TA的每日心情 | 开心 2017-4-3 16:51 |
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签到天数: 67 天 [LV.6]出窍
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板凳

楼主 |
发表于 2012-3-18 11:33:33
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只看该作者
就爱抬杠 发表于 2012-3-18 10:44 . W' W$ @/ J; E! V( m1 |
能否介绍一下目前国内薄膜太阳能的发展情况?我只知道安泰科技和德国某公司合作过这个项目。 ...
8 [' q" m, \( a; y6 F' Y7 S6 L我本身不是从事这方面的研发技术工作,加上现在不是从事光伏行业,所以,了解的情况不算全面。8 [& ?# h$ y! [
0 F5 I M( L7 C' q) E1 j9 @2 ?我知道目前在研的五代硅基薄膜太阳能电池工艺技术:; |2 t- G6 F% A# Q) G1 @5 P
第一代非晶硅单结薄膜太阳能电池,
; g7 p' a- |2 x第二代非晶硅/非晶硅双结薄膜太阳能电池,
+ ^& O+ X' T2 j- O第三代非晶硅/微晶硅双结薄膜太阳能电池,
4 V! t, W/ f! u w第四代非晶硅/非晶硅锗双结或三结薄膜太阳能电池,2 `1 U) A$ j: j, p7 }1 M
第五代非晶硅/非晶硅锗/微晶硅三结薄膜太阳能电池,
- B! T9 V- h% u9 U+ o, W. x目前在产业化领域中的主要技术仍旧是前两者。9 n8 S0 X8 k/ X& [
. F% N' |! \9 T2 h4 l% f
在生产线技术方面依关键的PECVD沉积系统分类,可以划分出以下5种设备模式:
4 k% i* Y$ L( x/ i单室多片PECVD沉积系统(EPV、BudaSolar),* d0 b4 }" |5 E; }0 g+ i5 T4 L
串联线列式多室单片PECVD沉积系统(日本真空),/ s, x9 i( r' i5 I2 C3 l7 i% |
并联线列式多室单片PECVD沉积系统(莱宝真空),' p2 P- z# n! m; g* e8 ^
团簇式多室单片PECVD沉积系统(应用材料公司),; g8 B g0 J7 a- P
单多片混合型PECVD沉积系统(Oerlikon公司)。 |
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