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楼主: moletronic
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[科普知识] 国产光刻机猜测

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  • TA的每日心情
    慵懒
    2022-8-27 22:14
  • 签到天数: 351 天

    [LV.8]合体

    21#
    发表于 2024-9-17 08:06:46 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 14:005 \8 N9 f! G1 o! n: {9 v
    也就是说,即使28nm现在还有光刻机瓶颈,其他也都就绪、只欠东风了。这是好事!
    5 b( X! z- S7 w3 i* {  B& ~  u) G& E" u) e* X2 M
    个人感觉:相比于前一阵 ...

    8 o- @$ A5 W, \5 J' u- h% ]& E8 M& O( Q* u& D  K  \
    这就要西方好好领教什么叫产能过剩了。

    . l0 U& U# \; ^5 [应该会在5年内实现吧。
    ; f2 S4 ~; l1 c6 g; u
    1 U9 x5 @7 f; @3 t5 S微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)! y- m" b/ }: {; h
    24-9-16 23:55
    ! {* z- k; w6 D- f发布于 湖南
    ) s( j3 T3 y% K9 L2 n, h. c来自 微博网页版
    . _6 s0 b# q4 }% X啊,说过很多次了,#光刻机# 不是挖机
    : t: W. }7 [7 c6 |" w9 Y不是运过来就能直接开工的。+ ]. m8 g. ?! ?, S
    他需要调试,需要不断的用,一边用一边调整,等光学畸变稳定——你可以理解为拷机或者汽车发动热机暖机。$ W9 G  |% q2 L1 g" M, E" t7 d
    : k) \6 h6 d$ e# u5 M, W" U- i  _
    这个时间很长,也是我常年说:
    2 E, y. a5 A2 E& d就算今天ASML传送一台EUV给咱,我们拿到第一批量产的芯片流片完(无论7nm,5nm还是多少)起码2年后——这最乐观的2年时间,还得是对EUV非常有经验的顶级工程师来操作优化。0 ~$ s$ V( ~& \
    / n0 F! l2 j5 Q/ |$ r
    现在发布的这台机器是起码3年前就验收了(科工),现在工信部验收推广(产业链),成熟得不行了才拿出来的。你需要,给钱就有,不限量。
    4 r# [* A! `; a, t/ M& e
    6 u7 v6 F; d& H# _9 J  i* @简单理解就是——这机子是干式光刻机,做的是65-55nm的芯片,一次曝光。
    ! h* v, [% b) q- U, V9 J干式光刻机没啥意义,为什么呢?因为改进之后的也可以出产低制程的,向下兼容并且良率更高(成本低方案成熟): }6 X" y  m" {+ X$ H0 V
    多重曝光也不是这哥们来做……(我是不清楚干式光刻机有没人搞这个)
    8 ~8 Y* B! w/ F- G7 f但这玩意的光路设计啥的,是成型了的。有了它,就加浸没式透镜,修改物镜,最终成品是目前没有验收但肯定存在某个地方的浸没式光刻机,但起码上线了2年了& U8 ^+ [) D) m! `

    ! k" w' H! P. y# y3 m, z没公布的那个肯定还在不断的调试,修改,更换国产配件。! t! x2 g1 O. v. A6 n0 \
    普通人不用管光刻机啥情况——你就看最终产品就是。) m3 y% y$ H4 j* ]- R0 M& C* H$ ]
    #华为mate70# 也没多久了。
    + n' Y4 m1 P2 B3 N5 b

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    这真是极好的: 5.0
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      发表于 2024-9-18 15:38
    给力: 5 涨姿势: 5 这真是极好的: 5
      发表于 2024-9-17 08:38
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    22#
     楼主| 发表于 2024-9-17 08:15:36 | 只看该作者
    老财迷 发表于 2024-9-16 16:06; j& @$ m* c- ]0 e2 L
    应该会在5年内实现吧。  }2 M+ s3 q5 R* h! c
    - X+ R4 X6 k) H. J0 [
    微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    4 _' a" J( N: t! C; {3 t! X

    * W% |3 F2 X1 P# J/ m这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

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    油菜: 5 给力: 5
    以你说的为准 :)  发表于 2024-9-17 15:27

