TA的每日心情 | 开心 2017-4-3 16:51 |
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签到天数: 67 天 [LV.6]出窍
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板凳

楼主 |
发表于 2012-3-18 11:33:33
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只看该作者
就爱抬杠 发表于 2012-3-18 10:44 ![]()
3 @9 G$ u8 t3 d) P" r& Q; C8 i. u能否介绍一下目前国内薄膜太阳能的发展情况?我只知道安泰科技和德国某公司合作过这个项目。 ...
) o: Q+ ?2 w1 \, B. V我本身不是从事这方面的研发技术工作,加上现在不是从事光伏行业,所以,了解的情况不算全面。
7 ~( m5 v7 f, q) E/ l; O6 c. {% A% Q7 h
我知道目前在研的五代硅基薄膜太阳能电池工艺技术:( M( k7 a' p: V2 g+ h+ M9 _
第一代非晶硅单结薄膜太阳能电池,
: |" i+ R; W% ]/ N- {第二代非晶硅/非晶硅双结薄膜太阳能电池,
% D$ |% c1 W ~7 ~9 n第三代非晶硅/微晶硅双结薄膜太阳能电池,! Q* Z% D! \4 g3 N$ M
第四代非晶硅/非晶硅锗双结或三结薄膜太阳能电池,3 r7 q; b4 K' d0 i4 v
第五代非晶硅/非晶硅锗/微晶硅三结薄膜太阳能电池,3 Q" Y O1 [! ^
目前在产业化领域中的主要技术仍旧是前两者。
3 I' }8 e( [: F. p
) a& R4 t. M8 {7 C4 a _8 G在生产线技术方面依关键的PECVD沉积系统分类,可以划分出以下5种设备模式:
; t( A& J7 s% ~2 L& X/ H, B$ q单室多片PECVD沉积系统(EPV、BudaSolar),
$ E# A6 G4 ~ Y" k6 s串联线列式多室单片PECVD沉积系统(日本真空),. H# n+ S" ~8 I/ {$ \* e; G& D
并联线列式多室单片PECVD沉积系统(莱宝真空),
! w, z' k' H5 `! z2 q, ?团簇式多室单片PECVD沉积系统(应用材料公司),& S2 X I' o( v4 J3 F# E
单多片混合型PECVD沉积系统(Oerlikon公司)。 |
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