TA的每日心情 | 开心 2017-4-3 16:51 |
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签到天数: 67 天 [LV.6]出窍
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板凳
楼主 |
发表于 2012-3-18 11:33:33
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只看该作者
就爱抬杠 发表于 2012-3-18 10:44
6 k/ @% L! U6 H1 A8 ], v, M1 |; ^能否介绍一下目前国内薄膜太阳能的发展情况?我只知道安泰科技和德国某公司合作过这个项目。 ...
- R' n& E/ E5 \/ h- C( ]+ X! o我本身不是从事这方面的研发技术工作,加上现在不是从事光伏行业,所以,了解的情况不算全面。
! i& k* o- a0 p1 h( h/ O- O F+ V. r3 F/ C) a, }3 N( F' j
我知道目前在研的五代硅基薄膜太阳能电池工艺技术:
- a" g0 ~" i+ C第一代非晶硅单结薄膜太阳能电池,! e1 Q8 B5 N: F$ l6 t: ]
第二代非晶硅/非晶硅双结薄膜太阳能电池,# e. i; Q/ u" G+ K3 T# j5 W
第三代非晶硅/微晶硅双结薄膜太阳能电池," B/ g8 b3 |0 C7 f$ M
第四代非晶硅/非晶硅锗双结或三结薄膜太阳能电池,7 Y4 F9 S" p( }7 W( z* F" C* A6 G$ t3 t
第五代非晶硅/非晶硅锗/微晶硅三结薄膜太阳能电池,
( c5 K, h# S0 a! t目前在产业化领域中的主要技术仍旧是前两者。7 O! k! g: r* J4 G U( k
4 ]# Y2 T) H' n5 a! u在生产线技术方面依关键的PECVD沉积系统分类,可以划分出以下5种设备模式:! `2 h# U1 G: m- S7 h1 D5 u5 @
单室多片PECVD沉积系统(EPV、BudaSolar),2 K5 u- G% Q) K2 A! B( D
串联线列式多室单片PECVD沉积系统(日本真空)," |: z C4 g4 O% ?3 T' F7 g! _
并联线列式多室单片PECVD沉积系统(莱宝真空),
! ~& ~/ W. G- n+ V" S0 U团簇式多室单片PECVD沉积系统(应用材料公司),
1 d6 K& f% {% J) \( a- Y单多片混合型PECVD沉积系统(Oerlikon公司)。 |
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