国产光刻机猜测

老财迷

晨枫 发表于 2024-9-16 14:00
  _: e6 |8 q- E. Q9 T- Z也就是说，即使28nm现在还有光刻机瓶颈，其他也都就绪、只欠东风了。这是好事！
5 W2 s/ V' R* f
个人感觉：相比于前一阵 ...

2 A+ c/ Y7 N8 W0 `3 s

这就要西方好好领教什么叫产能过剩了。

应该会在5年内实现吧。
1 T* @" {" e6 u
微博上有位“沉睡之书11”说的。（不一定准确，可以看看）
24-9-16 23:55
发布于 湖南
, f- @$ b) k+ U来自 微博网页版
啊，说过很多次了，#光刻机# 不是挖机
不是运过来就能直接开工的。
他需要调试，需要不断的用，一边用一边调整，等光学畸变稳定——你可以理解为拷机或者汽车发动热机暖机。
. T( Z5 `5 A# l8 f" d( R
这个时间很长，也是我常年说：
) `$ y% c  h' b! _就算今天ASML传送一台EUV给咱，我们拿到第一批量产的芯片流片完（无论7nm，5nm还是多少）起码2年后——这最乐观的2年时间，还得是对EUV非常有经验的顶级工程师来操作优化。

现在发布的这台机器是起码3年前就验收了（科工），现在工信部验收推广（产业链），成熟得不行了才拿出来的。你需要，给钱就有，不限量。

# Z4 P' q8 K2 _8 d3 s简单理解就是——这机子是干式光刻机，做的是65-55nm的芯片，一次曝光。
干式光刻机没啥意义，为什么呢？因为改进之后的也可以出产低制程的，向下兼容并且良率更高（成本低方案成熟）
多重曝光也不是这哥们来做……（我是不清楚干式光刻机有没人搞这个）
. l% x' D: |" C' c0 n! y  I但这玩意的光路设计啥的，是成型了的。有了它，就加浸没式透镜，修改物镜，最终成品是目前没有验收但肯定存在某个地方的浸没式光刻机，但起码上线了2年了

4 M5 X. y+ }$ V" i1 C没公布的那个肯定还在不断的调试，修改，更换国产配件。
普通人不用管光刻机啥情况——你就看最终产品就是。
  ~; O" B  E: K- O0 [% {#华为mate70# 也没多久了。
9 R" S$ T: Q' I* K3 ~

moletronic

老财迷 发表于 2024-9-16 16:06
$ O* {" [* t, n: N1 x3 v, ]+ \应该会在5年内实现吧。
  @7 h- v& g8 B& c  J
微博上有位“沉睡之书11”说的。（不一定准确，可以看看）

1 ^2 x- @/ i8 Z9 A. f
! J  w; a5 g+ c/ j这个有点扯，新机到货后肯定要调试的，但绝对用不了两年的时间。

晨枫

moletronic 发表于 2024-9-16 18:15
这个有点扯，新机到货后肯定要调试的，但绝对用不了两年的时间。

5 G  f) v; C+ `2 p但干式到浸润的步子没那么大，这说对了吗？

moletronic

晨枫 发表于 2024-9-16 16:39
但干式到浸润的步子没那么大，这说对了吗？

/ a- B9 B" R4 b% _5 @按说这个跨越不算大，但Nikon就是浸水没搞定
% N  ~% w* U% t% X1 y1 O所以俺不敢做预测，只敢对已知的做评述

沉宝

晨枫 发表于 2024-9-17 03:34
不过EUV制作7nm可以轻易一次曝光，产率和良率应该提高很多？

" a/ `0 e5 }: v/ `7 S理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程，需要各方面不断打磨，才能接近理想的结果。现实中的例子，台积电用193nm光刻机率先量产7nm，三星则以更先进的EUV光刻机应战，由于对新型光刻机的熟悉不足，结果良率低下，很多人抛弃三星。最后三星赔本赚吆喝，开出比台积电低30%的代工费用，才勉强留下大客户。

晨枫

moletronic 发表于 2024-9-16 20:54
, b( A" o+ F$ G( `& m+ O按说这个跨越不算大，但Nikon就是浸水没搞定
$ z$ S2 d) w( y: ]所以俺不敢做预测，只敢对已知的做评述 ...

有道理。

不过现在看尼康和佳能的光刻机，总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦，就用最小投资吊着。不退场，但也不全力以赴。
4 |7 e* n4 X$ N( N0 Z6 x- ^
3 |/ Z# j( W  m+ t& }中国肯定是全力以赴的。而且倾国之力肯定大于尼康、佳能。

9 Y' d9 Y& r& Q! ~# |+ t0 b这会有差别吗？

晨枫

沉宝 发表于 2024-9-16 21:08
: o: ~' c* b8 N" m5 R/ ^8 j6 S. W* y理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程，需要各方面不断打磨，才能接近理想的结果。现实中的例子，台积 ...

这倒是个问题。都说韩国人拼，看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。

雷声

moletronic 发表于 2024-9-17 10:54
按说这个跨越不算大，但Nikon就是浸水没搞定
所以俺不敢做预测，只敢对已知的做评述 ...

