TA的每日心情 | 开心 2017-4-3 16:51 |
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签到天数: 67 天 [LV.6]出窍
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板凳

楼主 |
发表于 2012-3-18 11:33:33
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只看该作者
就爱抬杠 发表于 2012-3-18 10:44 ![]()
" j& A8 z8 `# d3 L* H8 N% O能否介绍一下目前国内薄膜太阳能的发展情况?我只知道安泰科技和德国某公司合作过这个项目。 ... * q4 R2 j6 ~% ?, y6 m
我本身不是从事这方面的研发技术工作,加上现在不是从事光伏行业,所以,了解的情况不算全面。
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, {2 T0 p, ^. \我知道目前在研的五代硅基薄膜太阳能电池工艺技术:1 J; g. f. b1 v0 `" h+ Z& R$ ~
第一代非晶硅单结薄膜太阳能电池,# o5 U$ y# l$ H5 a0 D1 }
第二代非晶硅/非晶硅双结薄膜太阳能电池,9 k8 {( V6 ?' q0 F4 [
第三代非晶硅/微晶硅双结薄膜太阳能电池,0 f! v1 b( |" t: ?- d5 p
第四代非晶硅/非晶硅锗双结或三结薄膜太阳能电池,% y! w0 r* Y1 }& @# g4 E
第五代非晶硅/非晶硅锗/微晶硅三结薄膜太阳能电池,
; `7 d J. i# h目前在产业化领域中的主要技术仍旧是前两者。2 w# S% w# h( {5 ~7 ^7 e
- C4 I) E; s+ U+ @5 f# F' f
在生产线技术方面依关键的PECVD沉积系统分类,可以划分出以下5种设备模式:5 }; u- l7 g+ \' {% W! A9 t
单室多片PECVD沉积系统(EPV、BudaSolar),
4 j, p' n7 x7 [, ~: t串联线列式多室单片PECVD沉积系统(日本真空),
7 ^) Y- K9 e9 T5 ~! r4 |# p9 Z并联线列式多室单片PECVD沉积系统(莱宝真空),
5 J* x7 R/ p6 c/ O/ s团簇式多室单片PECVD沉积系统(应用材料公司),
3 J1 h* i7 t* @8 K单多片混合型PECVD沉积系统(Oerlikon公司)。 |
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