TA的每日心情 | 开心 2017-4-3 16:51 |
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签到天数: 67 天 [LV.6]出窍
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楼主 |
发表于 2012-3-18 11:33:33
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只看该作者
就爱抬杠 发表于 2012-3-18 10:44 6 N& ^# U. T7 j' V# }! T" F
能否介绍一下目前国内薄膜太阳能的发展情况?我只知道安泰科技和德国某公司合作过这个项目。 ... 7 N# Q" z' p+ _$ n2 y* Q
我本身不是从事这方面的研发技术工作,加上现在不是从事光伏行业,所以,了解的情况不算全面。0 ^5 @9 y2 M" F, a7 F/ [! P
! k3 X4 ]8 Y$ K \# @$ J) M% t$ d
我知道目前在研的五代硅基薄膜太阳能电池工艺技术:9 H* g/ [8 n% `; M# }2 Q
第一代非晶硅单结薄膜太阳能电池,6 ^. m( W9 D5 ?8 T2 Z, ^4 u, _
第二代非晶硅/非晶硅双结薄膜太阳能电池,
% n$ `& r2 n( k第三代非晶硅/微晶硅双结薄膜太阳能电池,1 a2 E9 @5 j0 w" I5 h) V
第四代非晶硅/非晶硅锗双结或三结薄膜太阳能电池,
# `+ E" X- {# _, d9 D第五代非晶硅/非晶硅锗/微晶硅三结薄膜太阳能电池,
" K9 @& N" {! R8 f& ?: [# ~/ V4 G目前在产业化领域中的主要技术仍旧是前两者。. e8 g2 t% w# C( W
3 Q: c* {" h) f/ P- Y7 }
在生产线技术方面依关键的PECVD沉积系统分类,可以划分出以下5种设备模式:
. R# Q, R- `. b8 y% k8 E- z9 q3 h6 d: H单室多片PECVD沉积系统(EPV、BudaSolar),- T, D$ t8 h" k& H
串联线列式多室单片PECVD沉积系统(日本真空),
1 l3 ^2 z! @9 X. g9 t' N并联线列式多室单片PECVD沉积系统(莱宝真空),& ~) t; P6 T$ Z9 C& O. H
团簇式多室单片PECVD沉积系统(应用材料公司),
0 g; ^+ ]8 @2 \9 S单多片混合型PECVD沉积系统(Oerlikon公司)。 |
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