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[科普知识] 国产光刻机猜测

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  • TA的每日心情
    慵懒
    2022-8-27 22:14
  • 签到天数: 351 天

    [LV.8]合体

    21#
    发表于 2024-9-17 08:06:46 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 14:00
    % o1 @( r  d) [' ^% E也就是说,即使28nm现在还有光刻机瓶颈,其他也都就绪、只欠东风了。这是好事!+ a8 N% h# [* Z8 M
    2 d. @9 p! F4 L  r- ^1 C- `' l
    个人感觉:相比于前一阵 ...

    ! {% P5 _) n* \, W8 u9 h# d- B- Q# ~* H! o
    这就要西方好好领教什么叫产能过剩了。
    . ?7 b6 l5 L8 t. P( c8 f8 ?7 c6 W% v6 n
    应该会在5年内实现吧。, \4 B: C2 n+ }) I7 C) ?
    ' ?. e; s. |6 E0 D- e
    微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)- {2 c! c6 d8 @8 f: S
    24-9-16 23:55
    + P8 j6 W# Q+ q' Y发布于 湖南
    ) W+ {+ ^( g7 a  K7 F$ x, I2 k2 ^来自 微博网页版
    6 t7 N( B! y7 a) [0 U6 i: }4 c啊,说过很多次了,#光刻机# 不是挖机: t+ Q9 g* z/ W0 Q4 ^6 U% H" R+ T
    不是运过来就能直接开工的。6 _; l3 y' f& I, n" r
    他需要调试,需要不断的用,一边用一边调整,等光学畸变稳定——你可以理解为拷机或者汽车发动热机暖机。
    ( |) t* @: N, O, _; G- V9 ^* @" B9 P8 n9 o8 t
    这个时间很长,也是我常年说:
    6 `+ S0 d" Y4 i7 M" v就算今天ASML传送一台EUV给咱,我们拿到第一批量产的芯片流片完(无论7nm,5nm还是多少)起码2年后——这最乐观的2年时间,还得是对EUV非常有经验的顶级工程师来操作优化。1 ]+ H( g' l, M: \
    - L/ {. G( A: V. z; ?) o- \- \
    现在发布的这台机器是起码3年前就验收了(科工),现在工信部验收推广(产业链),成熟得不行了才拿出来的。你需要,给钱就有,不限量。3 U1 J" G8 s0 V
      N: L* M  L$ X/ k
    简单理解就是——这机子是干式光刻机,做的是65-55nm的芯片,一次曝光。
    # @# Z9 S: u' s0 u, y3 y干式光刻机没啥意义,为什么呢?因为改进之后的也可以出产低制程的,向下兼容并且良率更高(成本低方案成熟)4 L) e  P* |. c5 R
    多重曝光也不是这哥们来做……(我是不清楚干式光刻机有没人搞这个)% |' C# H) j# ?! t
    但这玩意的光路设计啥的,是成型了的。有了它,就加浸没式透镜,修改物镜,最终成品是目前没有验收但肯定存在某个地方的浸没式光刻机,但起码上线了2年了% f& [* ^. |& k& H$ t; I
    1 _0 T& K" y! f! {8 _
    没公布的那个肯定还在不断的调试,修改,更换国产配件。, [8 t0 k4 S  D. ^' O5 {- Q/ p
    普通人不用管光刻机啥情况——你就看最终产品就是。
    : f! c$ ]. j0 x" S, g# t* P2 G#华为mate70# 也没多久了。( e! S7 U1 X% \8 j9 A) }

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    这真是极好的: 5.0
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      发表于 2024-9-18 15:38
    给力: 5 涨姿势: 5 这真是极好的: 5
      发表于 2024-9-17 08:38
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    22#
     楼主| 发表于 2024-9-17 08:15:36 | 只看该作者
    老财迷 发表于 2024-9-16 16:067 u2 }% e1 }- n* {7 X* ^
    应该会在5年内实现吧。! U* k! [7 `, s3 P

    ( a" x) X( z7 h( w! x5 [. U$ j微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    ) Y( C, j6 S1 ^+ X
    ( ^$ q4 y7 S6 T1 I2 k1 p2 X  l' ?
    这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

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    以你说的为准 :)  发表于 2024-9-17 15:27

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    23#
    发表于 2024-9-17 08:39:20 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 18:15# D* B9 g1 X2 E  z& ~+ f! ~# t
    这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。
    ( m4 w5 K2 V$ q; e' @- N. X8 g! E" ]
    但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    24#
     楼主| 发表于 2024-9-17 10:54:17 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 18:56 编辑
    9 m1 E/ C9 V! p1 P% G! |2 `9 P9 K1 R
    晨枫 发表于 2024-9-16 16:39' s) }- z% Q# x* x' ?
    但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?

