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楼主: moletronic
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[科普知识] 国产光刻机猜测

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  • TA的每日心情
    慵懒
    2022-8-27 22:14
  • 签到天数: 351 天

    [LV.8]合体

    21#
    发表于 2024-9-17 08:06:46 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 14:00
    : w" }( _( a4 g# _  O& T( l也就是说,即使28nm现在还有光刻机瓶颈,其他也都就绪、只欠东风了。这是好事!, ^9 z& Y! |1 V4 E( y0 t
    - R+ v0 i6 l" J% S" E3 M
    个人感觉:相比于前一阵 ...
    , ]% J6 S) T' O) l
    2 ^4 n4 e! _4 |8 Q) T! O1 Q5 O! ?
    这就要西方好好领教什么叫产能过剩了。
    + w2 Q# Z! \( p5 j6 K1 @
    应该会在5年内实现吧。
    9 L. q, W7 d$ s" O  p; z! i5 s2 c+ m1 R) \1 _2 q* T
    微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    / ~! X: T9 u: Y2 ?4 [6 @24-9-16 23:55% z/ ]3 E( ~4 @/ r" W9 m
    发布于 湖南: I/ y  y& r% h/ ~0 z; E9 A! o
    来自 微博网页版8 o  W) W- J5 D0 M& X6 z" \
    啊,说过很多次了,#光刻机# 不是挖机
    ; V; I0 s' Q  J0 K* x+ z5 X不是运过来就能直接开工的。
    ) A& A1 d# I+ {6 S  f他需要调试,需要不断的用,一边用一边调整,等光学畸变稳定——你可以理解为拷机或者汽车发动热机暖机。
    / F" U' g7 `! U2 b' a- v( ?
    & Y& c: L+ t7 T; A: j0 K这个时间很长,也是我常年说:' r! A6 g8 V& f5 z0 d* U. q
    就算今天ASML传送一台EUV给咱,我们拿到第一批量产的芯片流片完(无论7nm,5nm还是多少)起码2年后——这最乐观的2年时间,还得是对EUV非常有经验的顶级工程师来操作优化。
    6 A: v6 f- K$ ~1 q& H' d3 ]  n, T( `7 c. m: c* `* D" h2 Y
    现在发布的这台机器是起码3年前就验收了(科工),现在工信部验收推广(产业链),成熟得不行了才拿出来的。你需要,给钱就有,不限量。
    6 r: U: L/ _9 e4 n5 B- w4 m( m& u, H2 O4 T" I
    简单理解就是——这机子是干式光刻机,做的是65-55nm的芯片,一次曝光。
      K# z% C& g6 _- q' D7 i3 I干式光刻机没啥意义,为什么呢?因为改进之后的也可以出产低制程的,向下兼容并且良率更高(成本低方案成熟)5 e: o4 p$ E0 D# D0 g
    多重曝光也不是这哥们来做……(我是不清楚干式光刻机有没人搞这个)
    5 w8 Z& \  z! l, q- p: f* E+ u但这玩意的光路设计啥的,是成型了的。有了它,就加浸没式透镜,修改物镜,最终成品是目前没有验收但肯定存在某个地方的浸没式光刻机,但起码上线了2年了
    % e: ^; W! E  k( M/ H1 j% E2 V
    , ^' ^( u/ l; t* _8 E! J没公布的那个肯定还在不断的调试,修改,更换国产配件。
    , m6 d5 E" F" C, s4 ^6 W% z0 g普通人不用管光刻机啥情况——你就看最终产品就是。* S. c4 ~+ ?, c+ {; T  q
    #华为mate70# 也没多久了。
    # u  C& c' ?) y4 k7 A* J. g, ?7 T/ H

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      发表于 2024-9-18 15:38
    给力: 5 涨姿势: 5 这真是极好的: 5
      发表于 2024-9-17 08:38
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    22#
     楼主| 发表于 2024-9-17 08:15:36 | 只看该作者
    老财迷 发表于 2024-9-16 16:06
    2 q1 L7 b& `0 r应该会在5年内实现吧。7 j- q  z& q# V, c' X* ]3 r& X
    / j" m& m! l' |  ]
    微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)

    9 f/ C' P* _4 [# C# ?
    6 Q; w. R/ |* O7 O; [这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

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    23#
    发表于 2024-9-17 08:39:20 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 18:156 K5 J! ]; F+ ^# V  }% Q
    这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

    : h1 Z+ a6 T0 O( p; m但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    24#
     楼主| 发表于 2024-9-17 10:54:17 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 18:56 编辑
    1 y0 k/ e6 x2 J% o$ J
    晨枫 发表于 2024-9-16 16:39; E5 u. \  m& M
    但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
    1 Y; U: I8 f. ?

