TA的每日心情 | 开心 2017-4-3 16:51 |
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签到天数: 67 天 [LV.6]出窍
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楼主 |
发表于 2012-3-18 11:33:33
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只看该作者
就爱抬杠 发表于 2012-3-18 10:44 3 u% l. d5 Q2 G* S/ ?0 Q8 A
能否介绍一下目前国内薄膜太阳能的发展情况?我只知道安泰科技和德国某公司合作过这个项目。 ... $ E& U- L, G0 \) [; A3 P' f
我本身不是从事这方面的研发技术工作,加上现在不是从事光伏行业,所以,了解的情况不算全面。
- j1 f% ^, u& i4 u6 r& c) K4 A; B! Y6 i ~/ j, _5 n; u# U
我知道目前在研的五代硅基薄膜太阳能电池工艺技术:
/ U& U* h& {% `; g E9 q$ n; p9 y第一代非晶硅单结薄膜太阳能电池,6 o( l# X7 x( \; Q6 Z- H
第二代非晶硅/非晶硅双结薄膜太阳能电池,
) @4 t: ]& E& s, A第三代非晶硅/微晶硅双结薄膜太阳能电池,
$ {! k. p/ _2 O7 e' q$ ~* t第四代非晶硅/非晶硅锗双结或三结薄膜太阳能电池,
) J+ ^, b- w: ~5 O$ h第五代非晶硅/非晶硅锗/微晶硅三结薄膜太阳能电池,& G9 p2 x, }/ T; b) x, h
目前在产业化领域中的主要技术仍旧是前两者。
* W- U6 w( Z$ t/ Z) J! F- G6 B. o! E: w! E2 V3 }+ d2 {
在生产线技术方面依关键的PECVD沉积系统分类,可以划分出以下5种设备模式:: l+ M5 [) G7 N$ {6 _
单室多片PECVD沉积系统(EPV、BudaSolar)," q1 N: J) P- G1 K. b; w9 S6 r
串联线列式多室单片PECVD沉积系统(日本真空),: n8 n8 @: e* k: h- M: u! v
并联线列式多室单片PECVD沉积系统(莱宝真空),( m3 H4 t2 d0 j- w/ r
团簇式多室单片PECVD沉积系统(应用材料公司),9 a: s: r- p- m6 {0 t& M2 Q6 u
单多片混合型PECVD沉积系统(Oerlikon公司)。 |
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