TA的每日心情 | 开心 2017-4-3 16:51 |
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签到天数: 67 天 [LV.6]出窍
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就爱抬杠 发表于 2012-3-18 10:44 7 U6 X" Q/ N# b( q
能否介绍一下目前国内薄膜太阳能的发展情况?我只知道安泰科技和德国某公司合作过这个项目。 ...
( D3 A" f. n0 U+ n7 |2 V, h9 I我本身不是从事这方面的研发技术工作,加上现在不是从事光伏行业,所以,了解的情况不算全面。
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2 L1 j$ ^, m5 m }我知道目前在研的五代硅基薄膜太阳能电池工艺技术:0 f, m7 Z! V2 l' e5 n: q- z2 Q; B
第一代非晶硅单结薄膜太阳能电池,/ ]2 p% o" W4 a! I# x# }2 O
第二代非晶硅/非晶硅双结薄膜太阳能电池,$ o7 W8 f1 c1 X8 O0 B* E1 U
第三代非晶硅/微晶硅双结薄膜太阳能电池,% z% W, U( j7 J, O
第四代非晶硅/非晶硅锗双结或三结薄膜太阳能电池,
- P: `5 I. i9 R% C( X1 F第五代非晶硅/非晶硅锗/微晶硅三结薄膜太阳能电池,
; w: b' d- U5 Q% M. b7 Y目前在产业化领域中的主要技术仍旧是前两者。
5 b1 G: u1 L/ k* V2 E3 r% d) `5 C# Q$ s- C1 u( b+ n6 _+ a
在生产线技术方面依关键的PECVD沉积系统分类,可以划分出以下5种设备模式:
$ m z n+ J" P单室多片PECVD沉积系统(EPV、BudaSolar),
; Z; l( g7 Q' i* s8 o; y, X串联线列式多室单片PECVD沉积系统(日本真空),
$ o) }( }% T0 j/ b' R p4 f并联线列式多室单片PECVD沉积系统(莱宝真空),
^. S# b* x+ Q5 M' e' ]团簇式多室单片PECVD沉积系统(应用材料公司),( |/ P+ V3 B! m9 o% P( j, t
单多片混合型PECVD沉积系统(Oerlikon公司)。 |
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