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楼主: moletronic
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[科普知识] 国产光刻机猜测

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  • TA的每日心情
    慵懒
    2022-8-27 22:14
  • 签到天数: 351 天

    [LV.8]合体

    21#
    发表于 4 天前 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 14:00  ~' x; D+ w, V% B; p5 k
    也就是说,即使28nm现在还有光刻机瓶颈,其他也都就绪、只欠东风了。这是好事!
    , h; g) ?' D& U3 O/ Z2 N. q6 b1 U
    . {% W. i, T! b6 _; N. }个人感觉:相比于前一阵 ...

    0 n& R# d0 I  p. k; n4 {( j
    ; o+ t  a7 e( g* O- t; K1 Z9 k
    这就要西方好好领教什么叫产能过剩了。

    & L; l$ O1 @( H& C4 Q" v- E应该会在5年内实现吧。. ~- g$ e  v; ?
    3 H5 j0 h$ M0 ~
    微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)5 g" n1 I3 X. Q: B
    24-9-16 23:55
    6 B$ H' m, H1 Z) b4 f" g发布于 湖南
    5 L1 V7 \' Q8 _: \5 U来自 微博网页版' W- q- d% o  N+ }
    啊,说过很多次了,#光刻机# 不是挖机
    * X! C& ]7 F3 q$ j1 t9 m+ \不是运过来就能直接开工的。* g0 F4 T6 o% d, e5 w& s+ d
    他需要调试,需要不断的用,一边用一边调整,等光学畸变稳定——你可以理解为拷机或者汽车发动热机暖机。
    ' X' P4 y# B+ p! m$ k6 S
    ( M/ j' e. m  ?% D* p- R这个时间很长,也是我常年说:
    * s4 L2 k: `: n. Q就算今天ASML传送一台EUV给咱,我们拿到第一批量产的芯片流片完(无论7nm,5nm还是多少)起码2年后——这最乐观的2年时间,还得是对EUV非常有经验的顶级工程师来操作优化。
    ) o: Y# r5 W3 M. {9 J2 ^3 }) l) W. O. y7 R
    现在发布的这台机器是起码3年前就验收了(科工),现在工信部验收推广(产业链),成熟得不行了才拿出来的。你需要,给钱就有,不限量。
    ! g  h( t0 t* W! n
    & M9 n# w4 K% W( J5 C& r简单理解就是——这机子是干式光刻机,做的是65-55nm的芯片,一次曝光。% V+ L, I; u4 K0 B- q& v/ `
    干式光刻机没啥意义,为什么呢?因为改进之后的也可以出产低制程的,向下兼容并且良率更高(成本低方案成熟), a# h/ G1 ?; {; |$ t/ a/ e% d
    多重曝光也不是这哥们来做……(我是不清楚干式光刻机有没人搞这个). E, A* O& V8 y# ~  M$ ]: ?+ k0 [
    但这玩意的光路设计啥的,是成型了的。有了它,就加浸没式透镜,修改物镜,最终成品是目前没有验收但肯定存在某个地方的浸没式光刻机,但起码上线了2年了3 ~* K  m; |& g7 X8 C# y

    ( g  g, L0 {# o  h没公布的那个肯定还在不断的调试,修改,更换国产配件。
    2 |  F4 F# ?5 l1 q4 [普通人不用管光刻机啥情况——你就看最终产品就是。
    8 M  O) ?, g! b, ?2 A2 A#华为mate70# 也没多久了。' T! l, p  s0 t- d

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    这真是极好的: 5.0
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      发表于 3 天前
    给力: 5 涨姿势: 5 这真是极好的: 5
      发表于 4 天前
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    22#
     楼主| 发表于 4 天前 | 只看该作者
    老财迷 发表于 2024-9-16 16:06% w. C: l8 O# s9 X2 a: O8 q, t
    应该会在5年内实现吧。
    , }' E# C% j! F+ P% f8 S
    + `, g  c" L& M. B6 a9 ~- s, D微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    ) m2 m. w9 O3 \" Q( h9 F3 x& `

    . ^0 K1 v9 T1 P( a这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

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    油菜: 5 给力: 5
    以你说的为准 :)  发表于 4 天前

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    23#
    发表于 4 天前 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 18:15
    ( {! Z" Z, C0 S! p这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

    ( v: H: f; Z7 ~9 d' V但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    24#
     楼主| 发表于 4 天前 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 18:56 编辑
    " Y& _- K+ z3 [5 ~
    晨枫 发表于 2024-9-16 16:39
      O7 P& {0 f  Y' y但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?

