TA的每日心情 | 开心 2017-4-3 16:51 |
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签到天数: 67 天 [LV.6]出窍
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板凳

楼主 |
发表于 2012-3-18 11:33:33
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只看该作者
就爱抬杠 发表于 2012-3-18 10:44 ![]()
1 Z1 n6 O3 E9 c8 Q2 }能否介绍一下目前国内薄膜太阳能的发展情况?我只知道安泰科技和德国某公司合作过这个项目。 ...
* z# \& k. N5 H' O& E: ^9 E我本身不是从事这方面的研发技术工作,加上现在不是从事光伏行业,所以,了解的情况不算全面。4 B0 O& E4 M( m' P% i$ ^
' `& [' T2 n: c G! B我知道目前在研的五代硅基薄膜太阳能电池工艺技术:) c4 S" K! d: P: n
第一代非晶硅单结薄膜太阳能电池,8 i0 k) n5 C3 b4 ?7 u
第二代非晶硅/非晶硅双结薄膜太阳能电池,
. ^) n" {& l" i t- K) s9 Y# x第三代非晶硅/微晶硅双结薄膜太阳能电池,5 q, i( Y% k5 I- g+ m5 a8 [
第四代非晶硅/非晶硅锗双结或三结薄膜太阳能电池,6 H/ x; W L. f8 r5 E m: _: l
第五代非晶硅/非晶硅锗/微晶硅三结薄膜太阳能电池, u7 t) S; |; H) k; j
目前在产业化领域中的主要技术仍旧是前两者。
, [$ Y1 W7 Y; Q9 ]' Q' o- j& z* P- |" O
在生产线技术方面依关键的PECVD沉积系统分类,可以划分出以下5种设备模式:
. P6 ^2 O' `0 ]8 T) |) W5 a单室多片PECVD沉积系统(EPV、BudaSolar),
) y) ]: R. V8 Y0 W; U* F I: j串联线列式多室单片PECVD沉积系统(日本真空),
0 I( Q; @; k/ T8 Y' E7 s( i/ A并联线列式多室单片PECVD沉积系统(莱宝真空),% s+ b& C8 K: }
团簇式多室单片PECVD沉积系统(应用材料公司),
3 l, K* Y8 `! T2 T单多片混合型PECVD沉积系统(Oerlikon公司)。 |
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