TA的每日心情 | 开心 2017-4-3 16:51 |
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签到天数: 67 天 [LV.6]出窍
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板凳

楼主 |
发表于 2012-3-18 11:33:33
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只看该作者
就爱抬杠 发表于 2012-3-18 10:44 ![]()
, Y; h3 ~# W8 \3 `, V0 [能否介绍一下目前国内薄膜太阳能的发展情况?我只知道安泰科技和德国某公司合作过这个项目。 ... 5 v2 {+ T8 W4 Y! Q/ m/ n' y
我本身不是从事这方面的研发技术工作,加上现在不是从事光伏行业,所以,了解的情况不算全面。
" ^. H) O9 b9 H* w0 U
# i) Q# V* s' L: q4 G我知道目前在研的五代硅基薄膜太阳能电池工艺技术:
9 g: w$ s0 g; C6 \ X第一代非晶硅单结薄膜太阳能电池,
, E( I6 x; B. T# O第二代非晶硅/非晶硅双结薄膜太阳能电池,
5 W% {; Y4 a9 N6 }, x第三代非晶硅/微晶硅双结薄膜太阳能电池,8 l i( g8 C( N$ k# [/ S6 V: q2 t6 u
第四代非晶硅/非晶硅锗双结或三结薄膜太阳能电池,
, Q" w: a6 b& H- _第五代非晶硅/非晶硅锗/微晶硅三结薄膜太阳能电池,2 v3 x4 V. D N" p" @; V
目前在产业化领域中的主要技术仍旧是前两者。
2 Y/ ]: l9 Q" |0 z
1 y8 N0 C. Q, o# d# j4 g7 J" c在生产线技术方面依关键的PECVD沉积系统分类,可以划分出以下5种设备模式:
, q& S9 M3 t8 H0 L5 ^ G) q单室多片PECVD沉积系统(EPV、BudaSolar),* D! [/ Z. L! F& M
串联线列式多室单片PECVD沉积系统(日本真空),0 D8 M% p8 w; C0 f: B; R: O
并联线列式多室单片PECVD沉积系统(莱宝真空),
& L0 J4 d7 X2 ^* j: ~% X+ k* y# z团簇式多室单片PECVD沉积系统(应用材料公司),& P5 t; u) ^6 E
单多片混合型PECVD沉积系统(Oerlikon公司)。 |
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