    / L0 ~1 _7 }) [" t) c4 |" y
    ( W6 o( h6 t5 F0 r4 v按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定. D; R- t) o( S6 M  j6 Q* p) }5 Q
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述

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    25#
    发表于 4 天前 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 03:34
    # j' f0 @2 ^6 ~不过EUV制作7nm可以轻易一次曝光,产率和良率应该提高很多?

    & ^- E4 l# T9 Q理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积电用193nm光刻机率先量产7nm,三星则以更先进的EUV光刻机应战,由于对新型光刻机的熟悉不足,结果良率低下,很多人抛弃三星。最后三星赔本赚吆喝,开出比台积电低30%的代工费用,才勉强留下大客户。

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      发表于 4 天前

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    26#
    发表于 4 天前 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54
    ( y& j; T5 ?: y7 _. d  T5 K按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定; ?3 }: B1 j/ J9 m  L3 [3 N
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    , X% Q; N' E$ R3 i# h- _5 D有道理。# g- I4 n# X" y2 g$ s; O- _4 \7 m

    : ~9 D: o' s1 k' c  l不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资吊着。不退场,但也不全力以赴。- i9 [( }+ J" Q& G8 t
    ( K2 p$ W/ R: C) P* ^! K% t& q* N
    中国肯定是全力以赴的。而且倾国之力肯定大于尼康、佳能。% g  B2 p0 ?6 j: c8 h
    1 {5 X0 R8 c( r9 u6 }/ Q
    这会有差别吗?
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    27#
    发表于 4 天前 | 只看该作者
    沉宝 发表于 2024-9-16 21:085 J& |& Q6 S/ X1 [
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积 ...

    " T# T% ?0 B7 Z7 }. J3 n9 l. ~3 n这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。
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    28#
    发表于 4 天前 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54
    ' y$ c6 q' b9 ]! {按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    : N, G. Z. G& |; ^2 d2 @7 ~所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    / d8 i2 p+ B; V7 \& k
    还没搞定? : s) T1 F2 @4 G2 o3 b( x5 y( Y
    我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的系统。我在的小破公司搭了一个,然后过去一起做,看能不能用。那个时候估计还是早期,这些基础的问题都没个数。做了几个实验,证明可以捕捉到微气泡发生,成长和运动的轨迹,我就撤了。这都十五年过去了。
    . M2 W0 H; V  j& Z# M0 m尼康那时候已经有点不灵的迹象,食堂里面睡满了安装队的人。正常的话那些人都是满世界跑给别人装机器的。; z$ s! Y, ~1 u% }) h9 q

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    坛里藏龙卧虎啊  发表于 4 天前

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    29#
    发表于 4 天前 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54% J- |4 E+ F# K, {; S
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定& b3 w* {+ n. \* m4 \+ R
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    : D3 ?% f  p3 g# |
    突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NAND也被卡了,因为光刻机的事,这说法准确吗?高端NAND需要多少nm节点的光刻机?
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    30#
    发表于 4 天前 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13* N$ U" s: Q. k
    有道理。
    ! N4 ]  s( X2 ^* }9 ^+ j3 C! P( @9 R& C0 |. f
    不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资 ...
    - ^  v: t( ~7 X
    可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞哪张嘴里。$ K% f: P7 p5 x. c+ N; s
    很多年前日本媒体评价日本财政用了很形象的词,叫硬直化。所有的钱都有定好的用处,几乎没有活动钱。需要财政支持的时候十分狼狈。该做的事情做不了,钱全都拿去维持日常运转了。

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      发表于 4 天前

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    31#
     楼主| 发表于 4 天前 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 19:33 编辑 $ v' A5 C% ?( Q+ O
    雷声 发表于 2024-9-16 19:191 l2 o) k9 T2 q) q/ @7 l3 U; j
    还没搞定? # y4 P% i1 y8 _' T, _( m
    我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的 ...