% b) q& {/ H2 p( L7 O! |! v! }) e还没搞定？
我可能是09年去给Nikon做实验，他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡，想买个做实验的系统。我在的小破公司搭了一个，然后过去一起做，看能不能用。那个时候估计还是早期，这些基础的问题都没个数。做了几个实验，证明可以捕捉到微气泡发生，成长和运动的轨迹，我就撤了。这都十五年过去了。
) o, g# k  o' s- {. }尼康那时候已经有点不灵的迹象，食堂里面睡满了安装队的人。正常的话那些人都是满世界跑给别人装机器的。

晨枫

moletronic 发表于 2024-9-16 20:54
按说这个跨越不算大，但Nikon就是浸水没搞定
所以俺不敢做预测，只敢对已知的做评述 ...

0 R2 v# B/ R" k" b0 `: Z突然想起来：现在就聚焦于逻辑芯片，存储芯片用的芯片技术一样吗？前一段听说长江还是谁的128还是256层NAND也被卡了，因为光刻机的事，这说法准确吗？高端NAND需要多少nm节点的光刻机？

雷声

晨枫 发表于 2024-9-17 11:13
( |/ u. w. v: @, m5 z& e有道理。
4 V' E3 L: W" L" ]* w9 u
不过现在看尼康和佳能的光刻机，总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦，就用最小投资 ...

可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的，可是政府也难呐，到处都是嗷嗷待哺的嘴，捉了个虫也不知道塞哪张嘴里。
/ x# m' d) F% E很多年前日本媒体评价日本财政用了很形象的词，叫硬直化。所有的钱都有定好的用处，几乎没有活动钱。需要财政支持的时候十分狼狈。该做的事情做不了，钱全都拿去维持日常运转了。

moletronic

雷声 发表于 2024-9-16 19:19
还没搞定？
) I" \2 G* C1 V" a我可能是09年去给Nikon做实验，他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡，想买个做实验的 ...

Nikon是稳定性不行，被牙膏退货后就没人再买。疫情前去开spie的会，Nikon还吹牛自己行了，但主流客户没人用。
有网上谣言说华为买了些Nikon自己魔改做出了9100…俺比较怀疑真实性。

moletronic

晨枫 发表于 2024-9-16 19:21
突然想起来：现在就聚焦于逻辑芯片，存储芯片用的芯片技术一样吗？前一段听说长江还是谁的128还是256层NA ...

& P- O# y$ }6 C4 R7 x2 l. |/ m存储和逻辑的工艺重点不一样，节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。

晨枫

moletronic 发表于 2024-9-16 21:31
8 o! l6 N+ M% E! x% r0 W存储和逻辑的工艺重点不一样，节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。 ...

4 P4 Z% r$ T5 N, d( E需要用到浸润DUV吗？
; O$ Z" C2 c, e- z+ g- {
我的问题其实是：65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗？

moletronic

晨枫 发表于 2024-9-16 19:34
需要用到浸润DUV吗？
5 T  m3 E$ o$ ~& z: ~: f  i
我的问题其实是：65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗？ ...

浸水还是要的，这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。

晨枫

雷声 发表于 2024-9-16 21:23
可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的，可是政府也难呐，到处都是嗷嗷待哺的嘴，捉了个虫也不知道塞 ...

: q  @2 T" z2 B$ F- R是的，需要钱的地方太多，但光刻机和芯片可能是不计代价砸钱的方向，优先级比谁都高。这个瓶颈突破后，不只是军事、科技上的阳关道，经济上也是大片的处女地啊。
! P2 _) g% T9 D$ a' d! f
+ ?& w3 A8 N& [7 @2 v& V- C硬直化很形象。确实，西方家大业大，花钱手笔也大，但每一笔钱都预定了用处，活动余地真心很小。你看看美国在预算削减时那个鸡飞狗跳，就知道真是谁都动不得。“平均剃头”是公认的最坏选择，但是唯一大家可接受的选择。

晨枫

moletronic 发表于 2024-9-16 21:37
, x" K% f# c3 u3 M& c/ D浸水还是要的，这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。 ...

3 f% d- ~+ s8 w' l  z都说工信部这光刻机不是浸润式，但193nm光源，65nm分辨率，正好是2*1.44倍，是不是太巧了？

沉宝

moletronic 发表于 2024-9-17 10:54
按说这个跨越不算大，但Nikon就是浸水没搞定
所以俺不敢做预测，只敢对已知的做评述 ...

! W6 s  v; X* c( [具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点，这个温差会让水的密度不均匀，从而折射率不均匀，影响成像。为了避免温差，必须让水快速流动混合，但又要避免产生漩涡或者析出气泡。水可以把所接触物品上的杂质洗下来，带到晶圆上，形成缺陷。当初ASML搞浸润式光刻机时，在浸液系统上与林本坚团队合作，方案修改了7-8回，耗时两年多才取得满意的结果。

moletronic

沉宝 发表于 2024-9-16 19:43
1 w9 S5 R5 [: M' O( q) ~具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点，这个温差会让水的密度不均 ...

$ [) }9 y3 ?( X5 J& _6 z
0 \/ f( q  u* d这当然不容易，不过两年挺快啦，看看牙膏的10nm……

moletronic

晨枫 发表于 2024-9-16 19:40
都说工信部这光刻机不是浸润式，但193nm光源，65nm分辨率，正好是2*1.44倍，是不是太巧了？ ...

不知道啦，也许是隐晦放风的说法。

hsb

晨枫 发表于 2024-9-17 11:13
这倒是个问题。都说韩国人拼，看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。 ...

# a6 b# i+ V+ u$ I+ @3 ]中国大，各地方人气质不一，各擅胜场。精细活儿江南地方超过东北山东。如此说来，韩国近东北山东，台湾精英是江浙后代。