TA的每日心情 | 开心 2017-4-3 16:51 |
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签到天数: 67 天 [LV.6]出窍
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板凳

楼主 |
发表于 2012-3-18 11:33:33
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只看该作者
就爱抬杠 发表于 2012-3-18 10:44 ![]()
; q! i8 l1 \" `* L: S' h2 u能否介绍一下目前国内薄膜太阳能的发展情况?我只知道安泰科技和德国某公司合作过这个项目。 ... @% ?2 I7 O2 O* V) D2 }8 j
我本身不是从事这方面的研发技术工作,加上现在不是从事光伏行业,所以,了解的情况不算全面。; A+ b- L( {" m% {7 P5 q
2 w( L. @- I4 u, a# S
我知道目前在研的五代硅基薄膜太阳能电池工艺技术:) b6 f9 X# A, R1 H9 @! A' @
第一代非晶硅单结薄膜太阳能电池,8 d1 N3 [# {2 @) A6 ]0 @% K
第二代非晶硅/非晶硅双结薄膜太阳能电池,
( `+ Q6 p, {, p/ L8 R2 q! q- x# q第三代非晶硅/微晶硅双结薄膜太阳能电池,
1 V, W, f @! N) y9 R第四代非晶硅/非晶硅锗双结或三结薄膜太阳能电池,( M" B. s/ E4 o& z9 o
第五代非晶硅/非晶硅锗/微晶硅三结薄膜太阳能电池,3 j9 N3 H# T+ ^/ H1 U
目前在产业化领域中的主要技术仍旧是前两者。9 X( h4 N( Q, q7 C6 u' _
% W9 c" u* d3 q在生产线技术方面依关键的PECVD沉积系统分类,可以划分出以下5种设备模式:
1 u) J3 `7 C. O. w8 F/ ~; `( B单室多片PECVD沉积系统(EPV、BudaSolar),
; X1 `- i8 J* g: q# i) M串联线列式多室单片PECVD沉积系统(日本真空),+ I% z3 q( z. Y4 V( v1 K" Q
并联线列式多室单片PECVD沉积系统(莱宝真空),
; x1 V$ P& a+ v, a6 F0 e团簇式多室单片PECVD沉积系统(应用材料公司),( u) V2 B1 Y `( P. |6 ]
单多片混合型PECVD沉积系统(Oerlikon公司)。 |
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