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[科普知识] 国产光刻机猜测

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  • TA的每日心情
    慵懒
    2022-8-27 22:14
  • 签到天数: 351 天

    [LV.8]合体

    21#
    发表于 2024-9-17 08:06:46 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 14:003 b7 C* `5 q( ^3 b& a
    也就是说,即使28nm现在还有光刻机瓶颈,其他也都就绪、只欠东风了。这是好事!
      w" [! n5 P, ^3 Z
    ) ~5 h' M& ?/ @- y  ]个人感觉:相比于前一阵 ...

    , W* M% e: R8 L# Q4 j
    * c& r# C8 m- C# j* Z, c2 X! |
    这就要西方好好领教什么叫产能过剩了。

    - p$ X& ?+ _, F$ b1 j0 P% G应该会在5年内实现吧。
    - b  Y- @4 B0 t  y7 \$ P) a# ^/ v3 J
    微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)$ h' r" ~* j% m% T1 A
    24-9-16 23:55* z, p( W/ t0 u, y3 q$ y+ P, T
    发布于 湖南
    , Z( x, N$ E0 A# i来自 微博网页版
    0 K9 F/ ]8 o0 r: z$ j啊,说过很多次了,#光刻机# 不是挖机
    ( n1 _2 y" s# }/ Z不是运过来就能直接开工的。
    0 L; W$ o; M/ ^$ |他需要调试,需要不断的用,一边用一边调整,等光学畸变稳定——你可以理解为拷机或者汽车发动热机暖机。
    * a5 e5 ]7 x, r5 |  n2 F7 U- z5 G6 x; F2 \9 a) u
    这个时间很长,也是我常年说:
    : X3 F1 }3 J, a就算今天ASML传送一台EUV给咱,我们拿到第一批量产的芯片流片完(无论7nm,5nm还是多少)起码2年后——这最乐观的2年时间,还得是对EUV非常有经验的顶级工程师来操作优化。5 [) M- r" z4 d9 \% ]) ~( Z6 f; K4 T

    " e0 E) `5 ~1 C6 o6 n6 D  A% \现在发布的这台机器是起码3年前就验收了(科工),现在工信部验收推广(产业链),成熟得不行了才拿出来的。你需要,给钱就有,不限量。2 \5 l& H8 a* j- C
    7 ~5 l: y$ D% ^2 T& y8 r
    简单理解就是——这机子是干式光刻机,做的是65-55nm的芯片,一次曝光。3 f- k5 c8 l- Z9 x! Z3 p
    干式光刻机没啥意义,为什么呢?因为改进之后的也可以出产低制程的,向下兼容并且良率更高(成本低方案成熟)
    # f# {1 T8 _; d+ a" j5 X% Q多重曝光也不是这哥们来做……(我是不清楚干式光刻机有没人搞这个)
    / n# f& b& Q  x4 f2 w但这玩意的光路设计啥的,是成型了的。有了它,就加浸没式透镜,修改物镜,最终成品是目前没有验收但肯定存在某个地方的浸没式光刻机,但起码上线了2年了
    9 b  y6 [3 J  M; B+ Y# ]: n8 H) O& U0 X7 N
    没公布的那个肯定还在不断的调试,修改,更换国产配件。8 x5 P; [3 g# q* G
    普通人不用管光刻机啥情况——你就看最终产品就是。- v0 I! _& p" ?: \( \5 ~. q6 h
    #华为mate70# 也没多久了。
    * C, l: ?! }( @! Z" s2 d% Z

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    这真是极好的: 5.0
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      发表于 2024-9-18 15:38
    给力: 5 涨姿势: 5 这真是极好的: 5
      发表于 2024-9-17 08:38
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    22#
     楼主| 发表于 2024-9-17 08:15:36 | 只看该作者
    老财迷 发表于 2024-9-16 16:06
    2 ?( W/ e7 G$ _- d; s应该会在5年内实现吧。
    $ r) P( g3 y& j) n, I" ?, E8 N
    0 M- ^3 z8 `% u' F/ i7 J: F: |微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)

    # q2 y! `& L8 ^9 X' _7 g
    # }* B; K: J! \4 K: a8 p5 a这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

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    油菜: 5 给力: 5
    以你说的为准 :)  发表于 2024-9-17 15:27

