TA的每日心情 | 开心 2017-4-3 16:51 |
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签到天数: 67 天 [LV.6]出窍
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板凳
楼主 |
发表于 2012-3-18 11:33:33
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只看该作者
就爱抬杠 发表于 2012-3-18 10:44 , c( x8 p# l+ I" V- J+ x
能否介绍一下目前国内薄膜太阳能的发展情况?我只知道安泰科技和德国某公司合作过这个项目。 ...
& F/ X" s4 O2 p我本身不是从事这方面的研发技术工作,加上现在不是从事光伏行业,所以,了解的情况不算全面。
& J z: v9 n/ y! U4 D; ~/ D' R+ L0 M! ]
我知道目前在研的五代硅基薄膜太阳能电池工艺技术:* z7 ~' d: x& N8 d
第一代非晶硅单结薄膜太阳能电池,
/ [( g3 ~; B) t* n3 ]第二代非晶硅/非晶硅双结薄膜太阳能电池,) o/ t/ Q4 q- Q5 z- H
第三代非晶硅/微晶硅双结薄膜太阳能电池,+ f) k, v* `/ c( w* f
第四代非晶硅/非晶硅锗双结或三结薄膜太阳能电池,; h, W. i+ P6 `' U- p7 b8 c- s
第五代非晶硅/非晶硅锗/微晶硅三结薄膜太阳能电池,
- z( O" ^% H r' Y* H目前在产业化领域中的主要技术仍旧是前两者。 c; q4 Z* r) T6 {. _6 N g# ?
u) H( ?7 @8 ?: d3 S# {* Y: y
在生产线技术方面依关键的PECVD沉积系统分类,可以划分出以下5种设备模式:- X, j$ J: P* C" J/ c& r
单室多片PECVD沉积系统(EPV、BudaSolar),5 c8 @- u# B+ \' e1 B" t
串联线列式多室单片PECVD沉积系统(日本真空),
. J2 [3 d6 `3 }4 L# ]8 v并联线列式多室单片PECVD沉积系统(莱宝真空),9 D9 S& J. e0 n4 }5 W4 e5 U
团簇式多室单片PECVD沉积系统(应用材料公司),
% ]: N9 ]& y: X7 m% L6 o单多片混合型PECVD沉积系统(Oerlikon公司)。 |
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