TA的每日心情 | 开心 2017-4-3 16:51 |
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签到天数: 67 天 [LV.6]出窍
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楼主 |
发表于 2012-3-18 11:33:33
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只看该作者
就爱抬杠 发表于 2012-3-18 10:44 2 H# F' o: ` z! I
能否介绍一下目前国内薄膜太阳能的发展情况?我只知道安泰科技和德国某公司合作过这个项目。 ... : x% m" ^" e: Z4 B
我本身不是从事这方面的研发技术工作,加上现在不是从事光伏行业,所以,了解的情况不算全面。* T# s5 u2 p' A& V
' n( q; F" c0 u. I" [我知道目前在研的五代硅基薄膜太阳能电池工艺技术:
7 X. ]" `1 G4 N# h- j: _第一代非晶硅单结薄膜太阳能电池,( C9 @$ {' F( h# ?$ L9 R
第二代非晶硅/非晶硅双结薄膜太阳能电池,& @, ~+ X, o* ]/ S8 a% Z. D
第三代非晶硅/微晶硅双结薄膜太阳能电池,
9 C6 ~; S# V, Q4 A9 k3 u# l第四代非晶硅/非晶硅锗双结或三结薄膜太阳能电池,
9 f* u7 i- H/ G第五代非晶硅/非晶硅锗/微晶硅三结薄膜太阳能电池, S0 n* D! D! S7 u. A y: o7 D
目前在产业化领域中的主要技术仍旧是前两者。% {9 G. a6 u8 C# |6 ~
. U5 I' z* C' T( f b在生产线技术方面依关键的PECVD沉积系统分类,可以划分出以下5种设备模式:' ~1 k& X9 E1 w! ^; T
单室多片PECVD沉积系统(EPV、BudaSolar),
7 w, _. [& i: ]. O3 `串联线列式多室单片PECVD沉积系统(日本真空),
; Y, Q" @9 ^% d6 S' Y并联线列式多室单片PECVD沉积系统(莱宝真空),! O' G% @) W z
团簇式多室单片PECVD沉积系统(应用材料公司),
% X0 j3 U( y' L0 e7 a% J单多片混合型PECVD沉积系统(Oerlikon公司)。 |
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