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    23#
    发表于 2024-9-17 08:39:20 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 18:15  q3 Z9 ]0 x8 o/ F) D! D2 v
    这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

    , r- P+ b" U- \0 G7 V! t0 c# r6 |但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    24#
     楼主| 发表于 2024-9-17 10:54:17 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 18:56 编辑
    + S1 b5 U/ O$ S0 z* b+ T
    晨枫 发表于 2024-9-16 16:399 h. U0 `7 y8 q
    但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
    2 \$ K0 G% X3 T" o% Y5 A" e
    + V. Q0 s/ m' q! H" E- g
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
      U% v8 M' t! H9 f- m9 M* d所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述

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    25#
    发表于 2024-9-17 11:08:25 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 03:34
    # a; g* \% J# g$ w: p7 n不过EUV制作7nm可以轻易一次曝光,产率和良率应该提高很多?
    $ Z! T9 l- x7 `* f
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积电用193nm光刻机率先量产7nm,三星则以更先进的EUV光刻机应战,由于对新型光刻机的熟悉不足,结果良率低下,很多人抛弃三星。最后三星赔本赚吆喝,开出比台积电低30%的代工费用,才勉强留下大客户。

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      发表于 2024-9-17 15:28

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    26#
    发表于 2024-9-17 11:13:01 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54
    4 |! w& o# }* h; u9 }按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
      P/ M. I& Y/ O. W" F+ \0 F- w7 L所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    " y2 B1 J% N0 U: I
    有道理。5 K8 E4 w' B+ f8 Y6 M% K$ Z
    " ]. e( ]6 Y% ~2 d
    不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资吊着。不退场,但也不全力以赴。4 K) r9 R1 l3 S% [' ]

    / A0 I7 w0 ^, H7 t" e中国肯定是全力以赴的。而且倾国之力肯定大于尼康、佳能。* b2 k2 k% L% V0 u$ @
    - c0 A1 Z5 e0 c- d$ ?. ?
    这会有差别吗?
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    27#
    发表于 2024-9-17 11:13:37 | 只看该作者
    沉宝 发表于 2024-9-16 21:08  e) j8 I. K1 I
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积 ...

    4 U' g% n  G1 W% A3 T4 [这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。
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    28#
    发表于 2024-9-17 11:19:08 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54
    & G# H1 f# v% }) f0 z按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定$ a0 I' M# F  s0 ]0 V
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    0 g. P' _) ?! Z+ k7 K
    还没搞定? 2 h% N9 `  Y4 ~  M
    我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的系统。我在的小破公司搭了一个,然后过去一起做,看能不能用。那个时候估计还是早期,这些基础的问题都没个数。做了几个实验,证明可以捕捉到微气泡发生,成长和运动的轨迹,我就撤了。这都十五年过去了。* h$ g: O/ z0 w5 a7 [
    尼康那时候已经有点不灵的迹象,食堂里面睡满了安装队的人。正常的话那些人都是满世界跑给别人装机器的。
    / k8 Y& [) k/ L% m% n( P- `- ~

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    坛里藏龙卧虎啊  发表于 2024-9-17 15:31

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    29#
    发表于 2024-9-17 11:21:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54  g) u0 V  x- ]5 D5 F! y
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    8 W8 s7 D: l5 D3 a所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    % n* V) H: [5 t  G* c突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NAND也被卡了,因为光刻机的事,这说法准确吗?高端NAND需要多少nm节点的光刻机?
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    30#
    发表于 2024-9-17 11:23:33 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:131 Y2 M* m/ f  B% [! L) D. ]: g, |' U
    有道理。
    ! G& e1 Q; d0 V9 a
    % _( z% H! H6 z5 h不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资 ...

    ) W8 k7 V  m' Q4 @可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞哪张嘴里。
    5 V* c3 f: s; h1 y- _7 r很多年前日本媒体评价日本财政用了很形象的词,叫硬直化。所有的钱都有定好的用处,几乎没有活动钱。需要财政支持的时候十分狼狈。该做的事情做不了,钱全都拿去维持日常运转了。

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      发表于 2024-9-17 15:32

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    31#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:28:54 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 19:33 编辑 + k* ^# B! P" W0 _
    雷声 发表于 2024-9-16 19:192 L8 G/ d: Y( p" l- M
    还没搞定?
    - g1 P0 h- g5 Z) _7 @我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的 ...