    , v0 t& n' V9 |7 J; g) E( O3 e按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    ! r* y5 G. }2 T所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述

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    25#
    发表于 2024-9-17 11:08:25 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 03:34, x( o, e4 |/ R2 g8 Y' [7 }
    不过EUV制作7nm可以轻易一次曝光,产率和良率应该提高很多?

    ! Y3 t& d4 F# ?. L  C理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积电用193nm光刻机率先量产7nm,三星则以更先进的EUV光刻机应战,由于对新型光刻机的熟悉不足,结果良率低下,很多人抛弃三星。最后三星赔本赚吆喝,开出比台积电低30%的代工费用,才勉强留下大客户。

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    26#
    发表于 2024-9-17 11:13:01 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54
    ' b  A8 ~- _0 _1 f2 r0 ~按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    4 N! d2 g6 Y$ f0 m: W; m所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    2 @: r; C& l- U9 j6 \$ C$ s! v' J- g有道理。6 m5 b3 F, c7 o/ Y8 N7 Q% l) G7 b

    $ H0 y& F* c9 X5 j4 N$ k" y不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资吊着。不退场,但也不全力以赴。3 Z: }, B& R# k( q/ A' O
    4 }; B. N" b" U# M2 O9 W
    中国肯定是全力以赴的。而且倾国之力肯定大于尼康、佳能。
    - k* X& i& h0 }/ q6 \- c
    ' f8 G: ?" s( y* B. u这会有差别吗?
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    27#
    发表于 2024-9-17 11:13:37 | 只看该作者
    沉宝 发表于 2024-9-16 21:08
    / B5 H9 P3 @9 c5 O% e2 q理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积 ...

    5 F% \2 {8 G: J+ e) G这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。
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    28#
    发表于 2024-9-17 11:19:08 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54: y" A0 D5 f* Y! i
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定, U7 ]+ _  {4 X: p/ X
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    ! U* A& i$ s& Y# M" ?还没搞定? + k6 c5 q5 {/ N5 X. C- p$ k: ]
    我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的系统。我在的小破公司搭了一个,然后过去一起做,看能不能用。那个时候估计还是早期,这些基础的问题都没个数。做了几个实验,证明可以捕捉到微气泡发生,成长和运动的轨迹,我就撤了。这都十五年过去了。
    # o# y* Y8 n0 K尼康那时候已经有点不灵的迹象,食堂里面睡满了安装队的人。正常的话那些人都是满世界跑给别人装机器的。
    8 w) y1 M! r, R4 Q4 H

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    29#
    发表于 2024-9-17 11:21:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54
    2 V4 e0 b" V- ?5 r4 u* @按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    3 i; {) _& V: T0 Q  K所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    - [/ I3 E' Y& Q3 M0 o0 W7 [8 v突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NAND也被卡了,因为光刻机的事,这说法准确吗?高端NAND需要多少nm节点的光刻机?
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    30#
    发表于 2024-9-17 11:23:33 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13
    & K2 |% Y! p1 I3 i8 J$ M有道理。. F# s, [( E9 T% o1 \
    - a* H  C* F0 x. b" M" I
    不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资 ...

    % t9 ]8 z& i- q/ e/ B8 T. D可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞哪张嘴里。* u% F% V  X+ _& o; v2 [6 M
    很多年前日本媒体评价日本财政用了很形象的词,叫硬直化。所有的钱都有定好的用处,几乎没有活动钱。需要财政支持的时候十分狼狈。该做的事情做不了,钱全都拿去维持日常运转了。

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    开心
    2023-2-8 04:51
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    31#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:28:54 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 19:33 编辑 ) F' c$ J' R" e
    雷声 发表于 2024-9-16 19:19
    5 r3 @8 A/ W- d! [还没搞定?
    ; E* N' d5 Q& r$ f5 F+ |5 p. }8 T( x我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的 ...