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    23#
    发表于 2024-9-17 08:39:20 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 18:15
    ( ]) I, k$ i' u$ t+ M& x  u$ N! C这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。
    ) {. L/ n7 }( J3 O) v
    但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    24#
     楼主| 发表于 2024-9-17 10:54:17 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 18:56 编辑 $ ?6 R+ P$ X4 n) q+ B
    晨枫 发表于 2024-9-16 16:39
    0 [: |% p. j( q0 V7 e+ c但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
    4 I7 M, y/ B( R2 [( o# u

    / p+ E& h2 G3 B8 `5 K按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
      m: m7 w: m9 q( k4 s所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述

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    25#
    发表于 2024-9-17 11:08:25 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 03:34& H- m4 H$ H3 b6 ?
    不过EUV制作7nm可以轻易一次曝光,产率和良率应该提高很多?

    " _, m! Y  `" h3 I理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积电用193nm光刻机率先量产7nm,三星则以更先进的EUV光刻机应战,由于对新型光刻机的熟悉不足,结果良率低下,很多人抛弃三星。最后三星赔本赚吆喝,开出比台积电低30%的代工费用,才勉强留下大客户。

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      发表于 2024-9-17 15:28

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    26#
    发表于 2024-9-17 11:13:01 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54
    ( N" V  u- ]# \5 x( q6 s按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定- n4 p/ w6 v  ~  A, s3 F
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    ! m+ V1 i6 V  j# J* C
    有道理。( K/ `1 W4 D, b4 G8 `
    + ~0 [8 q& _! [; }
    不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资吊着。不退场,但也不全力以赴。
    6 s( |7 m7 p- g9 O7 q4 A  O4 z0 F5 P! C3 ~  F! ?5 X$ w1 X" _7 \
    中国肯定是全力以赴的。而且倾国之力肯定大于尼康、佳能。  J3 J* {2 ^% E2 D; e$ _+ j

    3 c) g9 A, `3 M, V( _' h& N/ ]1 ?这会有差别吗?
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    27#
    发表于 2024-9-17 11:13:37 | 只看该作者
    沉宝 发表于 2024-9-16 21:08
    ' d, b" X5 W% X) B; e$ g7 b% s2 z理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积 ...

      h3 e: M5 s2 n: {  j' U这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。
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    28#
    发表于 2024-9-17 11:19:08 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54
    ' y0 {& r% J1 k1 @' D按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定. [2 _% K( Y4 d! H8 z
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    & t9 T( y! ~+ h% g
    还没搞定? 4 N8 }+ h. V8 n' X' k' v/ K
    我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的系统。我在的小破公司搭了一个,然后过去一起做,看能不能用。那个时候估计还是早期,这些基础的问题都没个数。做了几个实验,证明可以捕捉到微气泡发生,成长和运动的轨迹,我就撤了。这都十五年过去了。: G' a! m7 Y( H/ ]& i5 u& Q$ Q: i
    尼康那时候已经有点不灵的迹象,食堂里面睡满了安装队的人。正常的话那些人都是满世界跑给别人装机器的。$ l/ R! |7 V' @' n

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    坛里藏龙卧虎啊  发表于 2024-9-17 15:31

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    29#
    发表于 2024-9-17 11:21:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54/ U- K; \( T. N8 f! p0 w
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定6 E9 {1 l+ k7 @1 x
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    $ a( P9 s) m( v9 I2 R2 A' _$ v* P* p突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NAND也被卡了,因为光刻机的事,这说法准确吗?高端NAND需要多少nm节点的光刻机?
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    30#
    发表于 2024-9-17 11:23:33 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13
    + Y( y, [) U  @1 y2 O2 a有道理。( \7 v' N' \# M

    : }" c; L' f. x# D' F- d不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资 ...
    4 n1 f+ A, B4 z% P1 `' M4 y
    可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞哪张嘴里。
    $ [4 X; u# X! b4 q' N* w2 x( q  k很多年前日本媒体评价日本财政用了很形象的词,叫硬直化。所有的钱都有定好的用处,几乎没有活动钱。需要财政支持的时候十分狼狈。该做的事情做不了,钱全都拿去维持日常运转了。