    + ~, g4 d2 |: f2 x9 d5 z: i/ F3 d# r* X( B6 D. d1 N1 U( G# ]' e
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定- h, H7 i; {  ^! l% B
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述

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    25#
    发表于 2024-9-17 11:08:25 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 03:345 q5 j% F" L, v  d; h  g
    不过EUV制作7nm可以轻易一次曝光,产率和良率应该提高很多?

    " g+ r& }" N- R  ^2 C& v+ u; n理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积电用193nm光刻机率先量产7nm,三星则以更先进的EUV光刻机应战,由于对新型光刻机的熟悉不足,结果良率低下,很多人抛弃三星。最后三星赔本赚吆喝,开出比台积电低30%的代工费用,才勉强留下大客户。

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      发表于 2024-9-17 15:28

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    26#
    发表于 2024-9-17 11:13:01 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54/ @/ `3 I1 l; w) c7 I3 H
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定! E  J% i7 w: a8 ], U! }% l
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    ) p7 n8 k0 Z2 p4 Y& K& q
    有道理。$ c- _+ u0 q% `0 [1 k' A; E/ d, D

    + Y* b! A8 u3 y) S$ W! E5 V3 d不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资吊着。不退场,但也不全力以赴。
    3 z! W3 D4 J& V/ P
    & X2 `; i9 d" A; }中国肯定是全力以赴的。而且倾国之力肯定大于尼康、佳能。3 U% l1 |% o: g

    # x  \$ z- f" W' W0 j) ?5 A# z1 s这会有差别吗?
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    27#
    发表于 2024-9-17 11:13:37 | 只看该作者
    沉宝 发表于 2024-9-16 21:08
    ; z" D# [1 O8 \# o理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积 ...

    9 Y, M0 e) g2 p这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。
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    28#
    发表于 2024-9-17 11:19:08 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54
    9 W/ d9 r3 n' P5 J0 r4 o按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    ' k! {+ q5 Q2 A  E% S' s7 o所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    + T! [4 g$ ~# G2 Z
    还没搞定?
    ( u! ^( I6 A5 o我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的系统。我在的小破公司搭了一个,然后过去一起做,看能不能用。那个时候估计还是早期,这些基础的问题都没个数。做了几个实验,证明可以捕捉到微气泡发生,成长和运动的轨迹,我就撤了。这都十五年过去了。
    % |1 }7 s/ e; C! e& m尼康那时候已经有点不灵的迹象,食堂里面睡满了安装队的人。正常的话那些人都是满世界跑给别人装机器的。
    ! B+ x4 Q# P% H" P7 i) F! \% |

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    坛里藏龙卧虎啊  发表于 2024-9-17 15:31

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    29#
    发表于 2024-9-17 11:21:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54
    ! i& Z6 S3 G5 Q$ ~- b按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    / ^1 l  [4 Q4 e  n1 A所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    ' d, _+ \& f5 X1 ^) T  y: t
    突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NAND也被卡了,因为光刻机的事,这说法准确吗?高端NAND需要多少nm节点的光刻机?
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    30#
    发表于 2024-9-17 11:23:33 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13: p* _0 s4 ]$ `! X  I- t* B
    有道理。3 C0 f& j2 G- h
    8 _3 k* r  D+ m) [% h& d- S, {
    不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资 ...