    4 c) W( M6 |( d, X  j, I; g
    , a" y8 r+ P6 Q3 _! qNikon是稳定性不行,被牙膏退货后就没人再买。疫情前去开spie的会,Nikon还吹牛自己行了,但主流客户没人用。8 W" Y2 S  L( n) f; c$ z
    有网上谣言说华为买了些Nikon自己魔改做出了9100…俺比较怀疑真实性。
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    32#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:31:01 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:21- o, b4 q* O$ `; D4 a
    突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NA ...

    4 j- \2 A  f# J. o存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。
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    33#
    发表于 2024-9-17 11:34:00 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:31
    & Z) ^' H1 Z& c) k9 z存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。 ...
    + i0 u3 ~- d" b8 X. n& S
    需要用到浸润DUV吗?
    $ [) p$ X6 o6 |" l- x( J- k5 S% m2 D1 t8 }2 S# X( w5 h- [
    我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    34#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:37:50 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:34
    ! R* l% b# \; Z0 C5 r/ H' t需要用到浸润DUV吗?9 h  n7 _& G2 ~: a
    1 @! B5 v! P) F. Z, T
    我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗? ...

    ! g* i3 U" C3 {7 z+ B浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。
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    35#
    发表于 2024-9-17 11:38:06 | 只看该作者
    雷声 发表于 2024-9-16 21:237 E: C& G1 G; H2 {' j
    可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞 ...

    0 g7 g  U' l, A: L: {# ]是的,需要钱的地方太多,但光刻机和芯片可能是不计代价砸钱的方向,优先级比谁都高。这个瓶颈突破后,不只是军事、科技上的阳关道,经济上也是大片的处女地啊。
    - Y5 A" O+ B6 F( [: T) O1 i' Q3 J5 K  Z1 Q2 d
    硬直化很形象。确实,西方家大业大,花钱手笔也大,但每一笔钱都预定了用处,活动余地真心很小。你看看美国在预算削减时那个鸡飞狗跳,就知道真是谁都动不得。“平均剃头”是公认的最坏选择,但是唯一大家可接受的选择。
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    36#
    发表于 2024-9-17 11:40:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:37' ]: L5 ~% j4 f1 ^- h
    浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。 ...
    * w; K. R7 w4 O7 m5 |
    都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了?
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    37#
    发表于 2024-9-17 11:43:29 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:543 {6 g; H/ J7 c% b
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定& l* ?% |/ |0 f4 L
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    + _" g, b3 F1 {- T5 I9 {* i
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均匀,从而折射率不均匀,影响成像。为了避免温差,必须让水快速流动混合,但又要避免产生漩涡或者析出气泡。水可以把所接触物品上的杂质洗下来,带到晶圆上,形成缺陷。当初ASML搞浸润式光刻机时,在浸液系统上与林本坚团队合作,方案修改了7-8回,耗时两年多才取得满意的结果。

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    38#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:59:49 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 20:02 编辑 . l2 s0 ^; S5 e3 J# t  O
    沉宝 发表于 2024-9-16 19:43
    # l+ l; a8 N# ?) z3 b6 n具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均 ...
    $ [- z- C: S( ]6 A
    # O  _! [; H, _
    这当然不容易,不过两年挺快啦,看看牙膏的10nm……
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    39#
     楼主| 发表于 2024-9-17 12:01:58 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:40
    ) {6 @, Z! d- ?% J都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了? ...
    9 k. g- S  h9 `
    不知道啦,也许是隐晦放风的说法。
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    40#
    发表于 2024-9-17 17:38:39 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13
    ) A$ T& G4 E) u: |1 `8 \这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。 ...

    ; b8 u* a* Y9 ~* y/ G- k中国大,各地方人气质不一,各擅胜场。精细活儿江南地方超过东北山东。如此说来,韩国近东北山东,台湾精英是江浙后代。
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