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      发表于 2024-9-17 15:32

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    31#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:28:54 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 19:33 编辑
    : I3 F/ W5 F9 Q# G1 r0 q
    雷声 发表于 2024-9-16 19:19
    ! H7 B0 S! A3 c8 |还没搞定? ' H1 t; L, }& O, N# @
    我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的 ...
    ' B5 r7 n# g8 V5 w
      J) k1 q% {" U/ f9 W& k' \% W; j7 h
    Nikon是稳定性不行,被牙膏退货后就没人再买。疫情前去开spie的会,Nikon还吹牛自己行了,但主流客户没人用。
    6 L4 D+ D/ k. W. {有网上谣言说华为买了些Nikon自己魔改做出了9100…俺比较怀疑真实性。
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    开心
    2023-2-8 04:51
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    32#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:31:01 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:217 ?/ M2 u: A. |5 K
    突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NA ...
    1 C3 o& k& h8 |, o8 p3 w
    存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。
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    33#
    发表于 2024-9-17 11:34:00 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:31
    3 @: C% [/ V: O2 ~存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。 ...
    0 Z* \( A  W7 R4 q& h6 z  L1 k+ `" C3 |/ E
    需要用到浸润DUV吗?8 b4 O# D: I# }2 F* b5 [! j# }
    2 l5 Q5 @; I" J0 q" a  k
    我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    34#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:37:50 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:34$ B" G( x4 d7 d& b
    需要用到浸润DUV吗?
    ( I. t/ O& ?1 @+ S' I% q- o/ V5 s8 T5 F3 h# b: ?- v- |
    我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗? ...
    3 b! s% e/ n' s: X1 a$ x
    浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。
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    35#
    发表于 2024-9-17 11:38:06 | 只看该作者
    雷声 发表于 2024-9-16 21:234 I/ B) v9 _1 I
    可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞 ...

    4 b  v5 T& U1 p7 ]& E, L' o3 x- w是的,需要钱的地方太多,但光刻机和芯片可能是不计代价砸钱的方向,优先级比谁都高。这个瓶颈突破后,不只是军事、科技上的阳关道,经济上也是大片的处女地啊。
    * R' P& z% o% i( ]- k0 D/ Y
    & P* q* U) N. l: L# U) ]% X6 f硬直化很形象。确实,西方家大业大,花钱手笔也大,但每一笔钱都预定了用处,活动余地真心很小。你看看美国在预算削减时那个鸡飞狗跳,就知道真是谁都动不得。“平均剃头”是公认的最坏选择,但是唯一大家可接受的选择。
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    36#
    发表于 2024-9-17 11:40:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:37' h3 H$ @" r% {3 Q/ i* ?% D" a- g9 S
    浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。 ...
    6 A0 F: P( g0 {( p0 K
    都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了?
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    37#
    发表于 2024-9-17 11:43:29 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:540 c' Y* }7 ~! C, |
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    5 |& o9 a1 g. P& R" k9 Y所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    ' A- H0 s0 K/ m- ]6 c) Z" w' ~8 W
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均匀,从而折射率不均匀,影响成像。为了避免温差,必须让水快速流动混合,但又要避免产生漩涡或者析出气泡。水可以把所接触物品上的杂质洗下来,带到晶圆上,形成缺陷。当初ASML搞浸润式光刻机时,在浸液系统上与林本坚团队合作,方案修改了7-8回,耗时两年多才取得满意的结果。

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    38#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:59:49 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 20:02 编辑 8 b) E% e; U) b
    沉宝 发表于 2024-9-16 19:43
    3 P  I0 T9 Z% G$ n( \/ V' X具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均 ...
    5 k- e% d0 j! i# Z

    : \& M6 X/ i, T+ X2 ]这当然不容易,不过两年挺快啦,看看牙膏的10nm……
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    39#
     楼主| 发表于 2024-9-17 12:01:58 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:40) q$ j# L7 C" y8 e: p. u
    都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了? ...

    5 m! ~' y) ]4 U& o& T不知道啦,也许是隐晦放风的说法。
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    40#
    发表于 2024-9-17 17:38:39 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:132 O6 \% M/ H0 ?; ^/ X% A0 b
    这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。 ...

    0 F& c* h4 p8 B8 H, b8 J中国大,各地方人气质不一,各擅胜场。精细活儿江南地方超过东北山东。如此说来,韩国近东北山东,台湾精英是江浙后代。
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