    3 L4 W$ w- Y* L- s0 ]8 g3 S5 z
    + O, ?- S8 q* W2 L3 ~/ uNikon是稳定性不行,被牙膏退货后就没人再买。疫情前去开spie的会,Nikon还吹牛自己行了,但主流客户没人用。
    0 O% ?* s3 i  l4 V) ?3 W有网上谣言说华为买了些Nikon自己魔改做出了9100…俺比较怀疑真实性。
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    2023-2-8 04:51
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    32#
     楼主| 发表于 4 天前 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:21
      t8 c9 `# A$ r" v+ K; T: R/ c: A突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NA ...
    # Q6 L* z6 Y9 e' W7 T9 u. W
    存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。
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    33#
    发表于 4 天前 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:31" s4 R, x: B* B+ x/ q) W
    存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。 ...
    8 \, C% t  g1 _$ S5 Y) P5 F7 ]! `
    需要用到浸润DUV吗?' m) n; y7 t5 ~0 M" p& t6 g$ p
    + r8 m- E9 R  y! t& w  @
    我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗?
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    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    34#
     楼主| 发表于 4 天前 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:34
    % ?* I7 o; Q: c. ~; S需要用到浸润DUV吗?# Q: k2 {. t! Y' z6 m7 a2 K

    % P$ A( l# D& w5 N# ^. H2 [* ]我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗? ...

    ! Q+ F  H; Z' g+ O浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。
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    35#
    发表于 4 天前 | 只看该作者
    雷声 发表于 2024-9-16 21:23! C" T( P( a" v2 C+ E2 m3 i
    可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞 ...

    & i5 a: r( D. D$ x4 Z是的,需要钱的地方太多,但光刻机和芯片可能是不计代价砸钱的方向,优先级比谁都高。这个瓶颈突破后,不只是军事、科技上的阳关道,经济上也是大片的处女地啊。. ]6 F8 e; `( j
    4 V9 D, `4 y+ o/ u
    硬直化很形象。确实,西方家大业大,花钱手笔也大,但每一笔钱都预定了用处,活动余地真心很小。你看看美国在预算削减时那个鸡飞狗跳,就知道真是谁都动不得。“平均剃头”是公认的最坏选择,但是唯一大家可接受的选择。
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    36#
    发表于 4 天前 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:37
    ( c- e- G8 n7 |# |+ x& a/ t' u) }! O浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。 ...

    ; Q4 Y- W; E9 r2 U# z/ P2 o0 j都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了?
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    37#
    发表于 4 天前 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54* W6 h2 b: J4 {6 l, x
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定- O' V) U1 o0 J% \, ]
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    2 J. R% ~! y& c; v' D: o  S% r具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均匀,从而折射率不均匀,影响成像。为了避免温差,必须让水快速流动混合,但又要避免产生漩涡或者析出气泡。水可以把所接触物品上的杂质洗下来,带到晶圆上,形成缺陷。当初ASML搞浸润式光刻机时,在浸液系统上与林本坚团队合作,方案修改了7-8回,耗时两年多才取得满意的结果。

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    38#
     楼主| 发表于 4 天前 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 20:02 编辑
      t# H# @! E" t1 i! y
    沉宝 发表于 2024-9-16 19:43
    - w8 y1 h( n4 {2 w6 L0 ?2 ^具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均 ...

    6 z% Q& d# Y' X" w0 P+ u! \0 s8 N9 K) I! G- y/ F% H
    这当然不容易,不过两年挺快啦,看看牙膏的10nm……
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    39#
     楼主| 发表于 4 天前 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:407 U2 ]) d, p4 M+ ]8 J
    都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了? ...

    6 Q; `9 @" A1 t4 N不知道啦,也许是隐晦放风的说法。
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    40#
    发表于 4 天前 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13( O. S0 O+ h4 g* {1 P" b
    这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。 ...

    5 P8 q/ _' X0 ~6 j- G中国大,各地方人气质不一,各擅胜场。精细活儿江南地方超过东北山东。如此说来,韩国近东北山东,台湾精英是江浙后代。
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