TA的每日心情 | 开心 2017-4-3 16:51 |
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签到天数: 67 天 [LV.6]出窍
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板凳

楼主 |
发表于 2012-3-18 11:33:33
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只看该作者
就爱抬杠 发表于 2012-3-18 10:44 ![]()
; J2 M3 h& l- @% y/ k能否介绍一下目前国内薄膜太阳能的发展情况?我只知道安泰科技和德国某公司合作过这个项目。 ...
1 y: u# O$ @9 g$ Z' a2 t! ^& H我本身不是从事这方面的研发技术工作,加上现在不是从事光伏行业,所以,了解的情况不算全面。
/ |2 H+ F% e8 {7 k
' c* l* k( _* W, B我知道目前在研的五代硅基薄膜太阳能电池工艺技术:. d4 O- u9 E0 Y/ Y/ p$ n) w
第一代非晶硅单结薄膜太阳能电池,
+ s I0 S3 H2 E* t/ C- X7 x4 U第二代非晶硅/非晶硅双结薄膜太阳能电池,( \1 S9 E, Q9 u! @9 n, {2 k. p
第三代非晶硅/微晶硅双结薄膜太阳能电池,
* U1 ~' q/ B, ~4 p/ l* q: o9 r第四代非晶硅/非晶硅锗双结或三结薄膜太阳能电池,
% Y) e/ R0 F8 \8 ?' S2 ?$ {第五代非晶硅/非晶硅锗/微晶硅三结薄膜太阳能电池,
! F/ K8 E$ ?: }: [目前在产业化领域中的主要技术仍旧是前两者。
2 n/ F0 J5 p3 X5 @) f1 D4 a8 @+ k2 Y. s$ d
在生产线技术方面依关键的PECVD沉积系统分类,可以划分出以下5种设备模式:! u0 C8 L b) G7 j* a0 H5 y( ]
单室多片PECVD沉积系统(EPV、BudaSolar),- U, W! k; n, `, y
串联线列式多室单片PECVD沉积系统(日本真空),4 E8 T+ q/ e, o9 I; v9 E
并联线列式多室单片PECVD沉积系统(莱宝真空),
: L$ O( z D* I9 }6 [0 @8 z团簇式多室单片PECVD沉积系统(应用材料公司),
# W2 p! x+ J3 B单多片混合型PECVD沉积系统(Oerlikon公司)。 |
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