TA的每日心情 | 开心 2017-4-3 16:51 |
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签到天数: 67 天 [LV.6]出窍
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楼主 |
发表于 2012-3-18 11:33:33
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只看该作者
就爱抬杠 发表于 2012-3-18 10:44 ( B0 j1 e4 H, u' v% b1 c
能否介绍一下目前国内薄膜太阳能的发展情况?我只知道安泰科技和德国某公司合作过这个项目。 ... 4 e8 ~0 m( e6 e( Q3 K+ i: [
我本身不是从事这方面的研发技术工作,加上现在不是从事光伏行业,所以,了解的情况不算全面。
+ v+ Q1 a1 p6 D, d- B" B
% f( b! R- B6 w7 U+ r我知道目前在研的五代硅基薄膜太阳能电池工艺技术:* ~5 m- {1 J+ t. R9 _: M
第一代非晶硅单结薄膜太阳能电池,
$ l3 Z" b' u7 ]4 L5 U/ d9 B第二代非晶硅/非晶硅双结薄膜太阳能电池,
5 |) S# M$ X3 m. T+ S第三代非晶硅/微晶硅双结薄膜太阳能电池,1 q. w9 V4 y, e0 T- g
第四代非晶硅/非晶硅锗双结或三结薄膜太阳能电池,
, ?1 E4 F+ p/ U5 j- X第五代非晶硅/非晶硅锗/微晶硅三结薄膜太阳能电池,% ^3 J$ m( v% j, B
目前在产业化领域中的主要技术仍旧是前两者。8 [9 I) M8 d/ _- l2 q- V0 F1 o
3 P( L1 j' C, q( g! I在生产线技术方面依关键的PECVD沉积系统分类,可以划分出以下5种设备模式:
l5 }: E7 L! ^" j6 ]单室多片PECVD沉积系统(EPV、BudaSolar),& i: D% i( {) M6 F$ Y
串联线列式多室单片PECVD沉积系统(日本真空),' G. F# z5 Q$ o# j0 J2 k
并联线列式多室单片PECVD沉积系统(莱宝真空),4 x0 N* B( \. j: v# L" y& f
团簇式多室单片PECVD沉积系统(应用材料公司),
0 z( d2 e( z* Q8 p- ]. H! G单多片混合型PECVD沉积系统(Oerlikon公司)。 |
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