TA的每日心情 | 开心 2017-4-3 16:51 |
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签到天数: 67 天 [LV.6]出窍
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楼主 |
发表于 2012-3-18 11:33:33
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只看该作者
就爱抬杠 发表于 2012-3-18 10:44 4 R4 d+ O% `, v4 n% P
能否介绍一下目前国内薄膜太阳能的发展情况?我只知道安泰科技和德国某公司合作过这个项目。 ... / o! V F r1 U' ?# j3 a
我本身不是从事这方面的研发技术工作,加上现在不是从事光伏行业,所以,了解的情况不算全面。
( K, z% t; J$ P) w8 e- ?- a; u# Q2 @
我知道目前在研的五代硅基薄膜太阳能电池工艺技术:
; t9 R+ I% C* [. V, V0 H$ Z第一代非晶硅单结薄膜太阳能电池,, f, y7 q1 t, M, q7 P8 @
第二代非晶硅/非晶硅双结薄膜太阳能电池,
$ _5 w/ k0 B& k- b/ v第三代非晶硅/微晶硅双结薄膜太阳能电池,1 W& F# k$ H' Q# `" o! Y
第四代非晶硅/非晶硅锗双结或三结薄膜太阳能电池,$ D9 R& l5 x1 ?/ u8 I' y6 F# o
第五代非晶硅/非晶硅锗/微晶硅三结薄膜太阳能电池,
7 n: C, ~# b4 X( u/ K. y目前在产业化领域中的主要技术仍旧是前两者。
* x& U* r) R- L
6 a9 d9 |2 F# `" U在生产线技术方面依关键的PECVD沉积系统分类,可以划分出以下5种设备模式:
/ E+ W% u# u/ g, w6 o* {1 K单室多片PECVD沉积系统(EPV、BudaSolar),% m9 E6 ^1 y* u$ T9 B
串联线列式多室单片PECVD沉积系统(日本真空),4 i" a7 L/ A7 b4 f
并联线列式多室单片PECVD沉积系统(莱宝真空),
( @( ~ N' Y$ L4 a! R% t7 \团簇式多室单片PECVD沉积系统(应用材料公司),
; S' L* n5 U+ S; J( `/ e单多片混合型PECVD沉积系统(Oerlikon公司)。 |
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