    1 E+ p# r5 n% r# S2 {3 p5 e" O
    ! H+ q2 u6 `* @% p1 f$ lNikon是稳定性不行,被牙膏退货后就没人再买。疫情前去开spie的会,Nikon还吹牛自己行了,但主流客户没人用。
    " q7 q4 }: r# f0 l有网上谣言说华为买了些Nikon自己魔改做出了9100…俺比较怀疑真实性。
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    32#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:31:01 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:21
    0 \. x7 r+ R4 U# m突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NA ...
    7 T; z$ T& }- r2 j2 ]) ?
    存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。
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    33#
    发表于 2024-9-17 11:34:00 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:31
    2 a. ~  g" y5 [# o, S存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。 ...
    ! Y+ W) p/ }5 V$ K- G$ q
    需要用到浸润DUV吗?% h7 j# m7 G5 W3 |2 r( \

    ' \: e# Q0 |; D; `我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗?
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    开心
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    [LV.Master]无

    34#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:37:50 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:345 g# b4 H  t0 r1 S# W; c
    需要用到浸润DUV吗?
    + H/ l+ r, S$ z4 ?5 Y: j" U& k) F: w/ Q
    我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗? ...

    - m* F0 N2 L- J# l浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。
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    35#
    发表于 2024-9-17 11:38:06 | 只看该作者
    雷声 发表于 2024-9-16 21:23
    2 e5 L0 \1 y. C+ y可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞 ...

    7 v' p) E8 J: M( J7 n是的,需要钱的地方太多,但光刻机和芯片可能是不计代价砸钱的方向,优先级比谁都高。这个瓶颈突破后,不只是军事、科技上的阳关道,经济上也是大片的处女地啊。. a/ x, y5 K: |$ }' r/ l% U

    " f( r# H, i2 {7 _硬直化很形象。确实,西方家大业大,花钱手笔也大,但每一笔钱都预定了用处,活动余地真心很小。你看看美国在预算削减时那个鸡飞狗跳,就知道真是谁都动不得。“平均剃头”是公认的最坏选择,但是唯一大家可接受的选择。
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    36#
    发表于 2024-9-17 11:40:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:373 E; x& s" C0 A. e2 N. K! o/ \
    浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。 ...

    $ b+ }7 y) V1 L8 V  n都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了?
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    37#
    发表于 2024-9-17 11:43:29 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54
    $ e7 Z5 p7 J# G2 J9 _4 @6 G& u按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定! Q4 y( S' Q5 @1 g; Z
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    / ?/ {  C( C8 V" |/ t% x4 H' t$ Y  F具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均匀,从而折射率不均匀,影响成像。为了避免温差,必须让水快速流动混合,但又要避免产生漩涡或者析出气泡。水可以把所接触物品上的杂质洗下来,带到晶圆上,形成缺陷。当初ASML搞浸润式光刻机时,在浸液系统上与林本坚团队合作,方案修改了7-8回,耗时两年多才取得满意的结果。

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    38#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:59:49 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 20:02 编辑 + F" Y  A2 @+ H, H6 p; I3 M2 W
    沉宝 发表于 2024-9-16 19:43: s" `2 c0 Z' h" S: Y) l$ m& N
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均 ...
    " |/ X& W6 M6 n

    3 z: b: \0 g+ b9 m* B: X# f9 X; r& v这当然不容易,不过两年挺快啦,看看牙膏的10nm……
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    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    39#
     楼主| 发表于 2024-9-17 12:01:58 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:40
    ' _1 \4 C0 W- @* ?8 q& m/ H' h都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了? ...

    ( @# G2 j& v9 x$ B不知道啦,也许是隐晦放风的说法。
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    40#
    发表于 2024-9-17 17:38:39 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:136 Q9 i: e7 q5 s' O9 p0 u  e
    这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。 ...
    5 X2 Y1 W. q" E
    中国大,各地方人气质不一,各擅胜场。精细活儿江南地方超过东北山东。如此说来,韩国近东北山东,台湾精英是江浙后代。
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