    8 J3 {6 }1 c  j1 r可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞哪张嘴里。
    3 N: A) t9 g) @4 h- R/ a很多年前日本媒体评价日本财政用了很形象的词,叫硬直化。所有的钱都有定好的用处,几乎没有活动钱。需要财政支持的时候十分狼狈。该做的事情做不了,钱全都拿去维持日常运转了。

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      发表于 2024-9-17 15:32

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    2023-2-8 04:51
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    31#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:28:54 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 19:33 编辑 2 k* g4 t6 g8 `- c) Y% P$ z" f) l3 p
    雷声 发表于 2024-9-16 19:19
    # ~8 j4 i* H) G2 E1 s8 k还没搞定? ; B  ]2 u* E7 {; E$ p
    我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的 ...
    4 @/ A2 a. R! {: u/ h# z/ d$ e$ |

    / O! b8 {* ]7 i' U8 I. [Nikon是稳定性不行,被牙膏退货后就没人再买。疫情前去开spie的会,Nikon还吹牛自己行了,但主流客户没人用。
    / p4 z" _3 W! ^# k. l, T有网上谣言说华为买了些Nikon自己魔改做出了9100…俺比较怀疑真实性。
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    开心
    2023-2-8 04:51
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    32#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:31:01 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:21# L% w5 p. r4 E% ?
    突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NA ...

    8 K  Y' A) O9 o) R" P" I. l存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。
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    33#
    发表于 2024-9-17 11:34:00 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:31
    5 |- L6 W$ N0 w8 ]$ A存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。 ...

    7 e* @; X3 n4 G% d! |1 ^需要用到浸润DUV吗?
    $ ]6 d1 R: u' G3 Y5 \3 p! g1 {& c& v% D5 @9 S5 I
    我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗?
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    2023-2-8 04:51
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    34#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:37:50 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:34
    $ G( c1 R5 I# R- J; X$ H- V需要用到浸润DUV吗?
    $ l3 h5 m; }# Q+ q3 ]% z" H* k& \( \1 ~" B1 {! E: q
    我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗? ...

    + h- ^5 i/ n) [! g& A/ g" e浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。
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    35#
    发表于 2024-9-17 11:38:06 | 只看该作者
    雷声 发表于 2024-9-16 21:236 X) g3 D* b0 o& M6 h
    可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞 ...

    , W4 C( g3 \5 Q' [3 E$ y  i是的,需要钱的地方太多,但光刻机和芯片可能是不计代价砸钱的方向,优先级比谁都高。这个瓶颈突破后,不只是军事、科技上的阳关道,经济上也是大片的处女地啊。
    4 R, s  e& l4 l' H
    ' ^- O4 T4 T: M' Y2 ^  i硬直化很形象。确实,西方家大业大,花钱手笔也大,但每一笔钱都预定了用处,活动余地真心很小。你看看美国在预算削减时那个鸡飞狗跳,就知道真是谁都动不得。“平均剃头”是公认的最坏选择,但是唯一大家可接受的选择。
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    36#
    发表于 2024-9-17 11:40:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:37$ ^! V) [" m- @5 a; a6 u7 F' `+ L
    浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。 ...

    ) E0 M! z) r/ c都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了?
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    37#
    发表于 2024-9-17 11:43:29 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54. e$ L$ b3 S- C+ |5 ?8 W' d) I
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    8 |  R0 f. T/ t( y所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    + V0 L& D" v$ t* w7 t6 p% c
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均匀,从而折射率不均匀,影响成像。为了避免温差,必须让水快速流动混合,但又要避免产生漩涡或者析出气泡。水可以把所接触物品上的杂质洗下来,带到晶圆上,形成缺陷。当初ASML搞浸润式光刻机时,在浸液系统上与林本坚团队合作,方案修改了7-8回,耗时两年多才取得满意的结果。

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    38#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:59:49 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 20:02 编辑
    $ y5 ~* r5 n0 L; l8 k
    沉宝 发表于 2024-9-16 19:43
    ' C  m9 p: G  Q1 z/ \! M* [具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均 ...

      ^. `3 v, U! U
    8 Z! T/ w0 J! C+ h; j这当然不容易,不过两年挺快啦,看看牙膏的10nm……
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    39#
     楼主| 发表于 2024-9-17 12:01:58 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:40
      @' K" q3 l" n都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了? ...

    1 I3 S* s1 ^+ D+ G不知道啦,也许是隐晦放风的说法。
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    40#
    发表于 2024-9-17 17:38:39 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13
    ! T9 Y7 q' |2 T" l% y9 F! J- S( u这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。 ...

    * S' R& E- Q3 @+ `, K中国大,各地方人气质不一,各擅胜场。精细活儿江南地方超过东北山东。如此说来,韩国近东北山东,台湾精英是江浙后代。
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