  w具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均匀,从而折射率不均匀,影响成像。为了避免温差,必须让水快速流动混合,但又要避免产生漩涡或者析出气泡。水可以把所接触物品上的杂质洗下来,带到晶圆上,形成缺陷。当初ASML搞浸润式光刻机时,在浸液系统上与林本坚团队合作,方案修改了7-8回,耗时两年多才取得满意的结果。

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    38#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:59:49 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 20:02 编辑 ! o. {' d$ j( M& F7 z9 E# {
    沉宝 发表于 2024-9-16 19:43: P4 i! }- U9 ?$ o, k+ q" ?' U
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均 ...

    ' K! \6 I& y+ @8 m) z& v/ B
    % G/ c2 n$ E8 b这当然不容易,不过两年挺快啦,看看牙膏的10nm……
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    39#
     楼主| 发表于 2024-9-17 12:01:58 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:400 w/ c) _8 z% _5 B3 S2 J$ a
    都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了? ...
    - T' \4 ~9 k0 m, o" R4 X% T& t/ T
    不知道啦,也许是隐晦放风的说法。
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    40#
    发表于 2024-9-17 17:38:39 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13/ U( ]- a% ^2 d
    这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。 ...
    9 C6 W; V/ x5 Y3 U6 s/ Q' [/ s" l( c
    中国大,各地方人气质不一,各擅胜场。精细活儿江南地方超过东北山东。如此说来,韩国近东北山东,台湾精英是江浙后代。
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