TA的每日心情 | 开心 2017-4-3 16:51 |
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签到天数: 67 天 [LV.6]出窍
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楼主 |
发表于 2012-3-18 11:33:33
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只看该作者
就爱抬杠 发表于 2012-3-18 10:44 9 i9 [6 ?- I8 E1 l
能否介绍一下目前国内薄膜太阳能的发展情况?我只知道安泰科技和德国某公司合作过这个项目。 ...
- W& T' ]$ d' E# J4 c5 W我本身不是从事这方面的研发技术工作,加上现在不是从事光伏行业,所以,了解的情况不算全面。
& B/ G, H) l; g1 C$ [$ f
7 w; A+ ]3 W4 U% ]' Z' e- ?我知道目前在研的五代硅基薄膜太阳能电池工艺技术:
5 Z( R: h/ v: A第一代非晶硅单结薄膜太阳能电池,2 q7 W; Q% o! A; X3 F
第二代非晶硅/非晶硅双结薄膜太阳能电池,
% F% e# {& H, Y' Y2 ]/ S第三代非晶硅/微晶硅双结薄膜太阳能电池," q! z4 w3 y; Z) m
第四代非晶硅/非晶硅锗双结或三结薄膜太阳能电池,
/ K% ^% J8 `7 y, q( _: L/ R第五代非晶硅/非晶硅锗/微晶硅三结薄膜太阳能电池,
9 h) Z1 Q* j3 D- p目前在产业化领域中的主要技术仍旧是前两者。
+ L* T( j* n. J: N; A
8 q2 _/ z+ {% |- U+ n2 f I9 M在生产线技术方面依关键的PECVD沉积系统分类,可以划分出以下5种设备模式:
" X, E9 a1 y" g单室多片PECVD沉积系统(EPV、BudaSolar),' q( u5 ~, b( F a! d% H, H+ y* ^
串联线列式多室单片PECVD沉积系统(日本真空),
) K, i2 e4 P" ^1 P并联线列式多室单片PECVD沉积系统(莱宝真空),
& R% S7 M4 V, U3 R8 H! C团簇式多室单片PECVD沉积系统(应用材料公司),
2 s' h2 t" o- T/ o0 U. T单多片混合型PECVD沉积系统(Oerlikon公司)。 |
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