6 X$ T3 W0 |; ^3 {非晶硅电池一般采用PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition 等离子增强型化学气相沉积)方法使高纯硅烷等气体分解沉积而成。此种制作工艺,可以在生产中连续完成,以实现大批量生产。由于沉积分解温度低,所以可在平板玻璃、不锈钢板、陶瓷板、柔性塑料膜上沉积非晶硅薄膜,易于大面积化生产,成本较低。在玻璃衬底上制备的非晶硅基太阳能电池的典型结构为:Glass / TCO / p-a-Si:H / i-a-Si:H / n-a-Si:H/TCO/Al。; b4 s& }; E% g0 A0 _
为了提高电池的转换效率可以制备双结电池,即在第一个pin层之后再制备第二个pin层。非晶硅电池的光电效率会随着光照时间的延续而衰减,即所谓的光致衰退S一W效应,使得电池性能不稳定。解决这些问题的途径就是制备叠层太阳能电池,叠层太阳能电池是由在制备的p、i、n层单结太阳能电池上再沉积一个或多个p-i-n子电池制得的。6 j. ?3 z/ k: \! o8 Q% g4 O' J
叠层太阳能电池提高转换效率、解决单结电池不稳定性的关键问题在于:) r3 T' ~3 V7 I! ~4 e( V
①它把不同禁带宽度的材科组合在一起,提高了光谱的响应范围; 4 J& F6 S, b& Q, {5 J5 E/ I2 K②顶电池的i层较薄,光照产生的电场强度变化不大,保证i层中的光生载流子抽出; $ W2 y) t3 I: Z③底电池产生的载流子约为单电池的一半,光致衰退效应减小;2 L& G& u' g4 U! ~* m) V' `
④叠层太阳能电池各子电池是串联在一起的。 " u9 G$ K7 _* `: y4 o ; R- E. ?' d6 a) `( K. b+ V非晶硅太阳电池的制造技术同半导体技术相似, 在实际应用上会把单一的非晶硅太阳能电池与相邻的电池串联,做成一体成型的太阳能电池板,因此太阳能电池的内部导线的连接相对的稳定可靠。如下图所示:9 h/ \* |; S% m' m ) W( y8 g: W1 a* z6 i ( J. H3 c, I9 ]2 R当非晶硅太阳能电池完成后,可以在金属铝的一面以EVA (乙烯/醋酸乙烯脂共聚物 Ethylene Vinyl Acetate)为黏着剂,再接合一片玻璃。形成了两面是玻璃中间是太阳能电池的结构。如下图所示:) r; w+ T X8 F: K5 ~ 8 m- d: |! r( z3 o* b- j3 I3 {
$ i. X4 \/ X3 A, H! Y同时为了进一步提高硅薄膜电池的转换效率,继续进行开发三结硅薄膜太阳电池,利用三结太阳电池分层吸收光的特点,减2 i; c# \6 P7 N$ d
少光子能量在吸收过程中的损失,提高太阳光的利用率。. y& ^5 ^8 E; I
电池结构设计:三节硅薄膜电池有两种,即非晶硅/非晶锗硅/非晶锗硅(a-Si/a-SiGe/a-SiGe)和非晶硅/非晶锗硅/微晶硅 H0 M4 {( K I# E* n(a-Si/a-SiGe/uc-Si)。 8 G5 o2 S; ]3 Q+ z3 `. M以下为非晶硅/非晶锗硅/微晶硅太阳电池的示意图,把最下面一层的微晶硅子电池层做成非晶锗硅电池即为非晶硅/非晶锗& M$ X* m+ | c8 S( s% d& H
硅/非晶锗硅太阳电池。' ?; u" y8 V A' l- N5 Z 1 D' Y. g& ^2 f; f2 W. p" X