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TA的每日心情|  | 开心 2017-4-3 16:51
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 签到天数: 67 天 [LV.6]出窍 | 
板凳
 
 
 楼主|
发表于 2012-3-18 11:33:33
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只看该作者 
| 就爱抬杠 发表于 2012-3-18 10:44 ![]() & m$ W& g) d  B能否介绍一下目前国内薄膜太阳能的发展情况?我只知道安泰科技和德国某公司合作过这个项目。 ...
0 D9 m2 L3 L2 w' i我本身不是从事这方面的研发技术工作,加上现在不是从事光伏行业,所以,了解的情况不算全面。
 & _2 M& W0 L1 l5 d* l9 t) `, N& g7 r0 T( B0 a! u
 我知道目前在研的五代硅基薄膜太阳能电池工艺技术:
 2 U) z" T* \% v8 J第一代非晶硅单结薄膜太阳能电池,3 l0 D( c+ s8 [8 c0 ~$ j! R5 J8 v
 第二代非晶硅/非晶硅双结薄膜太阳能电池,  N# ?- A) N3 z( \% X
 第三代非晶硅/微晶硅双结薄膜太阳能电池,) k: h- D9 V; u; [, q! j
 第四代非晶硅/非晶硅锗双结或三结薄膜太阳能电池,1 N, t3 w0 ^% c  `/ d
 第五代非晶硅/非晶硅锗/微晶硅三结薄膜太阳能电池,, q4 k1 y& T# p+ B5 |5 A8 ~
 目前在产业化领域中的主要技术仍旧是前两者。* \2 |" A: [6 N% ~, x0 ^
 
 ; ]1 q: C; o* q8 O7 e4 W  g. V+ P在生产线技术方面依关键的PECVD沉积系统分类,可以划分出以下5种设备模式:
 / L/ X0 v- `5 ~  L单室多片PECVD沉积系统(EPV、BudaSolar),
 ; x% A% e2 e3 y$ e串联线列式多室单片PECVD沉积系统(日本真空),2 T6 k5 X1 e0 x. S. w- G+ A
 并联线列式多室单片PECVD沉积系统(莱宝真空),
 . k; Y! x7 N; o# ^9 N6 e团簇式多室单片PECVD沉积系统(应用材料公司),; O; x! y4 g; S) W1 w7 Y
 单多片混合型PECVD沉积系统(Oerlikon公司)。
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